溅射装置
    12.
    发明授权

    公开(公告)号:CN103572231B

    公开(公告)日:2016-02-03

    申请号:CN201310205274.X

    申请日:2013-05-29

    Abstract: 本发明涉及使部件更换简便以使得减少装置的维护时间及费用的溅射装置,根据本发明的溅射装置,包括:工序腔室,提供工序空间;管状目标,设置于所述工序空间;磁铁模块,插入设置于所述管状目标的内部;驱动部,安装于所述工序腔室的内部壁上,结合于所述管状目标和所述磁铁模块;旋转驱动部,设置于所述工序腔室的外部,提供相异的第一及第二旋转运动;以及齿轮模块部,安装于所述工序腔室的外部壁上以支承所述旋转驱动部,将所述第一及第二旋转运动传递至所述驱动部,其中,所述驱动部,根据所述第一旋转运动旋转所述管状目标,根据所述第二旋转运动以一定角度摆动所述磁铁模块。

    掩膜对准装置用基板升降装置

    公开(公告)号:CN108231644B

    公开(公告)日:2021-11-19

    申请号:CN201711305318.0

    申请日:2017-12-08

    Abstract: 本发明涉及基板升降装置,包括:可变升降销,用于支撑基板;可升降的销板;升降部,用于升降所述销板;以及切换部,结合所述可变升降销;所述切换部包括切换部件,所述切换部件切换于支撑模式以及解除模式之间,其中所述支撑模式是由所述销板支撑所述切换部,进而通过所述销板升降所述可变升降销进行升降来支撑所述基板;所述解除模式是解除对所述销板的支撑,以使所述销板对所述可变升降销单独进行升降。

    掩膜对准装置用基板升降装置

    公开(公告)号:CN108231644A

    公开(公告)日:2018-06-29

    申请号:CN201711305318.0

    申请日:2017-12-08

    Abstract: 本发明涉及基板升降装置,包括:可变升降销,用于支撑基板;可升降的销板;升降部,用于升降所述销板;以及切换部,结合所述可变升降销;所述切换部包括切换部件,所述切换部件切换于支撑模式以及解除模式之间,其中所述支撑模式是由所述销板支撑所述切换部,进而通过所述销板升降所述可变升降销进行升降来支撑所述基板;所述解除模式是解除对所述销板的支撑,以使所述销板对所述可变升降销单独进行升降。

    显示器用粘结装置
    17.
    发明公开

    公开(公告)号:CN106166887A

    公开(公告)日:2016-11-30

    申请号:CN201510427885.8

    申请日:2015-07-20

    Abstract: 本发明提供不降低对目标物的吸附力且能够对齐显示面板与透明盖之间的位置的显示器用粘结装置。根据本发明的显示器用粘结装置,可包括:下部腔室模块,支撑显示面板;上部腔室模块,支撑透明盖;拍摄模块,在支撑显示面板的下部腔室模块与支撑透明盖的上部腔室模块之间,拍摄配置在显示面板的面板对准标记与配置在透明盖的盖对准标记;及对齐模块,以拍摄模块的拍摄图像为基础,对齐所述面板对准标记与盖对准标记之间的位置。如上所述,本发明将用于粘结显示面板与透明盖之间的粘结空间的体积最小化来缩短真空度形成时间,据此可缩短粘结工序的节拍时间(tact time)。

    溅射装置
    19.
    发明公开

    公开(公告)号:CN103572231A

    公开(公告)日:2014-02-12

    申请号:CN201310205274.X

    申请日:2013-05-29

    Abstract: 本发明涉及使部件更换简便以使得减少装置的维护时间及费用的溅射装置,根据本发明的溅射装置,包括:工序腔室,提供工序空间;管状目标,设置于所述工序空间;磁铁模块,插入设置于所述管状目标的内部;驱动部,安装于所述工序腔室的内部壁上,结合于所述管状目标和所述磁铁模块;旋转驱动部,设置于所述工序腔室的外部,提供相异的第一及第二旋转运动;以及齿轮模块部,安装于所述工序腔室的外部壁上以支承所述旋转驱动部,将所述第一及第二旋转运动传递至所述驱动部,其中,所述驱动部,根据所述第一旋转运动旋转所述管状目标,根据所述第二旋转运动以一定角度摆动所述磁铁模块。

    车辆用座椅导轨
    20.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101332780A

    公开(公告)日:2008-12-31

    申请号:CN200710112640.1

    申请日:2007-06-26

    Abstract: 本发明涉及一种车辆用座椅导轨。由于所述座椅导轨直接固定在地板上而没有单独的附件,所以可增加当将多根座椅导轨固定在小地板上时的设计自由度并获得令人满意的美学外观。此外,可通过减少部件数量而降低制造成本。另外,固定在上导轨上的滚动单元的左轴承和右轴承交替地与导轨槽的上底部和上壁接触。因此,滚动单元在导轨槽内相对于上导轨不上下移动(即,在导轨槽内相对于上导轨没有空隙)。结果,可提高整个座椅导轨的耐用性并减少车辆内的噪声。

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