公开(公告)号：CN106716485A

公开(公告)日：2017-05-24

申请号：CN201580049484.1

申请日：2015-09-15

Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司

Inventor： 拉尔斯·施托佩 ,  克里斯托夫·胡泽曼 ,  沃尔夫·辛格

IPC: G06T5/00 ,  G06T5/50

CPC classification number: G06T5/007 ,  G06T3/4076 ,  G06T5/002 ,  G06T5/003 ,  G06T5/006 ,  G06T5/30 ,  G06T5/50 ,  G06T2207/10056 ,  G06T2207/10152 ,  G06T2207/20221

Abstract: 使用至少两个照射几何结构(110‑1、110‑2)顺序地照射物体(100)。对所述至少两个照射几何结构(110‑1、110‑2)中的每个捕捉物体(100)的强度图像。组合强度图像以用于生成结果图像。以结果图像满足预定优化标准的这样的方式执行组合。举例来说，优化标准可以涉及图像对比度、边缘抖度或图像清晰度。可以使用空间分辨率来执行优化。

公开(公告)号：CN102332382B

公开(公告)日：2017-03-01

申请号：CN201110230743.4

申请日：2011-06-22

Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司

Inventor： J·比伯杰 ,  R·普尔维 ,  J·帕卢斯金斯基 ,  D·多尼茨 ,  H·马蒂 ,  M·斯泰格沃尔德

IPC: H01J37/302 ,  H01J37/32

CPC classification number: H01J37/3056 ,  G01B15/04 ,  H01J37/30 ,  H01J37/3005 ,  H01J37/3007 ,  H01J37/304 ,  H01J37/3174 ,  H01J2237/2611 ,  H01J2237/30455 ,  H01J2237/30494 ,  H01J2237/31722 ,  H01J2237/31749

Abstract: 本发明公开了一种加工物体的方法。该方法包括在物体的表面上扫描粒子束并且探测由于扫描而从物体逸出的电子；基于探测的电子，对物体的表面上的多个位置中的每一个，确定物体的表面与预定表面的高度差；基于确定的高度差，对物体的表面上的多个位置中的每一个，确定加工强度；以及基于确定的加工强度，将离子束引导到多个位置，从而在多个位置从物体移除材料或者在物体上沉积材料。

公开(公告)号：CN106462964A

公开(公告)日：2017-02-22

申请号：CN201580023760.7

申请日：2015-04-29

Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司

Inventor： 约舒亚·苏伊特·拉詹伊 ,  乌特帕尔·萨卡尔 ,  约亨·施魏策尔 ,  马库斯·格瑙克

IPC: G06T7/00 ,  G06K9/00

CPC classification number: G06T7/11 ,  G02B21/365 ,  G06K9/0014 ,  G06T7/90 ,  G06T2207/10024 ,  G06T2207/10056

Abstract: 本发明涉及一种对由像素组成的彩色图像进行分割的方法，彩色图像例如已经用数字显微镜拍摄好并且要经历自动分析。本发明还涉及一种数字显微镜，利用该数字显微镜能够执行根据本发明的方法。该方法规定，首先选出代表彩色图像的待分割的区域的颜色。根据基于三色刺激的第一颜色模型来提供配属于像素的颜色和所选出的颜色。确定其中每个像素的距离大小，该距离大小表示根据第一颜色模型的各自的像素的颜色与所选出的颜色之间的距离。根据感知导向的第二颜色模型来提供配属于像素的颜色和所选出的颜色，为此确定用于配属于像素的颜色和用于所选出的颜色的至少各一个色调。当配属于各自的像素的距离大小在能设定的阈值之下时并且当配属于各自的像素的色调位于配属于在所选出的颜色的色调周围的能设定的区间内时，将其中一个像素配属给已分割的区域。

公开(公告)号：CN106415357A

公开(公告)日：2017-02-15

申请号：CN201580028197.2

申请日：2015-05-22

Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司 ,  卡尔蔡司股份公司

Inventor： 丹尼尔·施威特 ,  蒂姆·安胡特 ,  马蒂亚斯·瓦尔特

IPC: G02B21/00

CPC classification number: G02B21/0032 ,  G02B21/002 ,  G02B21/004 ,  G02B21/0052 ,  G02B21/0076 ,  G02B21/008

