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公开(公告)号：CN106166887B
公开(公告)日：2018-06-15
申请号：CN201510427885.8
申请日：2015-07-20
Applicant: DAS株式会社
Abstract: 本发明提供不降低对目标物的吸附力且能够对齐显示面板与透明盖之间的位置的显示器用粘结装置。根据本发明的显示器用粘结装置，可包括：下部腔室模块，支撑显示面板；上部腔室模块，支撑透明盖；拍摄模块，在支撑显示面板的下部腔室模块与支撑透明盖的上部腔室模块之间，拍摄配置在显示面板的面板对准标记与配置在透明盖的盖对准标记；及对齐模块，以拍摄模块的拍摄图像为基础，对齐所述面板对准标记与盖对准标记之间的位置。如上所述，本发明将用于粘结显示面板与透明盖之间的粘结空间的体积最小化来缩短真空度形成时间，据此可缩短粘结工序的节拍时间(tact time)。
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公开(公告)号：CN106166887A
公开(公告)日：2016-11-30
申请号：CN201510427885.8
申请日：2015-07-20
Applicant: DAS株式会社
Abstract: 本发明提供不降低对目标物的吸附力且能够对齐显示面板与透明盖之间的位置的显示器用粘结装置。根据本发明的显示器用粘结装置，可包括：下部腔室模块，支撑显示面板；上部腔室模块，支撑透明盖；拍摄模块，在支撑显示面板的下部腔室模块与支撑透明盖的上部腔室模块之间，拍摄配置在显示面板的面板对准标记与配置在透明盖的盖对准标记；及对齐模块，以拍摄模块的拍摄图像为基础，对齐所述面板对准标记与盖对准标记之间的位置。如上所述，本发明将用于粘结显示面板与透明盖之间的粘结空间的体积最小化来缩短真空度形成时间，据此可缩短粘结工序的节拍时间(tact time)。
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公开(公告)号：CN103572231A
公开(公告)日：2014-02-12
申请号：CN201310205274.X
申请日：2013-05-29
Applicant: DAS株式会社
IPC: C23C14/35
Abstract: 本发明涉及使部件更换简便以使得减少装置的维护时间及费用的溅射装置，根据本发明的溅射装置，包括：工序腔室，提供工序空间；管状目标，设置于所述工序空间；磁铁模块，插入设置于所述管状目标的内部；驱动部，安装于所述工序腔室的内部壁上，结合于所述管状目标和所述磁铁模块；旋转驱动部，设置于所述工序腔室的外部，提供相异的第一及第二旋转运动；以及齿轮模块部，安装于所述工序腔室的外部壁上以支承所述旋转驱动部，将所述第一及第二旋转运动传递至所述驱动部，其中，所述驱动部，根据所述第一旋转运动旋转所述管状目标，根据所述第二旋转运动以一定角度摆动所述磁铁模块。
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公开(公告)号：CN103572231B
公开(公告)日：2016-02-03
申请号：CN201310205274.X
申请日：2013-05-29
Applicant: DAS株式会社
IPC: C23C14/35
Abstract: 本发明涉及使部件更换简便以使得减少装置的维护时间及费用的溅射装置，根据本发明的溅射装置，包括：工序腔室，提供工序空间；管状目标，设置于所述工序空间；磁铁模块，插入设置于所述管状目标的内部；驱动部，安装于所述工序腔室的内部壁上，结合于所述管状目标和所述磁铁模块；旋转驱动部，设置于所述工序腔室的外部，提供相异的第一及第二旋转运动；以及齿轮模块部，安装于所述工序腔室的外部壁上以支承所述旋转驱动部，将所述第一及第二旋转运动传递至所述驱动部，其中，所述驱动部，根据所述第一旋转运动旋转所述管状目标，根据所述第二旋转运动以一定角度摆动所述磁铁模块。
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