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    Micro-column with simple structure
    2.
    发明授权
    Micro-column with simple structure 有权
    微柱结构简单

    公开(公告)号：US08044351B2

    公开(公告)日：2011-10-25

    申请号：US11915679

    申请日：2006-05-29

    申请人： Ho Seob Kim ,  Byeng Jin Kim

    发明人： Ho Seob Kim ,  Byeng Jin Kim

    IPC分类号： G21K5/04

    CPC分类号： H01J3/18 ,  H01J3/26 ,  H01J37/12 ,  H01J2237/0492 ,  H01J2237/1205

    摘要： The present invention relates to an electron column including an electron emission source and lenses, and, more particularly, to an electron column having a structure that can facilitate the alignment and assembly of an electron emission source and lenses. The electron column having an electron emission source and a lens unit according to the present invention is characterized in that the lens unit includes two or more lens layers and performs both a source lens function and a focusing function. Furthermore, the electron column is characterized in that the lens unit includes one or more deflector-type lens layers and additionally performs a deflector function.

    摘要翻译： 本发明涉及包括电子发射源和透镜的电子柱，更具体地说，涉及具有能够促进电子发射源和透镜的对准和组装的结构的电子柱。 具有根据本发明的电子发射源和透镜单元的电子柱的特征在于，透镜单元包括两个或更多个透镜层，并且执行源透镜功能和聚焦功能。 此外，电子柱的特征在于，透镜单元包括一个或多个偏转器型透镜层，并且另外执行偏转器功能。

    Method for controlling electron beam in multi-microcolumn and multi-microcolumn using the same
    3.
    发明授权
    Method for controlling electron beam in multi-microcolumn and multi-microcolumn using the same 有权
    用多微柱和多微柱控制电子束的方法

    公开(公告)号：US08173978B2

    公开(公告)日：2012-05-08

    申请号：US11571695

    申请日：2005-07-05

    申请人： Ho Seob Kim ,  Byeng Jin Kim

    发明人： Ho Seob Kim ,  Byeng Jin Kim

    IPC分类号： H01J37/08

    CPC分类号： H01J37/263 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  H01J3/14 ,  H01J37/04 ,  H01J37/3007 ,  H01J37/302 ,  H01J37/3174 ,  H01J2237/1205 ,  H01J2237/248 ,  H01J2237/28 ,  H01J2237/31752

    摘要： Provided is a method for controlling electron beams in a multi-microcolumn, in which unit microcolumns having an electron emitter, a lens, and a deflector are arranged in an n×m matrix. A voltage is uniformly or differentially applied to each electron emitter or extractor. The same control voltage or different voltages are applied to a region at coordinates in a control division area of each extractor to deflect the electron beams. Lens layers not corresponding to the extractors are collectively or individually controlled so as to efficiently control the electron beams of the unit microcolumn. Further, a multi-microcolumn using the method is provided.

    摘要翻译： 提供了一种用于控制多微柱中的电子束的方法，其中具有电子发射器，透镜和偏转器的单元微柱以n×m矩阵排列。 电压均匀或差分施加到每个电子发射器或提取器。 将相同的控制电压或不同的电压施加到每个提取器的控制分割区域中的坐标处的区域以偏转电子束。 不对应于提取器的透镜层被集体地或单独地控制，以便有效地控制单元微柱的电子束。 此外，提供了使用该方法的多微柱。

    Housing for A Micro-Column
    4.
    发明申请
    Housing for A Micro-Column 审中-公开
    微柱房

    公开(公告)号：US20100163745A1

    公开(公告)日：2010-07-01

    申请号：US11817069

    申请日：2006-02-23

    申请人： Ho Seob Kim ,  Byeng Jin Kim

    发明人： Ho Seob Kim ,  Byeng Jin Kim

    IPC分类号： H01J3/26 ,  G21K1/00

    CPC分类号： H01J37/28 ,  H01J37/023 ,  H01J37/067

    摘要： Disclosed therein is a housing for micro-column, which can easily align and assemble the micro-column and improve stability of the micro-column. The housing for manufacturing micro-column including an electron emitter, deflectors, and lenses, the housing includes: an electron emitter holder in which the electron emitter is inserted; a holder base in which the electron emitter holder is inserted; and a column base coupled with the holder base, whereby the electron emitter can be aligned and fixed between the electron emitter holder and the holder base in X- and Y-axial directions via bolts and socket set screws inserted into the tap holes.

