发明授权
CN100510626C 磁场可控介磁稳定悬浮转子微陀螺
失效 - 权利终止
- 专利标题: 磁场可控介磁稳定悬浮转子微陀螺
- 专利标题(英): Magnetic field controllable dimagnetic stable suspersion rotor micro gyroscope
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申请号: CN200510110656.X申请日: 2005-11-24
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公开(公告)号: CN100510626C公开(公告)日: 2009-07-08
- 发明人: 张卫平 , 陈文元 , 刘武 , 赵小林
- 申请人: 上海交通大学
- 申请人地址: 上海市闵行区东川路800号
- 专利权人: 上海交通大学
- 当前专利权人: 上海交通大学
- 当前专利权人地址: 上海市闵行区东川路800号
- 代理机构: 上海交达专利事务所
- 代理商 王锡麟; 王桂忠
- 主分类号: G01C19/02
- IPC分类号: G01C19/02 ; G01C19/08 ; G01C19/42 ; G01P9/02
摘要:
一种微机电技术领域的磁场可控介磁稳定悬浮转子微陀螺,上定子上设置电极层、两层绝缘支撑层、介磁材料层、环形线圈层,两层绝缘支撑层设置在介磁材料层的上下表面,电极层设置在一个绝缘支撑层的外表面,环形线圈层设置在另一个绝缘材料层的外表面,电极层中心设置公共电极,从内向外依次设置扇形检测加矩电极、扇形旋转电极;下定子结构与上定子相同,也设置电极层、两层绝缘支撑层、介磁材料层、环形线圈层;转子为外齿转子或者内含齿转子。本发明解决了上述背景技术中的问题,集成了大的悬浮转子陀螺精度高和MEMS微陀螺成本低、可批量化的特点。
公开/授权文献
- CN1776365A 磁场可控介磁稳定悬浮转子微陀螺 公开/授权日:2006-05-24