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公开(公告)号：CN118299367B
公开(公告)日：2024-10-11
申请号：CN202410707602.4
申请日：2024-06-03
申请人： 湖北江城芯片中试服务有限公司
发明人： 王坤
IPC分类号： H01L23/544 , H01L23/498 , H01L23/538 , H01L21/48 , H01L21/768 , G01B7/00 , G01C19/08 , G01C9/06
摘要： 本公开提供了一种半导体器件及其制造方法。半导体器件包括：电介质层、多个导电结构、第一导电件以及第二导电件；电介质层中形成有贯穿电介质层的多个通孔，通孔的延伸方向与电介质层的第一表面相垂直；导电结构包括导电层和导电球体，导电层覆盖于通孔的侧壁，导电球体可沿通孔的延伸方向移动地设置在通孔内，且与导电层相接触；第一导电件连接导电层的靠近第一表面的一端；第二导电件连接导电层的靠近电介质层的第二表面的一端，第二表面与第一表面相对设置。其中，多个导电结构中的导电球体在通孔中的位置信息可以确定半导体器件的倾斜信息，起到了陀螺仪的作用。这种将陀螺仪内置到半导体器件中的方法，能够释放电子产品的电路板上的空间。
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公开(公告)号：CN108036782B
公开(公告)日：2021-02-02
申请号：CN201711324775.4
申请日：2017-12-13
申请人： 陕西宝成航空仪表有限责任公司
摘要： 提供一种球形对称陀螺，具有陀螺电机，与陀螺电机关联的陀螺内环组件和陀螺外环组件，以陀螺电机为中心对称安装的球形力矩器和球形角度传感器，且陀螺电机、陀螺内环组件、陀螺外环组件、力矩器和角度传感器均组装于封闭的壳体内，所述陀螺电机为球形对称，并组装于与其呈同球心不同直径呈球形对称的陀螺房内；与陀螺房和陀螺电机同球心，由内向外设置有与陀螺房和陀螺电机呈同一同球心不同直径球形对称结构双轴式的力矩器、差动式的角度传感器和壳体。本发明通过将陀螺总体结构采用更为紧凑的球形对称结构设计，来最大限地地缩小转子陀螺整体以及沿陀螺电机轴向各部件的安装间隙，满足转子陀螺小型化、轻量化、高精度高性价比的市场需求，填补国内市场技术空白。
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公开(公告)号：CN108036782A
公开(公告)日：2018-05-15
申请号：CN201711324775.4
申请日：2017-12-13
申请人： 陕西宝成航空仪表有限责任公司
摘要： 提供一种球形对称陀螺，具有陀螺电机，与陀螺电机关联的陀螺内环组件和陀螺外环组件，以陀螺电机为中心对称安装的球形力矩器和球形角度传感器，且陀螺电机、陀螺内环组件、陀螺外环组件、力矩器和角度传感器均组装于封闭的壳体内，所述陀螺电机为球形对称，并组装于与其呈同球心不同直径呈球形对称的陀螺房内；与陀螺房和陀螺电机同球心，由内向外设置有与陀螺房和陀螺电机呈同一同球心不同直径球形对称结构双轴式的力矩器、差动式的角度传感器和壳体。本发明通过将陀螺总体结构采用更为紧凑的球形对称结构设计，来最大限地地缩小转子陀螺整体以及沿陀螺电机轴向各部件的安装间隙，满足转子陀螺小型化、轻量化、高精度高性价比的市场需求，填补国内市场技术空白。
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公开(公告)号：CN107941206A
公开(公告)日：2018-04-20
申请号：CN201711207655.6
申请日：2017-11-27
申请人： 安徽江淮汽车集团股份有限公司
摘要： 本发明公开了一种陀螺仪总成，其中，包括：外壳体；转子外框，通过外框转轴转动地设置在所述外壳体内；转子，转动地设置在所述转子外框内，且所述转子转动的轴线与所述转子外框转动的轴线垂直；电机，设置在所述转子外框上，驱动所述转子转动；可变电阻，套设在所述外框转轴上；第一弹性电极，具有两根，夹装在所述可变电阻外；电路接口，设置在所述外壳体上，与所述第一弹性电极连通。本发明的陀螺仪总成可以检测到其所在处的平衡性变化，主要是倾斜，在倾斜发生时，转子、转子外框等结构由于该倾斜，使转子外框转动，该转动可以改变可变电阻的阻值，从而影响电信号的输出，通过该电信号可以判断倾斜方向。
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公开(公告)号：CN102506840A
公开(公告)日：2012-06-20
申请号：CN201110287382.7
申请日：2011-09-26
申请人： 中国船舶重工集团公司第七0七研究所
摘要： 本发明涉及一种高精度半球动压马达动力调谐陀螺仪，其总体结构包括永磁电机、差动式电感传感器、动铁式双轴力矩器、多平衡环接头、整流件及分区温控件等。永磁电机采用半球型动压气体轴承，整流件主要分布在陀螺和电机转子外围，分区温控件分布在陀螺内部不同区域。本发明是一种精度优于0.001°/h，并且具有体积小、启动快、成本低、寿命长、可拆卸的高精度半球动压马达动力调谐陀螺仪，本陀螺仪通过安装半球轴承、整流件以及分区温控件，实现了提高测量精度的目的，适合应用于有长时间、高精度导航要求的现代惯性导航系统中。
