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公开(公告)号：CN111678640A
公开(公告)日：2020-09-18
申请号：CN202010138159.5
申请日：2020-03-03
Applicant: 东京毅力科创株式会社
Abstract: 在示例性实施方式所涉及的基板处理系统中，多个气体供给部分别构成为经由其第1气体流路向多个腔室中的对应的腔室内供给气体。多个腔室压力传感器分别构成为测定对应的腔室内的压力。第2气体流路与多个气体供给部各自的第1气体流路连接。基准压力传感器构成为测定第2气体流路内的压力。在示例性实施方式所涉及的方法中，多个腔室压力传感器分别使用对应的腔室、对应的气体供给部的第1气体流路及第2气体流路内的压力被维持的状态下的其压力测定值及基准压力传感器的压力测定值来进行校正。
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公开(公告)号：CN111077917A
公开(公告)日：2020-04-28
申请号：CN201910993689.5
申请日：2019-10-18
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: G05D7/06
Abstract: 本发明提供一种能够检查流量控制器的控制功能的流量控制器的检查方法。一种检查方法，其为进行流体的流量控制的流量控制器的检查方法，其中，流量控制器具备：第1压力检测器，检测作为流体压力的第1压力；及隔膜阀，设置于第1压力检测器的下游且具有隔膜及驱动隔膜的压电元件，检查方法包括：基准获取步骤，获取包含相对于流体的设定流量的第1压力及压电元件的控制值的基准数据；对象测定步骤，在执行基准获取步骤之后，测定包含相对于流体的设定流量的第1压力及压电元件的控制值的对象数据；及判定步骤，通过对基准数据与对象数据进行比较，判定在隔膜阀是否存在不良情况。
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公开(公告)号：CN110017877A
公开(公告)日：2019-07-16
申请号：CN201910001569.2
申请日：2019-01-02
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: G01F15/04
Abstract: 本发明的基板处理系统具备具有第1气体流路的气体供给部。第1气体流路上连接有流量测定系统的第2气体流路。流量测定系统还具备连接于第2气体流路的第3气体流路以及分别测定第3气体流路中的压力及温度的压力传感器及温度传感器。一实施方式的方法中，通过积层方法计算从气体供给部的流量控制器输出的气体的流量。不使用第1气体流路与第2气体流路的合计容积及第1气体流路与第2气体流路中的温度而计算气体的流量。
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公开(公告)号：CN116936416A
公开(公告)日：2023-10-24
申请号：CN202310986755.2
申请日：2018-11-01
Applicant: 东京毅力科创株式会社
Abstract: 提供一种为了控制多个气体并执行处理而改进的气体供给系统。气体供给系统具备第1流路、多个第1气体排出孔、第2流路、第2气体排出孔及多个第1隔膜阀。第1流路与第1气体的第1气源连接，且形成于构成处理容器的顶棚的顶棚部件的内部或处理容器的侧壁的内部。多个第1气体排出孔连通第1流路与处理空间。第2流路与第2气体的第2气源连接，且形成于顶棚部件的内部或处理容器的侧壁的内部。第2气体排出孔连通第2流路与处理空间。各第1隔膜阀在第1流路与第1气体排出孔之间与第1气体排出孔对应地设置。
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公开(公告)号：CN109755157B
公开(公告)日：2023-08-29
申请号：CN201811294307.1
申请日：2018-11-01
Applicant: 东京毅力科创株式会社
Abstract: 提供一种为了控制多个气体并执行处理而改进的气体供给系统。气体供给系统具备第1流路、多个第1气体排出孔、第2流路、第2气体排出孔及多个第1隔膜阀。第1流路与第1气体的第1气源连接，且形成于构成处理容器的顶棚的顶棚部件的内部或处理容器的侧壁的内部。多个第1气体排出孔连通第1流路与处理空间。第2流路与第2气体的第2气源连接，且形成于顶棚部件的内部或处理容器的侧壁的内部。第2气体排出孔连通第2流路与处理空间。各第1隔膜阀在第1流路与第1气体排出孔之间与第1气体排出孔对应地设置。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110323158B
公开(公告)日：2023-06-23
申请号：CN201910242299.4
申请日：2019-03-28
Applicant: 东京毅力科创株式会社
Abstract: 一实施方式的基板处理系统具备基板处理装置及测定装置。基板处理装置具有气体供给部。气体供给部具有流量控制器及次级阀。次级阀连接于流量控制器的次级侧。若从基板处理系统的第1控制部经由配线输出电压，则次级阀打开。测定装置根据来自第1控制部的指示测定从流量控制器输出的气体的流量。测定装置具有第2控制部。测定装置具有设置于上述配线上的继电器。第2控制部构成为控制继电器。
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公开(公告)号：CN111077916A
公开(公告)日：2020-04-28
申请号：CN201910993679.1
申请日：2019-10-18
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: G05D7/06
Abstract: 本发明提供一种能够检查流量控制器的控制功能的流量控制器的检查方法。进行流体的流量控制的流量控制器的检查方法包括：基准记录步骤，根据在基准测定步骤中测定的基准数据，生成及记录将第1压力、设定流量或第2压力及压电元件的控制值建立关联的三维数据库；对象测定步骤，在执行基板处理工艺时，将与通过第1压力检测器检测出的第1压力、基板处理工艺的方案中指定的设定流量或通过第2压力检测器检测出的第2压力对应的压电元件的控制值作为对象数据来进行测定；及判定步骤，通过对对象数据与三维数据库中包含的基准数据进行比较，判定隔膜阀中是否存在不良情况。
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公开(公告)号：CN109755157A
公开(公告)日：2019-05-14
申请号：CN201811294307.1
申请日：2018-11-01
Applicant: 东京毅力科创株式会社
Abstract: 提供一种为了控制多个气体并执行处理而改进的气体供给系统。气体供给系统具备第1流路、多个第1气体排出孔、第2流路、第2气体排出孔及多个第1隔膜阀。第1流路与第1气体的第1气源连接，且形成于构成处理容器的顶棚的顶棚部件的内部或处理容器的侧壁的内部。多个第1气体排出孔连通第1流路与处理空间。第2流路与第2气体的第2气源连接，且形成于顶棚部件的内部或处理容器的侧壁的内部。第2气体排出孔连通第2流路与处理空间。各第1隔膜阀在第1流路与第1气体排出孔之间与第1气体排出孔对应地设置。
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公开(公告)号：CN107831753A
公开(公告)日：2018-03-23
申请号：CN201710821218.7
申请日：2017-09-13
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: G05B23/02
Abstract: 本发明的课题在于以较高的精度检查气体供给系统。本发明的一方式所涉及的方法包括：第1工序，将基准器连接在连接管的另一端；第2工序，在一个第1阀门被打开且其他第1阀门、第2阀门及第3阀门被关闭的状态下，从一个流量控制器向配管内供给气体；第3工序，在关闭一个第1阀门之后，获取第1压力检测器及第1温度检测器的测定值；第4工序，打开第3阀门并将配管内的气体的一部分供给至储罐内；第5工序，获取第1压力检测器及第1温度检测器的测定值或第2压力检测器及第2温度检测器的测定值；第6工序，利用波义耳-查理定律，并根据在第3工序中获取的测定值、第5工序中所获取的测定值及包括第3阀门被关闭时的储罐内的空间的封闭空间的容积，计算配管的容积。
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