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公开(公告)号：CN117545162A
公开(公告)日：2024-02-09
申请号：CN202311489136.9
申请日：2023-11-08
申请人： 江苏神州半导体科技有限公司
摘要： 本发明公开了等离子源技术领域内的一种远程等离子源的预激发点火装置及其控制方法。该预激发点火装置，包括：控制单元、PWM驱动单元、谐振变换器、点火电路、输出采样单元和点火电流采样单元；其中，谐振变换器包括变压器T，点火电路包括次级绕组N2、N3，N2、N3串联并分别与变压器T耦合，次级绕组N3的两端与等离子体负载连接。点火电路的次级绕组线圈N2与谐振变换器的变压器T耦合，以降低成本，能够实现能量的高效传输，此外，装置通过采用可控点火电路，实时对电压和电流进行采样，经控制单元实时评估点火状态，系统进行点火成功、报错或者循环点火重新驱动PWM单元的操作，提高了气体预激发的成功率，确保器件稳定运行。
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公开(公告)号：CN115529709B
公开(公告)日：2023-03-10
申请号：CN202211479481.X
申请日：2022-11-24
申请人： 中国科学院合肥物质科学研究院 , 合肥博鳌电气科技有限公司
摘要： 本发明公开了一种适用于等离子体枪的电源，二极管整流模块、隔离充电模块、电容储能模块、恒压限流模块、IGBT放电控制模块、电压传感器和电流传感器；二极管整流模块用于将交流电源的交流电转换为直流电；隔离充电模块用于根据H桥和谐振电路对直流电进行处理，为电容储能模块提供恒流电源；电容储能模块用于进行充电储能，并通过恒压限流模块为等离子体枪的放电过程供能；恒压限流模块用于根据所述电压传感器和所述电流传感器的反馈，进行恒压稳流输出；IGBT放电控制模块用于根据预设时间和预设脉宽，对等离子体枪进行放电。采用本发明实施例，在满足等离子体枪高电压参数和较小等离子体密度的同时，避免对电网的冲击且造价成本更低。
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公开(公告)号：CN115474322A
公开(公告)日：2022-12-13
申请号：CN202211215466.4
申请日：2022-09-30
申请人： 浙江百悦康科技股份有限公司
摘要： 本发明提供一种高效等离子净化装置，至少包括一个栅阵单元和一个电路模块，每个栅阵单元包括三个一字排列的离子管，相邻两个所述离子管之间设有平行间距，所述离子管包括从外到内的外电极、电介质和内电极，同一所述离子管的所述内电极和所述外电极极性相反，相邻两个所述离子管的所述内电极的极性相反，相邻两个所述离子管的所述外电极极性相反，所述外电极上设有若干均匀且密集的开口，所述内电极设有空缺部分，本发明能够对空气进行快速高效地杀菌消毒及净化，本发明还提供了一种高效等离子净化装置的电极组合工艺，可以提高制备速度，控制材料报废率，而且生成的氧化铝面层致密性高，提高了介质阻挡放电的效果。
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公开(公告)号：CN110870389B
公开(公告)日：2022-07-12
申请号：CN201880037766.3
申请日：2018-05-24
申请人： 爱克瑞威亚公司
发明人： F·开米培瑞特
摘要： 所述方法包括以下步骤：提供等离子割炬，所述等离子割炬包括电极(3)、第一装置(11、12、13)、第二喷嘴(5)和供气装置(14、15、16)，所述电极设置在第一喷嘴(4)内，所述第一喷嘴具有面向所述电极(3)的末端的第一出口部分(9)，所述第一装置用于向所述第一喷嘴(4)供应气体，所述第二喷嘴同心地围绕所述第一喷嘴(4)布置并具有第二出口部分(10)，所述第二出口部分基本面向所述第一出口部分(9)，所述供气装置位于所述第一喷嘴(4)和所述第二喷嘴(5)之间，向所述电极供应电流，并向所述第一喷嘴(4)和所述第二喷嘴(5)供应气体，以便与引入所述第一喷嘴(4)的气体形成等离子体，控制所述第一喷嘴(4)的所述出口处的所述第二喷嘴(5)中的等离子流(1)周围的环境压力(P2)，以便至少高于大气压并低于所述第一出口部分(9)中的压力(Pj)。
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公开(公告)号：CN114666965A
公开(公告)日：2022-06-24
申请号：CN202210269625.2
申请日：2017-06-27
申请人： 佳能安内华股份有限公司
IPC分类号： H05H1/46 , C23C16/505 , H01J37/34 , H05H1/34 , H05H1/36
