公开(公告)号：CN108231644B

公开(公告)日：2021-11-19

申请号：CN201711305318.0

申请日：2017-12-08

Applicant: 亚威科股份有限公司 ,  DAS株式会社

Inventor： 金镇喆 ,  裵莹宰 ,  韩庆准 ,  徐汉基

IPC: H01L21/68 ,  H01L21/687

Abstract: 本发明涉及基板升降装置，包括：可变升降销，用于支撑基板；可升降的销板；升降部，用于升降所述销板；以及切换部，结合所述可变升降销；所述切换部包括切换部件，所述切换部件切换于支撑模式以及解除模式之间，其中所述支撑模式是由所述销板支撑所述切换部，进而通过所述销板升降所述可变升降销进行升降来支撑所述基板；所述解除模式是解除对所述销板的支撑，以使所述销板对所述可变升降销单独进行升降。

公开(公告)号：CN108231644A

公开(公告)日：2018-06-29

申请号：CN201711305318.0

申请日：2017-12-08

Applicant: 亚威科股份有限公司 ,  DAS株式会社

Inventor： 金镇喆 ,  裵莹宰 ,  韩庆准 ,  徐汉基

IPC: H01L21/68 ,  H01L21/687

Abstract: 本发明涉及基板升降装置，包括：可变升降销，用于支撑基板；可升降的销板；升降部，用于升降所述销板；以及切换部，结合所述可变升降销；所述切换部包括切换部件，所述切换部件切换于支撑模式以及解除模式之间，其中所述支撑模式是由所述销板支撑所述切换部，进而通过所述销板升降所述可变升降销进行升降来支撑所述基板；所述解除模式是解除对所述销板的支撑，以使所述销板对所述可变升降销单独进行升降。

公开(公告)号：CN108573909B

公开(公告)日：2022-11-22

申请号：CN201810205964.8

申请日：2018-03-13

Applicant: 亚威科股份有限公司

Inventor： 裵莹宰 ,  金济男 ,  彭盛焕

IPC: H01L21/687 ,  H01J37/32

Abstract: 本发明涉及基板保持装置以及腔室装置，其中，所述基板保持装置包括：保持部，由磁性体构成；电永磁，根据是否施加电源，改变磁场流动更强的位置；以及夹盘，设置有所述电永磁；其中，所述保持部利用根据对所述电永磁未施加电源而产生作用的引力支撑所述基板，以使基板保持在所述夹盘。

公开(公告)号：CN108573909A

公开(公告)日：2018-09-25

申请号：CN201810205964.8

申请日：2018-03-13

Applicant: 亚威科股份有限公司

Inventor： 裵莹宰 ,  金济男 ,  彭盛焕

IPC: H01L21/687 ,  H01J37/32

Abstract: 本发明涉及基板保持装置以及腔室装置，其中，所述基板保持装置包括：保持部，由磁性体构成；电永磁，根据是否施加电源，改变磁场流动更强的位置；以及夹盘，设置有所述电永磁；其中，所述保持部利用根据对所述电永磁未施加电源而产生作用的引力支撑所述基板，以使基板保持在所述夹盘。