公开(公告)号：CN102543640B

公开(公告)日：2016-09-28

申请号：CN201110418980.3

申请日：2011-09-29

Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司

Inventor： S·迪默 ,  H·曼茨 ,  J·帕卢齐恩斯基

IPC: H01J37/28 ,  G01N23/225

CPC classification number: H01J37/28 ,  H01J37/265 ,  H01J2237/184 ,  H01J2237/20285 ,  H01J2237/20292 ,  H01J2237/216 ,  H01J2237/22 ,  H01J2237/221 ,  H01J2237/2482

Abstract: 本发明涉及一种操作粒子束显微镜的方法，其中所述方法包括：探测从结构发出的光线和/或从结构发出的粒子的至少之一，其中所述结构包括至少下述之一：物体的表面的至少一部分和粒子束显微镜的载物台的表面的至少一部分；根据探测到的光线和粒子的至少之一生成所述结构的表面模型；相对于目标区域确定所述结构的表面模型的位置和定向；相对于所述结构的表面模型确定测量部位；以及，根据生成的所述结构的表面模型、确定的所述结构的表面模型的位置和定向以及确定的测量部位定位物体。

公开(公告)号：CN119689704A

公开(公告)日：2025-03-25

申请号：CN202411024541.8

申请日：2024-07-29

Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司

Inventor： W·伯格 ,  S·迪默 ,  D·东豪泽

IPC: G02B21/36 ,  G03B17/17 ,  G03B17/56

Abstract: 本发明涉及一种相机系统，该相机系统用于显微镜系统中，其中相机系统被适配成用于拍摄物体的光学图像。相机系统包括相机，相机具有像场，其中相机的像场至少包括第一子像场和第二子像场。此外，相机系统包括光学的反射镜元件，反射镜元件具有反射镜面，其中反射镜元件能够被布置在显微镜系统中。相机系统被配置成使得物体的第一视图能够经反射镜面被成像至相机的第一子像场，并且物体的第二视图能够被成像至第二子像场。