摘要： 等离子体处理装置包括：巴伦，具有第一不平衡端子、第二不平衡端子、第一平衡端子和第二平衡端子；被接地的真空容器；被电连接至第一平衡端子的第一电极；被电连接至第二平衡端子的第二电极；阻抗匹配电路；第一电源，经由阻抗匹配电路连接至巴伦，并被配置为经由阻抗匹配电路和巴伦向第一电极供给高频；低通滤波器；以及第二电源，被配置为经由低通滤波器向第一电极供给电压。
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公开(公告)号：CN114485174A
公开(公告)日：2022-05-13
申请号：CN202210126639.9
申请日：2022-02-10
申请人： 禾材高科(苏州)有限公司
发明人： 梅龙伟
摘要： 本发明提供了中子屏蔽复合材料坯料热压烧结用等离子放电热压烧结炉，包括烧结炉本体、设置于烧结炉本体内部的加热装置；加热装置包括至少三个等离子体发生器，每个等离子体发生器包括低电压电路模块和升压电路模块；升压电路模块呈梯队升压，对升压电路模块所在等离子体发生器构建时间次序约束；低电压电路模块与升压电路模块连接，低电压电路模块配合升压电路模块按照预设升压方式升至正高压或负高压，升压电路模块实时匹配至少一个等离子体发生器的带电粒子密度。本发明选择梯队升压方式升压，并对等离子体发生器设计时间次序约束，确保烧结炉本体的坯料成型腔温度满足中子屏蔽复合材料坯料所需的温度曲线。
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公开(公告)号：CN112566349B
公开(公告)日：2022-03-15
申请号：CN202010930509.1
申请日：2020-09-07
申请人： 康姆艾德公司
摘要： 本发明提供了一种射频功率发生器，其包括：功率放大器；至少一个采样器，其被配置为对功率放大器的输出端处的射频信号进行采样；RF输出端，其被配置为从发生器输出RF信号；信号发生器，其被配置为生成RF输入信号并将RF输入信号提供给功率放大器；控制器，其包括数字控制部分和模拟控制部分，其中数字控制部分和模拟控制部分中的一个或两个被配置为至少控制功率放大器和/或信号发生器；在至少一个采样器和控制器之间的模拟反馈路径，该模拟反馈路径使来自至少一个采样器的信号的模拟信号表示能够被提供给控制器；以及在至少一个采样器和控制器之间的数字反馈路径，该数字反馈路径使来自至少一个采样器的信号的数字信号表示能够被提供给控制器。
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公开(公告)号：CN110784982B
公开(公告)日：2020-09-15
申请号：CN201911016242.9
申请日：2019-10-24
申请人： 南京航空航天大学
摘要： 本发明公开了一种等离子体射流装置，包括纳秒脉冲电源、毫秒脉冲电源、信号发生器、一对环形电极、拉瓦尔喷管、高压固态开关模块、电阻、电容、电感和供气模块。拉瓦尔喷管包括首尾依次连接的喷管收缩段、喷管喉部和喷管扩张段，一对环形电极固定在喷管喉部的内部，环形电极的表面与喷管喉部内壁之间留有空隙，环形电极的内壁带齿，且两个环形电极上的齿相互错开。本发明通过电极和拉瓦尔喷管的合理设计与双脉冲电源系统的时序配合，不仅降低了等离子体射流的运行电压和消耗功率，而且提高能量利用效率和散热性能，降低射流管的工作温度，延长使用寿命。
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公开(公告)号：CN108738223A
公开(公告)日：2018-11-02
申请号：CN201810625700.8
申请日：2018-06-18
申请人： 安徽航天环境工程有限公司
发明人： 吴穹
摘要： 一种气态废物的等离子处理装置，其包括容器（101）、等离子电极和高电压源，所述等离子电极包括设置在容器中并沿容器的轴线延伸的柱状第一等离子电极（108）和沿容器的周向并环绕第一等离子体电极的呈筒状的第二等离子体电极（104），所述第一等离子体电极和第二等离子体电极之间设置有圆筒状或柱状的介电质部件，所述介电部件包括多个介电球，每个介电球为空心球形结构,且球面沿径向开口有多个气孔。本发明提供的气态废物的等离子处理装置体积小、价格低廉且效率高。
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公开(公告)号：CN108353491A
公开(公告)日：2018-07-31
申请号：CN201680065380.4
申请日：2016-10-06
申请人： 海别得公司
摘要： 在一些方面中，用于保持安装于等离子体电弧炬中的等离子体电弧电极消耗品的可使用寿命的方法可包含测量正提供到所述炬以产生所述炬和待处理的工件之间的等离子体电弧的电信号的特性；在所述炬的操作期间在一时间段内监测所述特性；将所述特性与阈值进行比较；和响应于确定测量的特性符合和/或超过所述阈值，起始电弧熄灭序列以保持所述电极的所述寿命。
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