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公开(公告)号:CN108231644B
公开(公告)日:2021-11-19
申请号:CN201711305318.0
申请日:2017-12-08
IPC: H01L21/68 , H01L21/687
Abstract: 本发明涉及基板升降装置,包括:可变升降销,用于支撑基板;可升降的销板;升降部,用于升降所述销板;以及切换部,结合所述可变升降销;所述切换部包括切换部件,所述切换部件切换于支撑模式以及解除模式之间,其中所述支撑模式是由所述销板支撑所述切换部,进而通过所述销板升降所述可变升降销进行升降来支撑所述基板;所述解除模式是解除对所述销板的支撑,以使所述销板对所述可变升降销单独进行升降。
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公开(公告)号:CN108231644A
公开(公告)日:2018-06-29
申请号:CN201711305318.0
申请日:2017-12-08
IPC: H01L21/68 , H01L21/687
Abstract: 本发明涉及基板升降装置,包括:可变升降销,用于支撑基板;可升降的销板;升降部,用于升降所述销板;以及切换部,结合所述可变升降销;所述切换部包括切换部件,所述切换部件切换于支撑模式以及解除模式之间,其中所述支撑模式是由所述销板支撑所述切换部,进而通过所述销板升降所述可变升降销进行升降来支撑所述基板;所述解除模式是解除对所述销板的支撑,以使所述销板对所述可变升降销单独进行升降。
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公开(公告)号:CN106166887B
公开(公告)日:2018-06-15
申请号:CN201510427885.8
申请日:2015-07-20
Applicant: DAS株式会社
Abstract: 本发明提供不降低对目标物的吸附力且能够对齐显示面板与透明盖之间的位置的显示器用粘结装置。根据本发明的显示器用粘结装置,可包括:下部腔室模块,支撑显示面板;上部腔室模块,支撑透明盖;拍摄模块,在支撑显示面板的下部腔室模块与支撑透明盖的上部腔室模块之间,拍摄配置在显示面板的面板对准标记与配置在透明盖的盖对准标记;及对齐模块,以拍摄模块的拍摄图像为基础,对齐所述面板对准标记与盖对准标记之间的位置。如上所述,本发明将用于粘结显示面板与透明盖之间的粘结空间的体积最小化来缩短真空度形成时间,据此可缩短粘结工序的节拍时间(tact time)。
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公开(公告)号:CN106166887A
公开(公告)日:2016-11-30
申请号:CN201510427885.8
申请日:2015-07-20
Applicant: DAS株式会社
Abstract: 本发明提供不降低对目标物的吸附力且能够对齐显示面板与透明盖之间的位置的显示器用粘结装置。根据本发明的显示器用粘结装置,可包括:下部腔室模块,支撑显示面板;上部腔室模块,支撑透明盖;拍摄模块,在支撑显示面板的下部腔室模块与支撑透明盖的上部腔室模块之间,拍摄配置在显示面板的面板对准标记与配置在透明盖的盖对准标记;及对齐模块,以拍摄模块的拍摄图像为基础,对齐所述面板对准标记与盖对准标记之间的位置。如上所述,本发明将用于粘结显示面板与透明盖之间的粘结空间的体积最小化来缩短真空度形成时间,据此可缩短粘结工序的节拍时间(tact time)。
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