磁场可控介磁稳定悬浮转子微陀螺
摘要:
一种微机电技术领域的磁场可控介磁稳定悬浮转子微陀螺,上定子上设置电极层、两层绝缘支撑层、介磁材料层、环形线圈层,两层绝缘支撑层设置在介磁材料层的上下表面,电极层设置在一个绝缘支撑层的外表面,环形线圈层设置在另一个绝缘材料层的外表面,电极层中心设置公共电极,从内向外依次设置扇形检测加矩电极、扇形旋转电极;下定子结构与上定子相同,也设置电极层、两层绝缘支撑层、介磁材料层、环形线圈层;转子为外齿转子或者内含齿转子。本发明解决了上述背景技术中的问题,集成了大的悬浮转子陀螺精度高和MEMS微陀螺成本低、可批量化的特点。
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