真空电容器
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN113597653A

    公开(公告)日:2021-11-02

    申请号:CN202180001930.7

    申请日:2021-02-16

    发明人: W·比格勒

    IPC分类号: H01G4/002 H01G4/005 H01G4/224

    摘要: 本发明涉及一种真空电容器(1,30),包括:容纳真空介电介质的壳体(9)、被所述真空介电介质分隔的第一电极(12)和第二电极(13),该壳体(9)包括与第一电极(12)电接触的第一传导轴环(2)和与第二电极(13)电接触的第二传导轴环,该第一传导轴环(2)和第二传导轴环(3)被壳体(9)的绝缘元件(4)分隔,其中该壳体(9)显示出至少一个突出边缘(6),所述突出边缘(6)与最接近的第一传导轴环(2)或第二传导轴环(3)电接触,其中该真空电容器(1,30)包括至少一个保护装置(7,37),所述至少一个保护装置在真空壳体的外部覆盖突出边缘(6),其中该保护装置(7,37)至少部分地由弹性体制成,其中该保护装置(7,37)的至少外表面(7b,37b)是导电的并且与最接近所述突出边缘(6)的传导轴环处于相同的电势,并且其中该保护装置(7,37)的外表面(7b,37b)的曲率半径大于所述突出边缘(6)的曲率半径。

    可调真空电容器的冷却系统

    公开(公告)号:CN101802945B

    公开(公告)日:2012-06-27

    申请号:CN200780100530.1

    申请日:2007-09-10

    IPC分类号: H01G5/01

    CPC分类号: H01G5/01 H01G5/017

    摘要: 本发明涉及一种可调真空电容器的冷却系统。液体被布置在冷却库(3)内;所述库的第一部分(3.1)被设计用于从所述可调真空电容器的第一波纹管(6)吸收热能,所述第一波纹管(6)负责将电能传送到所述可调真空电容器的第二电极(7);所述库的第二部分(3.2)被设计用于向冷却回路(2)散发热能;并且在所述库的第一部分(3.1)和所述库的第二部分(3.2)之间布置有热管(4)。

    用于射频部件的多层冷却结构

    公开(公告)号:CN112586090B

    公开(公告)日:2024-06-04

    申请号:CN201880096734.0

    申请日:2018-08-20

    IPC分类号: H05K1/02 H05K1/16 H05K3/00

    摘要: 一种装置(100)包括:在第一位置处具有射频(RF)结构(108、114)的电路板(102),该RF结构由电路板的导电迹线形成;载热体(118);以及将电路板(102)和载热体(118)彼此耦合的多层冷却结构(116),该多层冷却结构(116)包括在第一位置处邻近RF结构的第一叠层(120)以及位于第二位置处的第二叠层(122、132),第一叠层(120)包括邻近载热体(118)的介电层(126)以及将介电层(126)和电路板(102)彼此耦合的热界面材料(TIM)(124),介电层(126)的导热性和刚性比TIM(124)更高,第二叠层(122、132)包括邻近载热体(118)的金属层(134)以及将金属层(134)和电路板(102)彼此耦合的TIM(136)。

    具有保护反馈电路的高功率放大器电路

    公开(公告)号:CN110326216B

    公开(公告)日:2023-06-02

    申请号:CN201880012820.9

    申请日:2018-02-19

    摘要: 本发明描述了一种放大器电路,用于提供至少100W、优选至少200W、最优选至少250W的输出,包括场效应晶体管(111、113)。场效应晶体管(111、113)的漏极与保护反馈电路(400)连接。保护反馈电路(400)被设置用于:如果场效应晶体管(111、113)的栅极和漏极之间的电压超过反馈阈值电压(355),则减小场效应晶体管(111、113)的漏极处的过电压能量。本发明还描述了一种包括放大器电路的射频放大器、包括射频放大器的电射频发生器、和包括电射频发生器的等离子处理系统。本发明最后描述了一种保护放大器电路中的场效应晶体管(111、113)的方法。

    真空电容器
    9.
    发明授权

    公开(公告)号:CN113597653B

    公开(公告)日:2022-12-20

    申请号:CN202180001930.7

    申请日:2021-02-16

    发明人: W·比格勒

    IPC分类号: H01G4/002 H01G4/005 H01G4/224

    摘要: 本发明涉及一种真空电容器(1,30),包括:容纳真空介电介质的壳体(9)、被所述真空介电介质分隔的第一电极(12)和第二电极(13),该壳体(9)包括与第一电极(12)电接触的第一传导轴环(2)和与第二电极(13)电接触的第二传导轴环,该第一传导轴环(2)和第二传导轴环(3)被壳体(9)的绝缘元件(4)分隔,其中该壳体(9)显示出至少一个突出边缘(6),所述突出边缘(6)与最接近的第一传导轴环(2)或第二传导轴环(3)电接触,其中该真空电容器(1,30)包括至少一个保护装置(7,37),所述至少一个保护装置在真空壳体的外部覆盖突出边缘(6),其中该保护装置(7,37)至少部分地由弹性体制成,其中该保护装置(7,37)的至少外表面(7b,37b)是导电的并且与最接近所述突出边缘(6)的传导轴环处于相同的电势,并且其中该保护装置(7,37)的外表面(7b,37b)的曲率半径大于所述突出边缘(6)的曲率半径。

    具有模拟和数字检测器的射频功率发生器

    公开(公告)号:CN112566349B

    公开(公告)日:2022-03-15

    申请号:CN202010930509.1

    申请日:2020-09-07

    摘要: 本发明提供了一种射频功率发生器,其包括:功率放大器;至少一个采样器,其被配置为对功率放大器的输出端处的射频信号进行采样;RF输出端,其被配置为从发生器输出RF信号;信号发生器,其被配置为生成RF输入信号并将RF输入信号提供给功率放大器;控制器,其包括数字控制部分和模拟控制部分,其中数字控制部分和模拟控制部分中的一个或两个被配置为至少控制功率放大器和/或信号发生器;在至少一个采样器和控制器之间的模拟反馈路径,该模拟反馈路径使来自至少一个采样器的信号的模拟信号表示能够被提供给控制器;以及在至少一个采样器和控制器之间的数字反馈路径,该数字反馈路径使来自至少一个采样器的信号的数字信号表示能够被提供给控制器。