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    Composite body
    3.
    发明申请
    Composite body 审中-公开
    复合体

    公开(公告)号：US20060192328A1

    公开(公告)日：2006-08-31

    申请号：US11304055

    申请日：2005-12-14

    申请人： Fraser Morrison ,  Johannes Lippert ,  Yim-Bun Kwan ,  Andreas Ochse

    发明人： Fraser Morrison ,  Johannes Lippert ,  Yim-Bun Kwan ,  Andreas Ochse

    IPC分类号： F16F13/00

    CPC分类号： F16B11/006 ,  G02B7/008

    摘要： A composite body is joined together of at least two bodies (13, 16), wherein the first body (16) is a component—or monolithically comprises a component—with very stringent requirements on the precision of its surface (typically an optical component) and wherein the second body (13) can have the broadest diversity of functions, for example carrying parts of a position-measuring arrangement or optical surfaces. Each of the two bodies (13, 16) has at least one connecting surface area (21), and the at least two respective connecting surface areas (21) lie opposite each other. Within the at least one connecting surface area (21) of one of the two bodies (13, 16) or in the proximity of said connecting surface area (21), at least one constructive means is arranged for isolating the first body (16) and/or the second body (13) from deformation.

    摘要翻译： 复合体连接在一起的至少两个主体（13,16），其中第一主体（16）是组件或整体地包括部件 - 对其表面的精度（通常为光学部件）具有非常严格的要求， 并且其中所述第二主体（13）可以具有最广泛的功能多样性，例如携带位置测量装置的部件或光学表面。 两个主体（13,16）中的每一个具有至少一个连接表面区域（21），并且所述至少两个相应的连接表面区域（21）彼此相对。 在两个主体（13,16）中的一个的至少一个连接表面区域（21）内或在所述连接表面区域（21）附近，布置有至少一个结构化装置，用于隔离第一主体（16） 和/或第二主体（13）不变形。

    Housing structure for mounting optical elements
    4.
    发明申请
    Housing structure for mounting optical elements 有权
    用于安装光学元件的外壳结构

    公开(公告)号：US20070165311A1

    公开(公告)日：2007-07-19

    申请号：US10597872

    申请日：2005-02-22

    申请人： Yim-Bun Kwan ,  Bernhard Geuppert ,  Nico Kemper

    发明人： Yim-Bun Kwan ,  Bernhard Geuppert ,  Nico Kemper

    IPC分类号： G02B7/02

    CPC分类号： G02B7/02 ,  G03F7/70833

    摘要： In a housing structure for mounting optical elements, in particular of a projection lens housing in a projection exposure system for manufacturing semiconductor elements, attachment locations, which have connecting parts, for connection to a supporting structure are provided on structural elements. Supporting elements, which are provided with mounting flanges for connection to the supporting structure, act on the structural elements in such a way that weight forces are taken up essentially by pressure forces and shear forces.

    摘要翻译： 在用于安装光学元件的壳体结构中，特别是用于制造半导体元件的投影曝光系统中的投影透镜壳体，具有用于连接到支撑结构的连接部件的附接位置设置在结构元件上。 具有用于连接到支撑结构的安装凸缘的支撑元件以这样的方式作用于结构元件，使得重力基本上被压力和剪切力占据。

    Optical element module
    6.
    发明申请
    Optical element module 有权
    光学元件模块

    公开(公告)号：US20070146906A1

    公开(公告)日：2007-06-28

    申请号：US11444191

    申请日：2006-05-31

    申请人： Jens Kugler ,  Ulrich Weber ,  Bernhard Gellrich ,  Yim-Bun Kwan ,  Peter Deufel

    发明人： Jens Kugler ,  Ulrich Weber ,  Bernhard Gellrich ,  Yim-Bun Kwan ,  Peter Deufel

    IPC分类号： G02B7/02

    CPC分类号： G02B7/028 ,  G02B7/008 ,  G03F7/70825 ,  G03F7/70891

    摘要： There is provided an optical element module comprising a first optical element and an optical element holder. The first optical element has a first coefficient of thermal expansion. The optical element holder holds the first optical element and has a second coefficient of thermal expansion, the second coefficient of thermal expansion being adapted to the first coefficient of thermal expansion. The optical element is directly contacting the optical element holder in a wide contact area. The contact area is defined by a first contact surface of the first optical element and a second contact surface of the optical element holder, wherein the second contact surface matches the first contact surface. Thus, favorable rigidity and deformation behavior is provided.

