公开(公告)号：CN103572231B

公开(公告)日：2016-02-03

申请号：CN201310205274.X

申请日：2013-05-29

Applicant: DAS株式会社

Inventor： 安炳喆 ,  郑钟范 ,  俞圣振

IPC: C23C14/35

Abstract: 本发明涉及使部件更换简便以使得减少装置的维护时间及费用的溅射装置，根据本发明的溅射装置，包括：工序腔室，提供工序空间；管状目标，设置于所述工序空间；磁铁模块，插入设置于所述管状目标的内部；驱动部，安装于所述工序腔室的内部壁上，结合于所述管状目标和所述磁铁模块；旋转驱动部，设置于所述工序腔室的外部，提供相异的第一及第二旋转运动；以及齿轮模块部，安装于所述工序腔室的外部壁上以支承所述旋转驱动部，将所述第一及第二旋转运动传递至所述驱动部，其中，所述驱动部，根据所述第一旋转运动旋转所述管状目标，根据所述第二旋转运动以一定角度摆动所述磁铁模块。

公开(公告)号：CN103572231A

公开(公告)日：2014-02-12

申请号：CN201310205274.X

申请日：2013-05-29

Applicant: DAS株式会社

Inventor： 安炳喆 ,  郑钟范 ,  俞圣振

IPC: C23C14/35

Abstract: 本发明涉及使部件更换简便以使得减少装置的维护时间及费用的溅射装置，根据本发明的溅射装置，包括：工序腔室，提供工序空间；管状目标，设置于所述工序空间；磁铁模块，插入设置于所述管状目标的内部；驱动部，安装于所述工序腔室的内部壁上，结合于所述管状目标和所述磁铁模块；旋转驱动部，设置于所述工序腔室的外部，提供相异的第一及第二旋转运动；以及齿轮模块部，安装于所述工序腔室的外部壁上以支承所述旋转驱动部，将所述第一及第二旋转运动传递至所述驱动部，其中，所述驱动部，根据所述第一旋转运动旋转所述管状目标，根据所述第二旋转运动以一定角度摆动所述磁铁模块。