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公开(公告)号：CN118727090A
公开(公告)日：2024-10-01
申请号：CN202411065675.4
申请日：2024-08-05
申请人： 江苏神州半导体科技有限公司
IPC分类号： C25D11/02
摘要： 本发明公开了一种耐腐蚀远程等离子源腔体阳极氧化及多层封孔方法，包括：S1、一次阳极氧化：电流密度为2～3.2A/dm2，初始电压为28～32V，且直流叠加脉冲电源的电压逐渐增大维持电流密度，终止电压为46～50V；S2、二次阳极氧化：电流密度为2～3.2A/dm2，直流脉冲输出1～1.5min、脉冲间断8～10s，初始电压为28～32V，且直流叠加脉冲电源的电压逐渐增大维持电流密度，终止电压为46～50V；S3、对所述氧化膜依次进行锆酸盐封孔、LDH封孔和沸水封孔。本发明通过采用二次脉冲阳极氧化结合三次封孔技术，可以提高阳极氧化膜多孔层和致密层的阻隔性能，全面提高等离子源耐酸碱腐蚀的性能。二次阳极氧化能够使得远程等离子源腔体阳极氧化膜层均匀，且层厚较高，提高了腔体氧化膜的耐腐蚀性和抗击穿的性能。
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公开(公告)号：CN117615498B
公开(公告)日：2024-06-04
申请号：CN202311624391.X
申请日：2023-11-30
申请人： 江苏神州半导体科技有限公司
摘要： 本发明涉及半导体制造技术领域，提供了一种远程等离子源预激发点火电路及自适应点火方法，其中电路包括控制单元、PWM驱动单元、谐振变换器、点火电路、采样单元和继电器，控制单元用于控制PWM驱动单元输出脉冲信号；PWM驱动单元控制谐振变换器的输出电流；谐振变换器将PWM驱动单元输出的脉冲信号转换为交流源，并用于为点火电路提供输入交流源；点火电路用于产生高压点火信号，使等离子体负载高频振荡电离；采样单元用于采集点火电路的点火电流#imgabs0#，及谐振变换器的输出电压#imgabs1#和输出电流#imgabs2#；继电器由控制单元控制吸合或断开。通过对点火电压与电流的采样，实时判断远程等离子源腔体寿命，通过减少不必要的溅射，及消除生产过程中的点火故障来提高产量。
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公开(公告)号：CN117410165A
公开(公告)日：2024-01-16
申请号：CN202311341984.5
申请日：2023-10-16
申请人： 江苏神州半导体科技有限公司
IPC分类号： H01J37/32 , H05H1/24 , H02M7/5387
摘要： 本发明公开了CVD腔室清洁技术领域内的一种远程等离子源拓扑结构及其控制方法。该结构包括：控制单元、PWM驱动单元、整流滤波输入单元、谐振变换器、点火电路和采样单元，点火电路产生高压点火信号，使等离子体负载高频震荡电离，谐振变换器用以提供输入交流源；控制单元通过PWM驱动单元控制谐振变换器的输出电流。该远程等离子源拓扑结构无需匹配器，具有体积小、成本低的特点。同时，该远程等离子源具备两种控制模式：恒流模式和恒功率模式；恒流模式响应速度快，适合各种性质负载；恒功率模式下，在运行功率未达到阈值时，系统输出恒定电流，电压会根据输入气体负载的解速率和电阻率自动改变，可以减小开关损耗，增大功率密度。
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公开(公告)号：CN118760266A
公开(公告)日：2024-10-11
申请号：CN202410975328.9
申请日：2024-07-19
申请人： 江苏神州半导体科技有限公司
IPC分类号： G05D23/20
摘要： 本发明属于半导体制造技术领域，提供了一种远程等离子源反应腔体温度控制电路及控制方法。其中电路包括采样单元、控制单元、PWM驱动单元、全桥逆变电路和谐振变换器，采样单元用于采集谐振变换器的输出电流、电压和腔体温度；控制单元拟合出k+2时刻的腔体温度并确定PWM驱动单元执行的最优序列；PWM驱动单元根据最优序列输出脉冲信号；全桥逆变电路包括开关管S1‑S4，开关管根据PWM驱动单元的输出信号控制闭合或断开；谐振变换器和全桥逆变电路连接，输出交流信号作用于反应腔体。本发明能够拟合获得k+2时刻反应腔体温度和预设阈值进行比较，进而控制单元可进一步确定闭环控制的调节值，保证腔体温度的控制效果，提升远程等离子源气体解离稳定性。
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公开(公告)号：CN117545162A
公开(公告)日：2024-02-09
申请号：CN202311489136.9
申请日：2023-11-08
申请人： 江苏神州半导体科技有限公司
摘要： 本发明公开了等离子源技术领域内的一种远程等离子源的预激发点火装置及其控制方法。该预激发点火装置，包括：控制单元、PWM驱动单元、谐振变换器、点火电路、输出采样单元和点火电流采样单元；其中，谐振变换器包括变压器T，点火电路包括次级绕组N2、N3，N2、N3串联并分别与变压器T耦合，次级绕组N3的两端与等离子体负载连接。点火电路的次级绕组线圈N2与谐振变换器的变压器T耦合，以降低成本，能够实现能量的高效传输，此外，装置通过采用可控点火电路，实时对电压和电流进行采样，经控制单元实时评估点火状态，系统进行点火成功、报错或者循环点火重新驱动PWM单元的操作，提高了气体预激发的成功率，确保器件稳定运行。
