发明公开
CN114666965A 等离子体处理装置
审中-实审
- 专利标题： 等离子体处理装置
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申请号： CN202210269625.2申请日： 2017-06-27
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公开(公告)号： CN114666965A公开(公告)日： 2022-06-24
- 发明人: 井上忠 , 田名部正治 , 关谷一成 , 笹本浩 , 佐藤辰宪 , 土屋信昭
- 申请人： 佳能安内华股份有限公司
- 申请人地址： 日本神奈川
- 专利权人： 佳能安内华股份有限公司
- 当前专利权人： 佳能安内华股份有限公司
- 当前专利权人地址： 日本神奈川
- 代理机构： 中国贸促会专利商标事务所有限公司
- 代理商 程晨
- 主分类号： H05H1/46
- IPC分类号： H05H1/46 ; C23C16/505 ; H01J37/34 ; H05H1/34 ; H05H1/36
摘要：
等离子体处理装置包括：巴伦，具有第一不平衡端子、第二不平衡端子、第一平衡端子和第二平衡端子；被接地的真空容器；被电连接至第一平衡端子的第一电极；被电连接至第二平衡端子的第二电极；阻抗匹配电路；第一电源，经由阻抗匹配电路连接至巴伦，并被配置为经由阻抗匹配电路和巴伦向第一电极供给高频；低通滤波器；以及第二电源，被配置为经由低通滤波器向第一电极供给电压。
IPC分类:
