公开(公告)号：CN104885233B

公开(公告)日：2016-10-26

申请号：CN201480003860.9

申请日：2014-04-01

Applicant: 亚威科股份有限公司

Inventor： 都鎭永 ,  梁熙哲 ,  金石珍 ,  郑钟晔 ,  金奉哲 ,  李锡鎭 ,  郑玘英 ,  徐振祐 ,  彭盛焕 ,  韩悳宇 ,  黄在君 ,  康旻焕 ,  李仁河

IPC: H01L31/18 ,  H01L31/032

CPC classification number: H01L21/67109 ,  H01L21/67248 ,  H01L21/67739 ,  H01L31/0322 ,  H01L31/18 ,  H01L31/1864 ,  Y02E10/541

Abstract: 本发明公开了一种热处理系统，其使得在整个用于热处理步骤的反应空间的均匀的温度分布和反应气体的均匀的浓度分布成为可能，也公开了一种实施热处理的方法，以及一种使用相同方法制造CIGS太阳能电池的方法，其中，所述热处理系统可以包括具有反应空间的反应室；围绕所述反应室的外部室；设置为用于打开或者关闭反应室的反应空间的门室；用于循环反应室的反应空间内部的气流的气流调节装置；其中，所述气流调节装置包括驱动轴，与所述驱动轴连接的气流抽吸单元，以及与所述气流抽吸单元连接的气流排出单元。

公开(公告)号：CN108573909B

公开(公告)日：2022-11-22

申请号：CN201810205964.8

申请日：2018-03-13

Applicant: 亚威科股份有限公司

Inventor： 裵莹宰 ,  金济男 ,  彭盛焕

IPC: H01L21/687 ,  H01J37/32

Abstract: 本发明涉及基板保持装置以及腔室装置，其中，所述基板保持装置包括：保持部，由磁性体构成；电永磁，根据是否施加电源，改变磁场流动更强的位置；以及夹盘，设置有所述电永磁；其中，所述保持部利用根据对所述电永磁未施加电源而产生作用的引力支撑所述基板，以使基板保持在所述夹盘。

公开(公告)号：CN108573909A

公开(公告)日：2018-09-25

申请号：CN201810205964.8

申请日：2018-03-13

Applicant: 亚威科股份有限公司

Inventor： 裵莹宰 ,  金济男 ,  彭盛焕

IPC: H01L21/687 ,  H01J37/32

Abstract: 本发明涉及基板保持装置以及腔室装置，其中，所述基板保持装置包括：保持部，由磁性体构成；电永磁，根据是否施加电源，改变磁场流动更强的位置；以及夹盘，设置有所述电永磁；其中，所述保持部利用根据对所述电永磁未施加电源而产生作用的引力支撑所述基板，以使基板保持在所述夹盘。

公开(公告)号：CN104885233A

公开(公告)日：2015-09-02

申请号：CN201480003860.9

申请日：2014-04-01

Applicant: 亚威科股份有限公司

Inventor： 都鎭永 ,  梁熙哲 ,  金石珍 ,  郑钟晔 ,  金奉哲 ,  李锡鎭 ,  郑玘英 ,  徐振祐 ,  彭盛焕 ,  韩悳宇 ,  黄在君 ,  康旻焕 ,  李仁河

IPC: H01L31/18 ,  H01L31/032

CPC classification number: H01L21/67109 ,  H01L21/67248 ,  H01L21/67739 ,  H01L31/0322 ,  H01L31/18 ,  H01L31/1864 ,  Y02E10/541

Abstract: 本发明公开了一种热处理系统，其使得在整个用于热处理步骤的反应空间的均匀的温度分布和反应气体的均匀的浓度分布成为可能，也公开了一种实施热处理的方法，以及一种使用相同方法制造CIGS太阳能电池的方法，其中，所述热处理系统可以包括具有反应空间的反应室；围绕所述反应室的外部室；设置为用于打开或者关闭反应室的反应空间的门室；用于循环反应室的反应空间内部的气流的气流调节装置；其中，所述气流调节装置包括驱动轴，与所述驱动轴连接的气流抽吸单元，以及与所述气流抽吸单元连接的气流排出单元。