公开(公告)号：CN102086510A

公开(公告)日：2011-06-08

申请号：CN201010532693.0

申请日：2010-10-29

Applicant: 亚威科股份有限公司

Inventor： 吴芝瑛 ,  李仁河 ,  朴完雨 ,  黄在君

IPC: C23C14/35

Abstract: 本发明涉及一种磁石单元及包括其的喷镀装置，该磁石单元包括至少一个中央磁石和围绕该中央磁石周边的至少一个周边磁石，该中央磁石及该周边磁石中至少一个磁石在该中央磁石的长度方向或者在垂直于该长度方向的方向上往返移动。

公开(公告)号：CN104885233A

公开(公告)日：2015-09-02

申请号：CN201480003860.9

申请日：2014-04-01

Applicant: 亚威科股份有限公司

Inventor： 都鎭永 ,  梁熙哲 ,  金石珍 ,  郑钟晔 ,  金奉哲 ,  李锡鎭 ,  郑玘英 ,  徐振祐 ,  彭盛焕 ,  韩悳宇 ,  黄在君 ,  康旻焕 ,  李仁河

IPC: H01L31/18 ,  H01L31/032

CPC classification number: H01L21/67109 ,  H01L21/67248 ,  H01L21/67739 ,  H01L31/0322 ,  H01L31/18 ,  H01L31/1864 ,  Y02E10/541

Abstract: 本发明公开了一种热处理系统，其使得在整个用于热处理步骤的反应空间的均匀的温度分布和反应气体的均匀的浓度分布成为可能，也公开了一种实施热处理的方法，以及一种使用相同方法制造CIGS太阳能电池的方法，其中，所述热处理系统可以包括具有反应空间的反应室；围绕所述反应室的外部室；设置为用于打开或者关闭反应室的反应空间的门室；用于循环反应室的反应空间内部的气流的气流调节装置；其中，所述气流调节装置包括驱动轴，与所述驱动轴连接的气流抽吸单元，以及与所述气流抽吸单元连接的气流排出单元。

公开(公告)号：CN104885233B

公开(公告)日：2016-10-26

申请号：CN201480003860.9

申请日：2014-04-01

Applicant: 亚威科股份有限公司

Inventor： 都鎭永 ,  梁熙哲 ,  金石珍 ,  郑钟晔 ,  金奉哲 ,  李锡鎭 ,  郑玘英 ,  徐振祐 ,  彭盛焕 ,  韩悳宇 ,  黄在君 ,  康旻焕 ,  李仁河

IPC: H01L31/18 ,  H01L31/032

CPC classification number: H01L21/67109 ,  H01L21/67248 ,  H01L21/67739 ,  H01L31/0322 ,  H01L31/18 ,  H01L31/1864 ,  Y02E10/541

Abstract: 本发明公开了一种热处理系统，其使得在整个用于热处理步骤的反应空间的均匀的温度分布和反应气体的均匀的浓度分布成为可能，也公开了一种实施热处理的方法，以及一种使用相同方法制造CIGS太阳能电池的方法，其中，所述热处理系统可以包括具有反应空间的反应室；围绕所述反应室的外部室；设置为用于打开或者关闭反应室的反应空间的门室；用于循环反应室的反应空间内部的气流的气流调节装置；其中，所述气流调节装置包括驱动轴，与所述驱动轴连接的气流抽吸单元，以及与所述气流抽吸单元连接的气流排出单元。

公开(公告)号：CN102086512A

公开(公告)日：2011-06-08

申请号：CN201010532704.5

申请日：2010-10-29

Applicant: 亚威科股份有限公司

Inventor： 吴芝瑛 ,  李仁河 ,  朴完雨 ,  黄在君

IPC: C23C14/56 ,  C23C14/00

Abstract: 本发明涉及一种基板处理装置，包括：多个工作线，其分别包括设置于真空腔体与空气之间的第1预真空腔体及第2预真空腔体；泵部，用于形成该第1预真空腔体及第2预真空腔体内部的真空状态；及，平衡阀，其设置于该第1预真空腔体与第2预真空腔体之间，用于均化该第1预真空腔体与该第2预真空腔体之间的真空度，该基板处理装置可以通过缩短预真空腔体的真空形成时间来缩短整个工程时间，并可以防止在预真空腔体的真空及大气压状态转换过程中基板受损的现象。

公开(公告)号：CN102131963B

公开(公告)日：2013-06-26

申请号：CN200980133230.2

申请日：2009-08-11

Applicant: 亚威科股份有限公司

Inventor： 都镇永 ,  权赫大 ,  高桢翊 ,  梁熙哲 ,  李仁河 ,  朴完雨 ,  金奉哲

IPC: C30B15/10

CPC classification number: C30B29/06 ,  C01B33/021 ,  C30B11/003

Abstract: 本发明关于一种用于制造锭块的设备和方法。根据本发明用于制造锭块的设备包含：坩埚，其用于容纳原材料；加热部件，其用于加热坩埚；支撑件，其用于支撑坩埚；绝热部件，其安置于加热部件的外部且与支撑件间隔开；以及可旋转的冷却部件，其安置于支撑件下方而支撑坩埚。根据本发明，旋转的冷却部件的冷却不仅传递到坩埚的下部部分，而且通过形成于绝热部件的下部部分与支撑件之间的空间传递到坩埚的侧面部分，使得熔化硅的中心和侧面部分可同时固化，进而制造具有优良晶体方向性的硅锭块。

公开(公告)号：CN102131963A

公开(公告)日：2011-07-20

申请号：CN200980133230.2

申请日：2009-08-11

Applicant: 亚威科股份有限公司

Inventor： 都镇永 ,  权赫大 ,  高桢翊 ,  梁熙哲 ,  李仁河 ,  朴完雨 ,  金奉哲

IPC: C30B15/10

CPC classification number: C30B29/06 ,  C01B33/021 ,  C30B11/003

Abstract: 本发明关于一种用于制造锭块的设备和方法。根据本发明用于制造锭块的设备包含：坩埚，其用于容纳原材料；加热部件，其用于加热坩埚；支撑件，其用于支撑坩埚；绝热部件，其安置于加热部件的外部且与支撑件间隔开；以及可旋转的冷却部件，其安置于支撑件下方而支撑坩埚。根据本发明，旋转的冷却部件的冷却不仅传递到坩埚的下部部分，而且通过形成于绝热部件的下部部分与支撑件之间的空间传递到坩埚的侧面部分，使得熔化硅的中心和侧面部分可同时固化，进而制造具有优良晶体方向性的硅锭块。