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公开(公告)号：CN116317056B
公开(公告)日：2023-08-08
申请号：CN202310525125.5
申请日：2023-05-11
申请人： 江苏神州半导体科技有限公司
摘要： 本发明公开了一种低压穿越电路及低压穿越方法，其中本发明提供的电路包括：电压采样电路、运放比较器、可控硅驱动电路、可控硅电路和电解电容；电压采样电路用于采集母线电压；运放比较器用于母线电压和参考电压，在满足使能条件时输出使能信号；可控硅驱动电路根据使能信号，控制可控硅电路导通或截止；电解电容并联于母线上，可控硅电路的导通控制电解电容放电，为母线提供辅电。本发明通过采集母线电压，在母线电压小于参考电压时向可控硅驱动电路发送使能信号，控制可控硅驱动电路导通，使并联于母线上的电解电容放电为母线电压提供辅电，避免电压骤降对生产设备产生危害，提高了生产设备的稳定性。
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公开(公告)号：CN116317056A
公开(公告)日：2023-06-23
申请号：CN202310525125.5
申请日：2023-05-11
申请人： 江苏神州半导体科技有限公司
摘要： 本发明公开了一种低压穿越电路及低压穿越方法，其中本发明提供的电路包括：电压采样电路、运放比较器、可控硅驱动电路、可控硅电路和电解电容；电压采样电路用于采集母线电压；运放比较器用于母线电压和参考电压，在满足使能条件时输出使能信号；可控硅驱动电路根据使能信号，控制可控硅电路导通或截止；电解电容并联于母线上，可控硅电路的导通控制电解电容放电，为母线提供辅电。本发明通过采集母线电压，在母线电压小于参考电压时向可控硅驱动电路发送使能信号，控制可控硅驱动电路导通，使并联于母线上的电解电容放电为母线电压提供辅电，避免电压骤降对生产设备产生危害，提高了生产设备的稳定性。
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公开(公告)号：CN118756282A
公开(公告)日：2024-10-11
申请号：CN202410999560.6
申请日：2024-07-24
申请人： 江苏神州半导体科技有限公司
IPC分类号： C25D11/02
摘要： 本发明属于半导体制造技术领域，提供了一种远程等离子源腔体耐腐蚀膜层阳极氧化电路及方法，其中电路包括控制器、均流控制主电路和均流控制从电路，其中均流控制主电路包括功率三极管S1、电阻R1、R2、R3、二极管D1、电解电容C1、C2、运放比较器U1和均流控制器U2，均流控制器U2的负极输入端和运放比较器U1的输出端连接，正极输入端输入基准电压Vr；加法器根据均流控制器U2的输出端信号及基准电压VS，输出均流电流误差信号e0；PI调节器用于根据均流电流误差信号e0进行信号补偿。本发明能够实时反应母线均流电流的状态，并更好地跟踪分流，不需要主从电路之间相互切换，结构简单且能保证均流精度，确保阳极氧化膜层的均匀性，提高远程等离源的使用寿命。
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公开(公告)号：CN117545162B
公开(公告)日：2024-05-28
申请号：CN202311489136.9
申请日：2023-11-08
申请人： 江苏神州半导体科技有限公司
摘要： 本发明公开了等离子源技术领域内的一种远程等离子源的预激发点火装置及其控制方法。该预激发点火装置，包括：控制单元、PWM驱动单元、谐振变换器、点火电路、输出采样单元和点火电流采样单元；其中，谐振变换器包括变压器T，点火电路包括次级绕组N2、N3，N2、N3串联并分别与变压器T耦合，次级绕组N3的两端与等离子体负载连接。点火电路的次级绕组线圈N2与谐振变换器的变压器T耦合，以降低成本，能够实现能量的高效传输，此外，装置通过采用可控点火电路，实时对电压和电流进行采样，经控制单元实时评估点火状态，系统进行点火成功、报错或者循环点火重新驱动PWM单元的操作，提高了气体预激发的成功率，确保器件稳定运行。
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公开(公告)号：CN117615498A
公开(公告)日：2024-02-27
申请号：CN202311624391.X
申请日：2023-11-30
申请人： 江苏神州半导体科技有限公司
摘要： 本发明涉及半导体制造技术领域，提供了一种远程等离子源预激发点火电路及自适应点火方法，其中电路包括控制单元、PWM驱动单元、谐振变换器、点火电路、采样单元和继电器，控制单元用于控制PWM驱动单元输出脉冲信号；PWM驱动单元控制谐振变换器的输出电流；谐振变换器将PWM驱动单元输出的脉冲信号转换为交流源，并用于为点火电路提供输入交流源；点火电路用于产生高压点火信号，使等离子体负载高频振荡电离；采样单元用于采集点火电路的点火电流，及谐振变换器的输出电压 和输出电流；继电器由控制单元控制吸合或断开。通过对点火电压与电流的采样，实时判断远程等离子源腔体寿命，通过减少不必要的溅射，及消除生产过程中的点火故障来提高产量。
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