Abstract: 本发明涉及一种功能集成的激光扫描显微镜，设计用于可选地以共焦运行模式、行运行模式或宽场运行模式利用激光照射装置对试样加以扫描，其包括：激光光源、照射和检测光路、检测装置以及至少一个物镜，分别针对各种所选运行模式的使用来设计，其中，照射和检测光路包括用于配置激光照射装置的机构、至少一个用于利用激光照射装置对试样进行扫描的扫描仪以及用于将照射和检测光分离的分束器，以及在检测光路中设置有用于根据相应选择的运行模式改变光线引导的、能够控制的光学元件。能够控制的光学结构组件经指令输入装置与控制电路连接，控制电路被设计用于变换到根据相应所希望的运行模式，并且存在基于由检测装置输出的电子图像信号来生成试样图像的硬件和软件。

公开(公告)号：CN103238202B

公开(公告)日：2016-11-09

申请号：CN201180057076.2

申请日：2011-09-23

Applicant: 以色列实用材料有限公司 ,  卡尔蔡司显微镜有限责任公司

Inventor： D.蔡德勒 ,  T.凯曼 ,  P.安格 ,  A.卡萨里斯 ,  C.里德赛尔

IPC: H01J37/09

CPC classification number: H01J37/09 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  H01J37/21 ,  H01J37/28 ,  H01J37/3177 ,  H01J2237/0453 ,  H01J2237/0458 ,  H01J2237/0492 ,  H01J2237/1205

Abstract: 本发明涉及一种带电粒子多小波束系统，其包含带电粒子源（301）；具有多个孔径的第一多孔径板（320），其布置在所述系统的带电粒子束路径中所述源的下游；第一多孔径选择器板（313），具有多个孔径；载体（340），其中所述第一多孔径选择器板安装在所述载体上；致动器（350），构造为移动所述载体，使得在所述系统的第一操作模式中将所述第一多孔径选择器板布置在所述系统的带电粒子束路径中所述源的下游，并且使得在所述系统的第二操作模式中将所述第一多孔径选择器板布置在所述带电粒子束路径之外。其中，所述源、所述第一多孔径板和所述载体被布置为使得在所述第一操作模式中，在所述第一多孔径板和所述第一多孔径选择器板二者下游的位置处产生第一数量的带电粒子小波束，并且使得在所述第二操作模式中，在所述位置处产生第二数量的带电粒子小波束，其中小波束的第一数量与小波束的第二数量不同。

公开(公告)号：CN102608744B

公开(公告)日：2016-10-05

申请号：CN201210015122.9

申请日：2012-01-18

Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司

Inventor： I.法尔布施 ,  G.赫布斯特

IPC: G02B21/02 ,  G02B21/24 ,  G02B7/02

CPC classification number: G02B21/02 ,  G02B7/022 ,  G02B7/08

Abstract: 本发明涉及一种显微镜物镜，具有至少一个在显微镜物镜的光轴方向上可移动的、由至少一个透镜和透镜筒（13）构成的透镜组（3），它为了移动与机电的驱动装置连接。按照本发明一种这样的显微镜物镜包括产生旋转驱动运动的电动机（10）和传动件，它设计成用于将旋转运动转换成平移运动，用于将平移运动传递到透镜组（3）上，同时用于防止透镜组（3）围绕光轴旋转。在一种优选的扩展结构变化中所述电动机（10）的旋转驱动轴与螺杆（11）连接，它与加工在透镜筒（13）里面螺纹孔处于啮合，由此使透镜组（3）直接平移地运动。同时通过螺杆（11）啮合到透镜筒（13）里面不仅实现透镜组（3）的平移运动，而且防止透镜组（3）围绕光轴旋转。

公开(公告)号：CN102543640B

公开(公告)日：2016-09-28

申请号：CN201110418980.3

申请日：2011-09-29

Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司

Inventor： S·迪默 ,  H·曼茨 ,  J·帕卢齐恩斯基

IPC: H01J37/28 ,  G01N23/225

CPC classification number: H01J37/28 ,  H01J37/265 ,  H01J2237/184 ,  H01J2237/20285 ,  H01J2237/20292 ,  H01J2237/216 ,  H01J2237/22 ,  H01J2237/221 ,  H01J2237/2482