    摘要翻译： 其中公开了一种用于微柱的壳体，其可以容易地对准和组装微柱并提高微柱的稳定性。 用于制造包括电子发射器，偏转器和透镜的微型列的外壳包括：电子发射器支架，其中插入电子发射器; 其中插入电子发射器支架的支架基座; 以及与保持器基座连接的列底座，由此电子发射器可以通过插入到抽头孔中的螺栓和插座固定螺钉在X和Y轴方向上对准和固定在电子发射器支架和保持器基座之间。

    Scanning Field Emission Display
    6.
    发明申请
    Scanning Field Emission Display 审中-公开
    扫描场发射显示

    公开(公告)号：US20080211380A1

    公开(公告)日：2008-09-04

    申请号：US11573612

    申请日：2005-08-11

    申请人： Ho Seob Kim ,  Byeng Jin Kim

    发明人： Ho Seob Kim ,  Byeng Jin Kim

    IPC分类号： H01J1/62

    CPC分类号： H01J31/127

    摘要： Provided is a scanning field emission display (SFED). The SFED includes an electron emitter and a module for inducing electron emission of the electron emitter and deflecting an electron beam. A multi-SFED may be realized as a large-sized thin and flat display by arranging in an n×m array.

    摘要翻译： 提供了扫描场发射显示（SFED）。 SFED包括电子发射器和用于诱导电子发射体的电子发射和偏转电子束的模块。 多SFED可以通过以n×m阵列排列而实现为大尺寸的薄型平板显示器。

    Method for Controlling Electron Beam in Multi-Microcolumn and Multi-Microcolumn Using The Same
    9.
    发明申请
    Method for Controlling Electron Beam in Multi-Microcolumn and Multi-Microcolumn Using The Same 有权
    用于控制多微柱和多微柱中的电子束的方法

    公开(公告)号：US20100019166A1

    公开(公告)日：2010-01-28

    申请号：US11571695

    申请日：2005-07-05

    申请人： Ho Seob Kim ,  Byeng Jin Kim

    发明人： Ho Seob Kim ,  Byeng Jin Kim

    IPC分类号： H01J3/14

    CPC分类号： H01J37/263 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  H01J3/14 ,  H01J37/04 ,  H01J37/3007 ,  H01J37/302 ,  H01J37/3174 ,  H01J2237/1205 ,  H01J2237/248 ,  H01J2237/28 ,  H01J2237/31752

    摘要： Provided is a method for controlling electron beams in a multi-microcolumn, in which unit microcolumns having an electron emitter, a lens, and a deflector are arranged in an n×m matrix. A voltage is uniformly or differentially applied to each electron emitter or extractor. The same control voltage or different voltages are applied to a region at coordinates in a control division area of each extractor to deflect the electron beams. Lens layers not corresponding to the extractors are collectively or individually controlled so as to efficiently control the electron beams of the unit microcolumn. Further, a multi-microcolumn using the method is provided.

    摘要翻译： 提供了一种用于控制多微柱中的电子束的方法，其中具有电子发射器，透镜和偏转器的单元微柱以n×m矩阵排列。 电压均匀或差分施加到每个电子发射器或提取器。 将相同的控制电压或不同的电压施加到每个提取器的控制分割区域中的坐标处的区域以偏转电子束。 不对应于提取器的透镜层被集体地或单独地控制，以便有效地控制单元微柱的电子束。 此外，提供了使用该方法的多微柱。

    Motioning Equipment for Electron Column
    10.
    发明申请
    Motioning Equipment for Electron Column 审中-公开
    电子柱运动设备

    公开(公告)号：US20080210866A1

    公开(公告)日：2008-09-04

    申请号：US11792274

    申请日：2005-09-01

    申请人： Ho Seob Kim ,  Byeng Jin Kim

    发明人： Ho Seob Kim ,  Byeng Jin Kim

    IPC分类号： G01N23/00

    CPC分类号： H01J37/04 ,  G11B7/261 ,  H01J2237/0245 ,  H01J2237/04924 ,  H01J2237/1205 ,  H01J2237/1503 ,  H01J2237/2817 ,  H01J2237/3175

    摘要： Provided is motioning equipment which provides relative motion between electron column emitting electron beam and a sample on which the electron beam is irradiated. The motioning equipment includes multi-microcolumn for emitting electron beams on the sample, supports for supporting the multi-microcolumns, and driving means for driving the supports to move the multi-microcolumns.

    摘要翻译： 提供了提供电子束发射电子束与其上照射电子束的样品之间的相对运动的运动设备。 运动设备包括用于在样品上发射电子束的多微柱，用于支撑多微柱的支撑件，以及用于驱动支撑件以移动多微柱的驱动装置。