本发明公开了等离子源技术领域内的一种远程等离子源的预激发点火装置及其控制方法。该预激发点火装置，包括：控制单元、PWM驱动单元、谐振变换器、点火电路、输出采样单元和点火电流采样单元；其中，谐振变换器包括变压器T，点火电路包括次级绕组N2、N3，N2、N3串联并分别与变压器T耦合，次级绕组N3的两端与等离子体负载连接。点火电路的次级绕组线圈N2与谐振变换器的变压器T耦合，以降低成本，能够实现能量的高效传输，此外，装置通过采用可控点火电路，实时对电压和电流进行采样，经控制单元实时评估点火状态，系统进行点火成功、报错或者循环点火重新驱动PWM单元的操作，提高了气体预激发的成功率，确保器件稳定运行。