    摘要翻译： 提供了一种包括第一光学元件和光学元件保持器的光学元件模块。 第一光学元件具有第一热膨胀系数。 光学元件保持器保持第一光学元件并具有第二热膨胀系数，第二热膨胀系数适应于第一热膨胀系数。 光学元件在宽接触区域中直接接触光学元件保持器。 接触区域由第一光学元件的第一接触表面和光学元件保持器的第二接触表面限定，其中第二接触表面与第一接触表面匹配。 因此，提供了良好的刚性和变形行为。

    Optical assembly for photolithography
    7.
    发明申请
    Optical assembly for photolithography 有权
    用于光刻的光学组件

    公开(公告)号：US20070076184A1

    公开(公告)日：2007-04-05

    申请号：US10595469

    申请日：2003-12-18

    申请人： Yim-Bun Kwan ,  Erik Loopstra

    发明人： Yim-Bun Kwan ,  Erik Loopstra

    IPC分类号： G03B27/54

    CPC分类号： G03F7/70258 ,  G02B5/005 ,  G02B13/143 ,  G03F7/70808 ,  G03F7/70825 ,  G03F7/70833 ,  G03F7/709

    摘要： The invention relates to an optical assembly (1) having a plurality of optical elements (2), at least one optical element (2, 2″) being connected to a structure (5) dynamically decoupled from the optical assembly (1), as a result of which it is substantially dynamically decoupled from the remaining optical elements (2) and the optical assembly (1).

    摘要翻译： 本发明涉及一种具有多个光学元件（2）的光学组件（1），至少一个与光学组件（1）动态分离的结构（5）连接的光学元件（2,2“）， 其结果是与剩余的光学元件（2）和光学组件（1）基本上动态地分离。

    Balanced positioning system for use in lithographic apparatus
    8.
    发明申请
    Balanced positioning system for use in lithographic apparatus 有权
    用于光刻设备的平衡定位系统

    公开(公告)号：US20050206865A1

    公开(公告)日：2005-09-22

    申请号：US10322800

    申请日：2002-12-19

    申请人： Yim Bun Kwan ,  Wilhelmus Jacobus Van De Wiel

    发明人： Yim Bun Kwan ,  Wilhelmus Jacobus Van De Wiel

    IPC分类号： G12B5/00 ,  G03F7/20 ,  H01L21/027 ,  G03B27/42

    CPC分类号： G03F7/70766 ,  G03F7/70716 ,  G03F7/709

    摘要： A balanced positioning apparatus comprises a balance mass which is supported so as to be moveable in the three degrees of freedom, such as X and Y translation and rotation about the Z-axis. Drive forces in these degrees of freedom act directly between the positioning body and the balance mass. Reaction forces arising from positioning movements result in corresponding movement of the balance mass and all reaction force are kept within the balanced positioning system. The balance mass may be a rectangular balance frame having the stators of two linear motors forming the uprights of an H-drive mounted on opposite sides. The cross-piece of the H-drive spans the frame and the positioned object is positioned within the central opening of the frame.

