公开(公告)号：CN110800377B

公开(公告)日：2022-04-29

申请号：CN201880042465.X

申请日：2018-06-26

申请人： 佳能安内华股份有限公司

发明人： 关谷一成 ,  田名部正治 ,  井上忠 ,  笹本浩 ,  佐藤辰宪 ,  土屋信昭

IPC分类号： H05H1/46 ,  B01J19/08 ,  C23C14/34 ,  H01L21/3065

摘要： 等离子体处理装置包括：具有第一输入端子、第二输入端子、第一输出端子和第二输出端子的巴伦；真空容器；被电连接至第一输出端子的第一电极；被电连接至第二输出端子的第二电极；以及被配置为电连接真空容器与地的连接部，该连接部包括电感器。

公开(公告)号：CN114373669B

公开(公告)日：2024-09-17

申请号：CN202210034217.9

申请日：2018-06-26

申请人： 佳能安内华股份有限公司

发明人： 竹田敦 ,  森脇崇行 ,  井上忠 ,  田名部正治 ,  关谷一成 ,  笹本浩 ,  佐藤辰宪 ,  土屋信昭

IPC分类号： H01J37/32

摘要： 本发明涉及等离子体处理装置。等离子体处理装置包括：巴伦，具有第一不平衡端子、第二不平衡端子、第一平衡端子和第二平衡端子；被接地的真空容器；第一电极，被电连接至第一平衡端子；第二电极，被电连接至第二平衡端子；以及接地电极，被布置在真空容器中并被接地。

公开(公告)号：CN110800378A

公开(公告)日：2020-02-14

申请号：CN201880042477.2

申请日：2018-06-26

申请人： 佳能安内华股份有限公司

发明人： 关谷一成 ,  田名部正治 ,  井上忠 ,  笹本浩 ,  佐藤辰宪 ,  土屋信昭

IPC分类号： H05H1/46 ,  B01J19/08 ,  C23C14/34 ,  H01L21/3065

摘要： 等离子体处理装置包括：具有第一输入端子、第二输入端子、第一输出端子和第二输出端子的巴伦；真空容器；与真空容器绝缘并且被电连接至第一输出端子的第一电极；以及与真空容器绝缘并且被电连接至第二输出端子的第二电极。第二电极被布置为围绕第一电极的整个周边。

公开(公告)号：CN114373669A

公开(公告)日：2022-04-19

申请号：CN202210034217.9

申请日：2018-06-26

申请人： 佳能安内华股份有限公司

发明人： 竹田敦 ,  森脇崇行 ,  井上忠 ,  田名部正治 ,  关谷一成 ,  笹本浩 ,  佐藤辰宪 ,  土屋信昭

IPC分类号： H01J37/32

摘要： 本发明涉及等离子体处理装置。等离子体处理装置包括：巴伦，具有第一不平衡端子、第二不平衡端子、第一平衡端子和第二平衡端子；被接地的真空容器；第一电极，被电连接至第一平衡端子；第二电极，被电连接至第二平衡端子；以及接地电极，被布置在真空容器中并被接地。

公开(公告)号：CN110800379B

公开(公告)日：2022-01-18

申请号：CN201880042506.5

申请日：2018-06-26

申请人： 佳能安内华股份有限公司

发明人： 竹田敦 ,  森脇崇行 ,  井上忠 ,  田名部正治 ,  关谷一成 ,  笹本浩 ,  佐藤辰宪 ,  土屋信昭

IPC分类号： H05H1/46 ,  C23C14/34 ,  H01L21/3065

摘要： 等离子体处理装置包括：巴伦，具有第一不平衡端子、第二不平衡端子、第一平衡端子和第二平衡端子；被接地的真空容器；第一电极，被电连接至第一平衡端子；第二电极，被电连接至第二平衡端子；以及接地电极，被布置在真空容器中并被接地。

