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公开(公告)号:CN102131963B
公开(公告)日:2013-06-26
申请号:CN200980133230.2
申请日:2009-08-11
Applicant: 亚威科股份有限公司
IPC: C30B15/10
CPC classification number: C30B29/06 , C01B33/021 , C30B11/003
Abstract: 本发明关于一种用于制造锭块的设备和方法。根据本发明用于制造锭块的设备包含:坩埚,其用于容纳原材料;加热部件,其用于加热坩埚;支撑件,其用于支撑坩埚;绝热部件,其安置于加热部件的外部且与支撑件间隔开;以及可旋转的冷却部件,其安置于支撑件下方而支撑坩埚。根据本发明,旋转的冷却部件的冷却不仅传递到坩埚的下部部分,而且通过形成于绝热部件的下部部分与支撑件之间的空间传递到坩埚的侧面部分,使得熔化硅的中心和侧面部分可同时固化,进而制造具有优良晶体方向性的硅锭块。
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公开(公告)号:CN102131963A
公开(公告)日:2011-07-20
申请号:CN200980133230.2
申请日:2009-08-11
Applicant: 亚威科股份有限公司
IPC: C30B15/10
CPC classification number: C30B29/06 , C01B33/021 , C30B11/003
Abstract: 本发明关于一种用于制造锭块的设备和方法。根据本发明用于制造锭块的设备包含:坩埚,其用于容纳原材料;加热部件,其用于加热坩埚;支撑件,其用于支撑坩埚;绝热部件,其安置于加热部件的外部且与支撑件间隔开;以及可旋转的冷却部件,其安置于支撑件下方而支撑坩埚。根据本发明,旋转的冷却部件的冷却不仅传递到坩埚的下部部分,而且通过形成于绝热部件的下部部分与支撑件之间的空间传递到坩埚的侧面部分,使得熔化硅的中心和侧面部分可同时固化,进而制造具有优良晶体方向性的硅锭块。
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