公开(公告)号：CN112286238B

公开(公告)日：2024-06-25

申请号：CN202011142969.4

申请日：2017-07-10

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 泽地淳 ,  纲仓纪彦 ,  西野功二 ,  泽田洋平 ,  岸田好晴

IPC: G05D7/06 ,  F16K1/32 ,  F16K1/36 ,  F16K1/42 ,  F16K31/02 ,  H01J37/32 ,  H01L21/67 ,  C23C16/455 ,  C23C16/52

Abstract: 本发明提供一种气体供给系统、基板处理系统及气体供给方法，为了控制多个气体并执行工艺而进行了改进。向基板处理装置的腔室供给气体的气体供给系统，具备：第1流路，连接第1气体的第1气源与腔室；第2流路，连接第2气体的第2气源与第1流路；控制阀，设置于第2流路，并将第2气体的流量控制为规定量；节流孔，设置于控制阀的下游且为第2流路的末端；开闭阀，设置于第1流路与第2流路的末端的连接部位，并控制从节流孔的出口向第1流路供给的第2气体的供给定时；排气机构，连接于第2流路中控制阀与节流孔之间的流路，并排出第2气体；及控制器，使控制阀、开闭阀及排气机构动作。

公开(公告)号：CN112286238A

公开(公告)日：2021-01-29

申请号：CN202011142969.4

申请日：2017-07-10

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 泽地淳 ,  纲仓纪彦 ,  西野功二 ,  泽田洋平 ,  岸田好晴

IPC: G05D7/06 ,  F16K1/32 ,  F16K1/36 ,  F16K1/42 ,  F16K31/02 ,  H01J37/32 ,  H01L21/67 ,  C23C16/455 ,  C23C16/52

Abstract: 本发明提供一种气体供给系统、基板处理系统及气体供给方法，为了控制多个气体并执行工艺而进行了改进。向基板处理装置的腔室供给气体的气体供给系统，具备：第1流路，连接第1气体的第1气源与腔室；第2流路，连接第2气体的第2气源与第1流路；控制阀，设置于第2流路，并将第2气体的流量控制为规定量；节流孔，设置于控制阀的下游且为第2流路的末端；开闭阀，设置于第1流路与第2流路的末端的连接部位，并控制从节流孔的出口向第1流路供给的第2气体的供给定时；排气机构，连接于第2流路中控制阀与节流孔之间的流路，并排出第2气体；及控制器，使控制阀、开闭阀及排气机构动作。

公开(公告)号：CN107608396B

公开(公告)日：2020-11-13

申请号：CN201710555971.6

申请日：2017-07-10

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 泽地淳 ,  纲仓纪彦 ,  西野功二 ,  泽田洋平 ,  岸田好晴

IPC: G05D7/06

Abstract: 本发明提供一种气体供给系统、基板处理系统及气体供给方法，为了控制多个气体并执行工艺而进行了改进。向基板处理装置的腔室供给气体的气体供给系统，具备：第1流路，连接第1气体的第1气源与腔室；第2流路，连接第2气体的第2气源与第1流路；控制阀，设置于第2流路，并将第2气体的流量控制为规定量；节流孔，设置于控制阀的下游且为第2流路的末端；开闭阀，设置于第1流路与第2流路的末端的连接部位，并控制从节流孔的出口向第1流路供给的第2气体的供给定时；排气机构，连接于第2流路中控制阀与节流孔之间的流路，并排出第2气体；及控制器，使控制阀、开闭阀及排气机构动作。

公开(公告)号：CN110017877A

公开(公告)日：2019-07-16

申请号：CN201910001569.2

申请日：2019-01-02

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 实吉梨沙子 ,  纲仓纪彦 ,  三浦和幸 ,  永濑正明 ,  山下哲 ,  泽田洋平 ,  西野功二 ,  池田信一

IPC: G01F15/04

Abstract: 本发明的基板处理系统具备具有第1气体流路的气体供给部。第1气体流路上连接有流量测定系统的第2气体流路。流量测定系统还具备连接于第2气体流路的第3气体流路以及分别测定第3气体流路中的压力及温度的压力传感器及温度传感器。一实施方式的方法中，通过积层方法计算从气体供给部的流量控制器输出的气体的流量。不使用第1气体流路与第2气体流路的合计容积及第1气体流路与第2气体流路中的温度而计算气体的流量。

公开(公告)号：CN110017877B

公开(公告)日：2021-01-12

申请号：CN201910001569.2

申请日：2019-01-02

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 实吉梨沙子 ,  纲仓纪彦 ,  三浦和幸 ,  永濑正明 ,  山下哲 ,  泽田洋平 ,  西野功二 ,  池田信一

IPC: G01F15/04

Abstract: 本发明的基板处理系统具备具有第1气体流路的气体供给部。第1气体流路上连接有流量测定系统的第2气体流路。流量测定系统还具备连接于第2气体流路的第3气体流路以及分别测定第3气体流路中的压力及温度的压力传感器及温度传感器。一实施方式的方法中，通过积层方法计算从气体供给部的流量控制器输出的气体的流量。不使用第1气体流路与第2气体流路的合计容积及第1气体流路与第2气体流路中的温度而计算气体的流量。

公开(公告)号：CN107608396A

公开(公告)日：2018-01-19

申请号：CN201710555971.6

申请日：2017-07-10

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 泽地淳 ,  纲仓纪彦 ,  西野功二 ,  泽田洋平 ,  岸田好晴

IPC: G05D7/06

Abstract: 本发明提供一种气体供给系统、基板处理系统及气体供给方法，为了控制多个气体并执行工艺而进行了改进。向基板处理装置的腔室供给气体的气体供给系统，具备：第1流路，连接第1气体的第1气源与腔室；第2流路，连接第2气体的第2气源与第1流路；控制阀，设置于第2流路，并将第2气体的流量控制为规定量；节流孔，设置于控制阀的下游且为第2流路的末端；开闭阀，设置于第1流路与第2流路的末端的连接部位，并控制从节流孔的出口向第1流路供给的第2气体的供给定时；排气机构，连接于第2流路中控制阀与节流孔之间的流路，并排出第2气体；及控制器，使控制阀、开闭阀及排气机构动作。