公开(公告)号：CN110323158B

公开(公告)日：2023-06-23

申请号：CN201910242299.4

申请日：2019-03-28

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 实吉梨沙子 ,  纲仓纪彦 ,  三浦和幸 ,  矢崎洋 ,  庄司康博

IPC: H01L21/67 ,  G01F1/34

Abstract: 一实施方式的基板处理系统具备基板处理装置及测定装置。基板处理装置具有气体供给部。气体供给部具有流量控制器及次级阀。次级阀连接于流量控制器的次级侧。若从基板处理系统的第1控制部经由配线输出电压，则次级阀打开。测定装置根据来自第1控制部的指示测定从流量控制器输出的气体的流量。测定装置具有第2控制部。测定装置具有设置于上述配线上的继电器。第2控制部构成为控制继电器。

公开(公告)号：CN110323158A

公开(公告)日：2019-10-11

申请号：CN201910242299.4

申请日：2019-03-28

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 实吉梨沙子 ,  纲仓纪彦 ,  三浦和幸 ,  矢崎洋 ,  庄司康博

IPC: H01L21/67 ,  G01F1/34

Abstract: 一实施方式的基板处理系统具备基板处理装置及测定装置。基板处理装置具有气体供给部。气体供给部具有流量控制器及次级阀。次级阀连接于流量控制器的次级侧。若从基板处理系统的第1控制部经由配线输出电压，则次级阀打开。测定装置根据来自第1控制部的指示测定从流量控制器输出的气体的流量。测定装置具有第2控制部。测定装置具有设置于上述配线上的继电器。第2控制部构成为控制继电器。