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公开(公告)号：CN117595879B
公开(公告)日：2024-06-14
申请号：CN202311600004.9
申请日：2023-11-28
申请人： 江苏神州半导体科技有限公司
摘要： 本发明涉及信号传输技术领域，具体涉及一种模数转换单元、数模转换单元及信号传输电路，其中模数转换单元包括包括电容C1、镜像电流源A、开关K1、电容C2和第一比较模块，电容C1的两端并联电阻R1；镜像电流源A根据参考电压及电阻R3向电容C1提供镜像电流以充电；开关K1连接于电容C1和镜像电流源之间，开关K1的通断控制电容C1是否充电；电容C2通过电阻R2连接Vcc，电容C2的两端还连接晶体管Q2，晶体管Q2控制电容C2充电或放电；第一比较模块的输入端分别连接电压输入VIN和电容C1以进行电压比较，根据VIN和C1的电压值进行输出，本发明通过模数转换单元可提高信号的线性度。
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公开(公告)号：CN116390317A
公开(公告)日：2023-07-04
申请号：CN202310421965.7
申请日：2023-04-19
申请人： 江苏神州半导体科技有限公司
IPC分类号： H05H1/28
摘要： 本发明公开了一种远程等离子发生器，包括：电离腔体，分别开设有气腔和两个冷却水道，两个冷却水道均设置有进水端和出水端；散热装置，包括散热盘、进水管、第一出水管、第二出水管和回水管，散热盘内开设有水盘流道、进水口和出水口，散热盘设置有两个分别为第一散热盘和第二散热盘，进水管连通散热盘的进水口，第一出水管连通第一散热盘的出水口和一个冷却水道的进水端；第二出水管连通第二散热盘的出水口和另一个冷却水道的进水端；回水管连接两个冷却水道的出水端。该远程等离子发生器通过外置的散热装置配合电离腔体内的冷却水道，内外同步换热，提升了散热效率，同时延长了腔体及密封件的使用寿命，提高了生产效率。
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公开(公告)号：CN118760266A
公开(公告)日：2024-10-11
申请号：CN202410975328.9
申请日：2024-07-19
申请人： 江苏神州半导体科技有限公司
IPC分类号： G05D23/20
摘要： 本发明属于半导体制造技术领域，提供了一种远程等离子源反应腔体温度控制电路及控制方法。其中电路包括采样单元、控制单元、PWM驱动单元、全桥逆变电路和谐振变换器，采样单元用于采集谐振变换器的输出电流、电压和腔体温度；控制单元拟合出k+2时刻的腔体温度并确定PWM驱动单元执行的最优序列；PWM驱动单元根据最优序列输出脉冲信号；全桥逆变电路包括开关管S1‑S4，开关管根据PWM驱动单元的输出信号控制闭合或断开；谐振变换器和全桥逆变电路连接，输出交流信号作用于反应腔体。本发明能够拟合获得k+2时刻反应腔体温度和预设阈值进行比较，进而控制单元可进一步确定闭环控制的调节值，保证腔体温度的控制效果，提升远程等离子源气体解离稳定性。
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公开(公告)号：CN117545162A
公开(公告)日：2024-02-09
申请号：CN202311489136.9
申请日：2023-11-08
申请人： 江苏神州半导体科技有限公司
摘要： 本发明公开了等离子源技术领域内的一种远程等离子源的预激发点火装置及其控制方法。该预激发点火装置，包括：控制单元、PWM驱动单元、谐振变换器、点火电路、输出采样单元和点火电流采样单元；其中，谐振变换器包括变压器T，点火电路包括次级绕组N2、N3，N2、N3串联并分别与变压器T耦合，次级绕组N3的两端与等离子体负载连接。点火电路的次级绕组线圈N2与谐振变换器的变压器T耦合，以降低成本，能够实现能量的高效传输，此外，装置通过采用可控点火电路，实时对电压和电流进行采样，经控制单元实时评估点火状态，系统进行点火成功、报错或者循环点火重新驱动PWM单元的操作，提高了气体预激发的成功率，确保器件稳定运行。
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公开(公告)号：CN114501764B
公开(公告)日：2024-02-09
申请号：CN202210096379.5
申请日：2022-01-26
申请人： 江苏神州半导体科技有限公司
摘要： 本发明提供了一种基于多线圈耦合的气体解离电路控制装置，应用于气体解离系统，所述气体解离系统包括解离腔室和气体解离电路，包括离化率检测装置，用于检测所述解离腔室内气体的离化率；气体解离电路控制装置用于根据所述离化率、参考离化率、所述气体解离电路的电流和参考电流实现对所述气体解离电路的控制，通过检测到的离化率调节气体解离电路，便于提高气体解离率。本发明还提供了一种气体解离系统。