Abstract: 本发明涉及一种操作粒子束显微镜的方法，其中所述方法包括：探测从结构发出的光线和/或从结构发出的粒子的至少之一，其中所述结构包括至少下述之一：物体的表面的至少一部分和粒子束显微镜的载物台的表面的至少一部分；根据探测到的光线和粒子的至少之一生成所述结构的表面模型；相对于目标区域确定所述结构的表面模型的位置和定向；相对于所述结构的表面模型确定测量部位；以及，根据生成的所述结构的表面模型、确定的所述结构的表面模型的位置和定向以及确定的测量部位定位物体。

公开(公告)号：CN105789007A

公开(公告)日：2016-07-20

申请号：CN201511036232.3

申请日：2015-12-22

Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司

Inventor： C·休伊恩 ,  B·戈策 ,  J·A·诺特四世 ,  D·斯图尔特

IPC: H01J37/30 ,  H01L39/24

Abstract: 本申请公开了一种带电粒子束系统，包括带电粒子束柱，其具有形成带电粒子束的带电粒子源、物镜、以及改变带电粒子束在样品平面中的照射位置的第一偏转系统。该系统还包括样品室，其包括用于保持待处理样品的样品台，以及控制器，配置为创建和存储样品表面的高度图。所述控制器进一步配置为根据高度图依赖带电粒子束的照射位置动态地调节带电粒子束的物镜。

公开(公告)号：CN102543638B

公开(公告)日：2016-03-09

申请号：CN201110462520.0

申请日：2011-11-03

Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司

Inventor： S·比恩 ,  R·罗兰 ,  S·希斯

IPC: H01J37/26

CPC classification number: H01J37/222 ,  G02B21/367 ,  H01J37/244 ,  H01J37/26 ,  H01J2237/047 ,  H01J2237/22 ,  H01J2237/221 ,  H01J2237/225 ,  H01J2237/2482 ,  H01J2237/28

Abstract: 本发明提供操作带电粒子显微镜的方法以及显微镜系统。该方法包括：使用第一设置下的带电粒子显微镜记录物体的第一区域的第一图像；使用第二设置下的带电粒子显微镜记录物体的第二区域的第二图像；第二设置与第一设置在用于成像的一次带电粒子的动能、探测器设置、一次带电粒子的束电流和测量室内的压强中的至少一个上不同；读取物体的第三区域的第三图像，第一和第二区域至少部分地包含在第三区域中；显示第三图像的至少一部分；在第三图像中至少部分地显示第一图像的图示，第一图像的图示包括指示第一设置的第一指示体；在第三图像中至少部分地显示第二图像的图示，第二图像的图示包括指示第二设置的第二指示体，第二指示体不同于第一指示体。

公开(公告)号：CN105359025A

公开(公告)日：2016-02-24

申请号：CN201480038895.6

申请日：2014-07-08

Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司

Inventor： J.西本摩根 ,  T.卡尔克布伦纳 ,  H.利珀特

IPC: G02B21/06 ,  G02B21/16 ,  G02B21/36 ,  G02B21/34 ,  G01N21/03

CPC classification number: G02B27/0025 ,  G01N21/15 ,  G01N2021/0396 ,  G02B21/0032 ,  G02B21/0076 ,  G02B21/0088 ,  G02B21/02 ,  G02B21/16 ,  G02B21/33 ,  G02B21/34 ,  G02B21/367 ,  G02B27/0068

Abstract: 本发明涉及一种用于光片显微技术的设备。这种设备包括用于容纳位于介质(2)中的样本(3)的样本容器(1)。样本容器(1)相对于平面形参照面被对齐。该设备还包括具有照明物镜(6)的照明光学系统，用于以光片照明样本(3)，其中，照明物镜(6)的光学轴线(7)与光片位于这样的平面中，该平面与参照面的法线围成不等于0的照明角度(β)，以及具有检测物镜(8)的检测光学系统，检测物镜(8)的光学轴线(9)与参照面的法线围成不等于0的检测角度(δ)。在这种设备中设有包括一个或多个厚度预定且材料预定的层的分离层系统，用于将样本(3)位于其中的介质(2)与照明物镜(6)和检测物镜(8)空间分离，其中，该分离层系统以平行于参照面的边界面(11)至少在对于照明物镜(6)和检测物镜(8)为照明和探测可到达的区域中接触介质(2)。在此，照明角度(β)和检测角度(δ)是借助检测物镜(8)或照明物镜(6)的数值孔径(NAD，NAB)来预先给定的。