公开(公告)号：CN108231644B

公开(公告)日：2021-11-19

申请号：CN201711305318.0

申请日：2017-12-08

Applicant: 亚威科股份有限公司 ,  DAS株式会社

Inventor： 金镇喆 ,  裵莹宰 ,  韩庆准 ,  徐汉基

IPC: H01L21/68 ,  H01L21/687

Abstract: 本发明涉及基板升降装置，包括：可变升降销，用于支撑基板；可升降的销板；升降部，用于升降所述销板；以及切换部，结合所述可变升降销；所述切换部包括切换部件，所述切换部件切换于支撑模式以及解除模式之间，其中所述支撑模式是由所述销板支撑所述切换部，进而通过所述销板升降所述可变升降销进行升降来支撑所述基板；所述解除模式是解除对所述销板的支撑，以使所述销板对所述可变升降销单独进行升降。

公开(公告)号：CN108231644A

公开(公告)日：2018-06-29

申请号：CN201711305318.0

申请日：2017-12-08

Applicant: 亚威科股份有限公司 ,  DAS株式会社

Inventor： 金镇喆 ,  裵莹宰 ,  韩庆准 ,  徐汉基

IPC: H01L21/68 ,  H01L21/687

Abstract: 本发明涉及基板升降装置，包括：可变升降销，用于支撑基板；可升降的销板；升降部，用于升降所述销板；以及切换部，结合所述可变升降销；所述切换部包括切换部件，所述切换部件切换于支撑模式以及解除模式之间，其中所述支撑模式是由所述销板支撑所述切换部，进而通过所述销板升降所述可变升降销进行升降来支撑所述基板；所述解除模式是解除对所述销板的支撑，以使所述销板对所述可变升降销单独进行升降。