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公开(公告)号：CN100510626C
公开(公告)日：2009-07-08
申请号：CN200510110656.X
申请日：2005-11-24
申请人： 上海交通大学
摘要： 一种微机电技术领域的磁场可控介磁稳定悬浮转子微陀螺，上定子上设置电极层、两层绝缘支撑层、介磁材料层、环形线圈层，两层绝缘支撑层设置在介磁材料层的上下表面，电极层设置在一个绝缘支撑层的外表面，环形线圈层设置在另一个绝缘材料层的外表面，电极层中心设置公共电极，从内向外依次设置扇形检测加矩电极、扇形旋转电极；下定子结构与上定子相同，也设置电极层、两层绝缘支撑层、介磁材料层、环形线圈层；转子为外齿转子或者内含齿转子。本发明解决了上述背景技术中的问题，集成了大的悬浮转子陀螺精度高和MEMS微陀螺成本低、可批量化的特点。
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公开(公告)号：CN1804548A
公开(公告)日：2006-07-19
申请号：CN200610023455.0
申请日：2006-01-19
申请人： 上海交通大学
摘要： 一种电磁悬浮静电驱动微转动陀螺，属于微机电系统技术领域。本发明包括：旋转驱动电极、微转子、稳定悬浮线圈外圈、齿形电极、传感电极、基体、稳定悬浮线圈内圈、连接线，稳定悬浮线圈内圈、稳定悬浮线圈外圈、传感电极、旋转驱动电极都设在基体上，和基体形成固定联接，微转子在电磁力作用下悬浮在基体的上方，微转子呈圆环形，圆环内侧均匀分布有齿形电极，旋转驱动电极和齿形电极形成可变电容，稳定悬浮线圈内圈和稳定悬浮线圈外圈通过连接线连接。本发明提出的电磁悬浮静电驱动微转动陀螺中引入了静电旋转驱动结构，通过静电驱动可以显著增大微转子的旋转扭矩和转速，进而提高微陀螺的测量精度，推广微陀螺的应用领域。
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公开(公告)号：CN114322971B
公开(公告)日：2023-09-12
申请号：CN202210018417.5
申请日：2022-01-07
申请人： 北京航空航天大学
摘要： 本发明公开了一种基于双二阶广义积分器的磁悬浮转子同频振动力抑制方法，包括如下步骤：首先建立考虑转子质量不平衡的磁悬浮转子动力学模型，然后采用基于双二阶广义积分器的磁悬浮转子同频振动力抑制方法。其中，同频振动力的抑制取决于转速信号，双二阶广义积分器可以利用转子质量不平衡产生的扰动信号的频率自适应的估计出转子转速并抑制磁悬浮转子系统产生的同频振动力。针对构造同频振动力的电流刚度和位移刚度存在误差的问题，提出一种刚度比值的同频振动力构造方法，提高了同频振动力的抑制精度。引入相位补偿角可以保证系统在全转速范围内的稳定性。本发明中的双二阶广义积分器结构简单，在实际应用中很方便，适用于存在转子质量不平衡的磁悬浮控制力矩陀螺同频振动力的抑制。
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公开(公告)号：CN107941206B
公开(公告)日：2019-11-05
申请号：CN201711207655.6
申请日：2017-11-27
申请人： 安徽江淮汽车集团股份有限公司
摘要： 本发明公开了一种陀螺仪总成，其中，包括：外壳体；转子外框，通过外框转轴转动地设置在所述外壳体内；转子，转动地设置在所述转子外框内，且所述转子转动的轴线与所述转子外框转动的轴线垂直；电机，设置在所述转子外框上，驱动所述转子转动；可变电阻，套设在所述外框转轴上；第一弹性电极，具有两根，夹装在所述可变电阻外；电路接口，设置在所述外壳体上，与所述第一弹性电极连通。本发明的陀螺仪总成可以检测到其所在处的平衡性变化，主要是倾斜，在倾斜发生时，转子、转子外框等结构由于该倾斜，使转子外框转动，该转动可以改变可变电阻的阻值，从而影响电信号的输出，通过该电信号可以判断倾斜方向。
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公开(公告)号：CN107607099A
公开(公告)日：2018-01-19
申请号：CN201710767978.4
申请日：2017-08-31
申请人： 北京石油化工学院
摘要： 本发明涉及一种检控共位的磁悬浮控制敏感陀螺，包括静止部分和转动部分，静止部分包括：上密封盖、中陀螺房、下密封盖、密封圈、上陀螺房、下陀螺房、电机组件定子、洛伦兹力磁轴承定子、轴向球面磁轴承定子、调整垫环、径向球面磁轴承定子、偏转位移传感器组件、保护轴承；转动部分包括：陀螺内转轴、陀螺外转盘组件和陀螺转子锁母。本发明提出的位移检测点与磁轴承控制点共位的磁悬浮控制敏感陀螺，消除了传感器与磁轴承转换矩阵引起的误差，提高了陀螺控制力矩精度和姿态敏感精度。此外，定转子间保护间隙和磁间隙均为球壳状，消除了平动磁轴承因转子偏转引起的负力矩，增加了转子偏转角度，提升了陀螺控制力矩大小和作用时间。
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