公开(公告)号：CN102332382B

公开(公告)日：2017-03-01

申请号：CN201110230743.4

申请日：2011-06-22

Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司

Inventor： J·比伯杰 ,  R·普尔维 ,  J·帕卢斯金斯基 ,  D·多尼茨 ,  H·马蒂 ,  M·斯泰格沃尔德

IPC: H01J37/302 ,  H01J37/32

CPC classification number: H01J37/3056 ,  G01B15/04 ,  H01J37/30 ,  H01J37/3005 ,  H01J37/3007 ,  H01J37/304 ,  H01J37/3174 ,  H01J2237/2611 ,  H01J2237/30455 ,  H01J2237/30494 ,  H01J2237/31722 ,  H01J2237/31749

Abstract: 本发明公开了一种加工物体的方法。该方法包括在物体的表面上扫描粒子束并且探测由于扫描而从物体逸出的电子；基于探测的电子，对物体的表面上的多个位置中的每一个，确定物体的表面与预定表面的高度差；基于确定的高度差，对物体的表面上的多个位置中的每一个，确定加工强度；以及基于确定的加工强度，将离子束引导到多个位置，从而在多个位置从物体移除材料或者在物体上沉积材料。