公开(公告)号：CN110800376B

公开(公告)日：2022-04-01

申请号：CN201780092519.9

申请日：2017-06-27

申请人： 佳能安内华股份有限公司

发明人： 井上忠 ,  田名部正治 ,  关谷一成 ,  笹本浩 ,  佐藤辰宪 ,  土屋信昭

IPC分类号： H05H1/46 ,  C23C16/505

摘要： 等离子体处理装置包括：巴伦，具有第一不平衡端子、第二不平衡端子、第一平衡端子和第二平衡端子；被接地的真空容器；被电连接至第一平衡端子的第一电极；被电连接至第二平衡端子的第二电极；阻抗匹配电路；第一电源，经由阻抗匹配电路连接至巴伦，并被配置为经由阻抗匹配电路和巴伦向第一电极供给高频；低通滤波器；以及第二电源，被配置为经由低通滤波器向第一电极供给电压。

公开(公告)号：CN110800378B

公开(公告)日：2021-12-28

申请号：CN201880042477.2

申请日：2018-06-26

申请人： 佳能安内华股份有限公司

发明人： 关谷一成 ,  田名部正治 ,  井上忠 ,  笹本浩 ,  佐藤辰宪 ,  土屋信昭

IPC分类号： H05H1/46 ,  B01J19/08 ,  C23C14/34 ,  H01L21/3065

摘要： 等离子体处理装置包括：具有第一输入端子、第二输入端子、第一输出端子和第二输出端子的巴伦；真空容器；与真空容器绝缘并且被电连接至第一输出端子的第一电极；以及与真空容器绝缘并且被电连接至第二输出端子的第二电极。第二电极被布置为围绕第一电极的整个周边。

公开(公告)号：CN110800375B

公开(公告)日：2021-12-28

申请号：CN201780092518.4

申请日：2017-06-27

申请人： 佳能安内华股份有限公司

发明人： 井上忠 ,  田名部正治 ,  关谷一成 ,  笹本浩 ,  佐藤辰宪 ,  土屋信昭

IPC分类号： H05H1/46 ,  C23C16/505

摘要： 等离子体处理装置包括：具有第一不平衡端子、第二不平衡端子、第一平衡端子和第二平衡端子的巴伦；被接地的真空容器；被电连接至第一平衡端子的第一电极；以及被电连接至第二平衡端子的第二电极。当Rp表示从第一平衡端子和第二平衡端子的侧来看第一电极和第二电极的侧时的第一平衡端子与第二平衡端子之间的电阻成分，并且X表示第一不平衡端子与第一平衡端子之间的电感时，满足1.5≤X/Rp≤5000。

公开(公告)号：CN110800379A

公开(公告)日：2020-02-14

申请号：CN201880042506.5

申请日：2018-06-26

申请人： 佳能安内华股份有限公司

发明人： 竹田敦 ,  森脇崇行 ,  井上忠 ,  田名部正治 ,  关谷一成 ,  笹本浩 ,  佐藤辰宪 ,  土屋信昭

IPC分类号： H05H1/46 ,  C23C14/34 ,  H01L21/3065

摘要： 等离子体处理装置包括：巴伦，具有第一不平衡端子、第二不平衡端子、第一平衡端子和第二平衡端子；被接地的真空容器；第一电极，被电连接至第一平衡端子；第二电极，被电连接至第二平衡端子；以及接地电极，被布置在真空容器中并被接地。

公开(公告)号：CN110800376A

公开(公告)日：2020-02-14

申请号：CN201780092519.9

申请日：2017-06-27

申请人： 佳能安内华股份有限公司

发明人： 井上忠 ,  田名部正治 ,  关谷一成 ,  笹本浩 ,  佐藤辰宪 ,  土屋信昭

IPC分类号： H05H1/46 ,  C23C16/505

摘要： 等离子体处理装置包括：巴伦，具有第一不平衡端子、第二不平衡端子、第一平衡端子和第二平衡端子；被接地的真空容器；被电连接至第一平衡端子的第一电极；被电连接至第二平衡端子的第二电极；阻抗匹配电路；第一电源，经由阻抗匹配电路连接至巴伦，并被配置为经由阻抗匹配电路和巴伦向第一电极供给高频；低通滤波器；以及第二电源，被配置为经由低通滤波器向第一电极供给电压。