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公开(公告)号：CN116317056B
公开(公告)日：2023-08-08
申请号：CN202310525125.5
申请日：2023-05-11
申请人： 江苏神州半导体科技有限公司
摘要： 本发明公开了一种低压穿越电路及低压穿越方法，其中本发明提供的电路包括：电压采样电路、运放比较器、可控硅驱动电路、可控硅电路和电解电容；电压采样电路用于采集母线电压；运放比较器用于母线电压和参考电压，在满足使能条件时输出使能信号；可控硅驱动电路根据使能信号，控制可控硅电路导通或截止；电解电容并联于母线上，可控硅电路的导通控制电解电容放电，为母线提供辅电。本发明通过采集母线电压，在母线电压小于参考电压时向可控硅驱动电路发送使能信号，控制可控硅驱动电路导通，使并联于母线上的电解电容放电为母线电压提供辅电，避免电压骤降对生产设备产生危害，提高了生产设备的稳定性。
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公开(公告)号：CN116317056A
公开(公告)日：2023-06-23
申请号：CN202310525125.5
申请日：2023-05-11
申请人： 江苏神州半导体科技有限公司
摘要： 本发明公开了一种低压穿越电路及低压穿越方法，其中本发明提供的电路包括：电压采样电路、运放比较器、可控硅驱动电路、可控硅电路和电解电容；电压采样电路用于采集母线电压；运放比较器用于母线电压和参考电压，在满足使能条件时输出使能信号；可控硅驱动电路根据使能信号，控制可控硅电路导通或截止；电解电容并联于母线上，可控硅电路的导通控制电解电容放电，为母线提供辅电。本发明通过采集母线电压，在母线电压小于参考电压时向可控硅驱动电路发送使能信号，控制可控硅驱动电路导通，使并联于母线上的电解电容放电为母线电压提供辅电，避免电压骤降对生产设备产生危害，提高了生产设备的稳定性。
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公开(公告)号：CN114501764A
公开(公告)日：2022-05-13
申请号：CN202210096379.5
申请日：2022-01-26
申请人： 江苏神州半导体科技有限公司
摘要： 本发明提供了一种基于多线圈耦合的气体解离电路控制装置，应用于气体解离系统，所述气体解离系统包括解离腔室和气体解离电路，包括离化率检测装置，用于检测所述解离腔室内气体的离化率；气体解离电路控制装置用于根据所述离化率、参考离化率、所述气体解离电路的电流和参考电流实现对所述气体解离电路的控制，通过检测到的离化率调节气体解离电路，便于提高气体解离率。本发明还提供了一种气体解离系统。
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公开(公告)号：CN118727090A
公开(公告)日：2024-10-01
申请号：CN202411065675.4
申请日：2024-08-05
申请人： 江苏神州半导体科技有限公司
IPC分类号： C25D11/02
摘要： 本发明公开了一种耐腐蚀远程等离子源腔体阳极氧化及多层封孔方法，包括：S1、一次阳极氧化：电流密度为2～3.2A/dm2，初始电压为28～32V，且直流叠加脉冲电源的电压逐渐增大维持电流密度，终止电压为46～50V；S2、二次阳极氧化：电流密度为2～3.2A/dm2，直流脉冲输出1～1.5min、脉冲间断8～10s，初始电压为28～32V，且直流叠加脉冲电源的电压逐渐增大维持电流密度，终止电压为46～50V；S3、对所述氧化膜依次进行锆酸盐封孔、LDH封孔和沸水封孔。本发明通过采用二次脉冲阳极氧化结合三次封孔技术，可以提高阳极氧化膜多孔层和致密层的阻隔性能，全面提高等离子源耐酸碱腐蚀的性能。二次阳极氧化能够使得远程等离子源腔体阳极氧化膜层均匀，且层厚较高，提高了腔体氧化膜的耐腐蚀性和抗击穿的性能。
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公开(公告)号：CN117977500B
公开(公告)日：2024-09-27
申请号：CN202410150869.8
申请日：2024-02-02
申请人： 江苏神州半导体科技有限公司
摘要： 本发明公开了三相电路技术领域内的一种三相软启动与跌落保护拓扑结构，包括：整流采样电路，包括整流电路和采样电路，整流电路用以输出整流输出电压，采样电路用以输出采样电压；信号隔离电路，与整流采样电路连接，信号隔离电路接收采样电压并与参考电压一比较，根据比较结果输出控制电压；继电器控制电路，包括继电器K1和控制单元，继电器K1设置于整流电路的输出端，控制单元接收信号隔离电路输出的控制电压并与参考电压二比较，根据比较结果控制继电器K1的通断。该三相软启动与跌落保护拓扑结构，不需要软件电路，完全由硬件电路实现，可以快速地触发电路保护，可靠性更高。
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