公开(公告)号：CN110017877A

公开(公告)日：2019-07-16

申请号：CN201910001569.2

申请日：2019-01-02

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 实吉梨沙子 ,  纲仓纪彦 ,  三浦和幸 ,  永濑正明 ,  山下哲 ,  泽田洋平 ,  西野功二 ,  池田信一

IPC: G01F15/04

Abstract: 本发明的基板处理系统具备具有第1气体流路的气体供给部。第1气体流路上连接有流量测定系统的第2气体流路。流量测定系统还具备连接于第2气体流路的第3气体流路以及分别测定第3气体流路中的压力及温度的压力传感器及温度传感器。一实施方式的方法中，通过积层方法计算从气体供给部的流量控制器输出的气体的流量。不使用第1气体流路与第2气体流路的合计容积及第1气体流路与第2气体流路中的温度而计算气体的流量。

公开(公告)号：CN110017877B

公开(公告)日：2021-01-12

申请号：CN201910001569.2

申请日：2019-01-02

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 实吉梨沙子 ,  纲仓纪彦 ,  三浦和幸 ,  永濑正明 ,  山下哲 ,  泽田洋平 ,  西野功二 ,  池田信一

IPC: G01F15/04

Abstract: 本发明的基板处理系统具备具有第1气体流路的气体供给部。第1气体流路上连接有流量测定系统的第2气体流路。流量测定系统还具备连接于第2气体流路的第3气体流路以及分别测定第3气体流路中的压力及温度的压力传感器及温度传感器。一实施方式的方法中，通过积层方法计算从气体供给部的流量控制器输出的气体的流量。不使用第1气体流路与第2气体流路的合计容积及第1气体流路与第2气体流路中的温度而计算气体的流量。