公开(公告)号：CN105789007A

公开(公告)日：2016-07-20

申请号：CN201511036232.3

申请日：2015-12-22

Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司

Inventor： C·休伊恩 ,  B·戈策 ,  J·A·诺特四世 ,  D·斯图尔特

IPC: H01J37/30 ,  H01L39/24

Abstract: 本申请公开了一种带电粒子束系统，包括带电粒子束柱，其具有形成带电粒子束的带电粒子源、物镜、以及改变带电粒子束在样品平面中的照射位置的第一偏转系统。该系统还包括样品室，其包括用于保持待处理样品的样品台，以及控制器，配置为创建和存储样品表面的高度图。所述控制器进一步配置为根据高度图依赖带电粒子束的照射位置动态地调节带电粒子束的物镜。

公开(公告)号：CN105789007B

公开(公告)日：2019-11-12

申请号：CN201511036232.3

申请日：2015-12-22

Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司

Inventor： C·休伊恩 ,  B·戈策 ,  J·A·诺特四世 ,  D·斯图尔特

IPC: H01J37/30 ,  H01L39/24

Abstract: 本申请公开了一种带电粒子束系统，包括带电粒子束柱，其具有形成带电粒子束的带电粒子源、物镜、以及改变带电粒子束在样品平面中的照射位置的第一偏转系统。该系统还包括样品室，其包括用于保持待处理样品的样品台，以及控制器，配置为创建和存储样品表面的高度图。所述控制器进一步配置为根据高度图依赖带电粒子束的照射位置动态地调节带电粒子束的物镜。