    摘要翻译： 平衡定位装置包括平衡块，该平衡块被支撑成可在三个自由度中移动，例如围绕Z轴的X和Y平移和旋转。 这些自由度的驱动力直接作用在定位体和平衡块之间。 由定位运动引起的反作用力导致平衡质量的相应运动，并且所有反作用力都保持在平衡定位系统内。 平衡块可以是具有形成安装在相对侧的H驱动器的立柱的两个线性电动机的定子的矩形平衡框架。 H型驱动器的横梁跨过框架，并且定位的对象位于框架的中心开口内。

    Cooling of voice coil motors
    9.
    发明申请
    Cooling of voice coil motors 有权
    音圈电机冷却

    公开(公告)号：US20050056792A1

    公开(公告)日：2005-03-17

    申请号：US10958402

    申请日：2004-10-06

    申请人： Edwin Buis ,  Noud Gilissen ,  Yim Bun Kwan ,  Paulus Schapendonk

    发明人： Edwin Buis ,  Noud Gilissen ,  Yim Bun Kwan ,  Paulus Schapendonk

    IPC分类号： H01L21/027 ,  G03F7/20 ,  H02K3/24 ,  H02K9/19 ,  H02K9/22 ,  H02K33/18 ,  H02K41/02 ,  H02K41/035 ,  G03B27/72

    CPC分类号： G03F7/70716 ,  G03F7/70725 ,  G03F7/70758 ,  G03F7/70775 ,  G03F7/70858 ,  G03F7/70875 ,  G03F7/70891 ,  H02K3/24 ,  H02K9/22 ,  H02K41/0356

    摘要： A voice coil motor used, for example, in a positioning device associated with either a first object table or a second object table in which the coil is cooled with a cooling jacket in thermal contact with the coil, the cooling jacket comprising at least one channel for circulation of a cooling fluid, the or each channel being arranged such as to be substantially located in a portion of the cooling jacket adjacent to the coil, for use, for example, in a lithographic projection apparatus including a radiation system for supplying a projection beam of radiation, a first object table for holding a mask, a second object table for holding a substrate, a projection system for imaging irradiated portions of the mask onto target portions of the substrate. The cooling jacket may be formed of a ceramic material and may be of a monolithic construction.

    摘要翻译： 一种音圈电机，例如在与第一物体台或第二物镜台相关联的定位装置中使用，其中线圈用与线圈热接触的冷却套冷却，冷却套包括至少一个通道 为了循环冷却流体，该通道或每个通道被布置成基本上位于与线圈相邻的冷却套管的一部分中，以用于例如光刻投影设备，该光刻投影设备包括用于提供投影的辐射系统 用于保持掩模的第一物体台，用于保持基板的第二物体台，用于将掩模的照射部分成像到基板的目标部分上的投影系统。 冷却套可以由陶瓷材料形成，并且可以是整体结构。

    Device consisting of at least one optical element
    10.
    发明申请
    Device consisting of at least one optical element 有权
    装置由至少一个光学元件组成

    公开(公告)号：US20070047876A1

    公开(公告)日：2007-03-01

    申请号：US11509154

    申请日：2006-08-24

    申请人： Yim-Bun Kwan ,  Michael Muhlbeyer ,  Johannes Lippert

    发明人： Yim-Bun Kwan ,  Michael Muhlbeyer ,  Johannes Lippert

    IPC分类号： G02B6/26

    CPC分类号： G02B7/1827 ,  G02B7/005 ,  G02B7/008 ,  G02B7/023 ,  G02B7/1822 ,  G03F7/70258 ,  G03F7/70825 ,  G03F7/70891

    摘要： An optical assembly comprises at least one optical element movable in at least two degrees of freedom and at least one actuator for adjusting the least one optical element; at least one sensor for sensing the position of the at least one element in at least two degrees of freedom and is characterized in that the at least one sensor is located at least substantially diagonally opposite to the least one actuator.

    摘要翻译： 光学组件包括至少一个可移动至少两个自由度的光学元件和至少一个用于调节至少一个光学元件的致动器; 至少一个传感器，用于以至少两个自由度感测所述至少一个元件的位置，其特征在于，所述至少一个传感器至少基本上与所述至少一个致动器对角地相对。