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公开(公告)号：CN203159709U
公开(公告)日：2013-08-28
申请号：CN201320122884.9
申请日：2013-03-18
Applicant: 株式会社昭和真空
Abstract: 本实用新型提供原子层沉积装置。其具有光特性测定装置（41）和ALD成膜室。光特性测定装置（41）具有电源（42）、探头（43）、测定装置（44）、承载台（45）和控制部（48）。探头（43）为接受来自发光装置（10）的光的受光体。测定装置（44）测定探头（43）接受的光的同时，输出作为测定结果的色度。控制部（48）控制光特性测定装置（41）的动作整体。
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公开(公告)号：CN118259057A
公开(公告)日：2024-06-28
申请号：CN202311810537.X
申请日：2023-12-26
Applicant: 株式会社昭和真空
Abstract: 本发明提供一种能够准确测量电子部件的电特性的测量装置和测量方法。测量装置具有：第一腔室(20)，其具有第一空间(24)；多个接触探针(21)，其配置于第一腔室(20)的第一面，测量配置于与第一面对置的第二面的多个电子部件的电特性；切换部(40)，其具有层叠于第一腔室(20)的第一面侧的切换板(41)以及配置于该切换板(41)上的电子基板(42)，切换从多个接触探针(21)发送的信号；第二腔室(50)，其隔着切换板(41)与第一腔室(20)对置，具有第二空间(51)；以及压力调整单元(60)，其对压力进行调整以使第一空间(24)的压力与第二空间(51)的压力相等。
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公开(公告)号：CN117941252A
公开(公告)日：2024-04-26
申请号：CN202280062672.8
申请日：2022-09-14
Abstract: 本发明为一种水晶器件的制造方法。本发明提供能够在不降低老化特性的情况下降低作为原材料费用的贵金属的成本的水晶器件。解决手段为：使用旋转台型溅射装置(10)，以从水晶振动片的表面起依次具有下述层的方式进行成膜，所述层为：具有基底层和金和第2金属的层；具有金和第2金属且具有50体积％以上的第2金属的层；具有金和第2金属且具有低于50体积％的第2金属的层；以及，以具有95体积％以上的金的金属进行成膜的层。
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公开(公告)号：CN114341310A
公开(公告)日：2022-04-12
申请号：CN202080055463.1
申请日：2020-06-25
Applicant: 株式会社昭和丸筒
Abstract: 本发明提供一种厚度方向上的导热性优异，且柔软性也优异的导热片等。该导热片100具备：多个导热部10，它们分别自一主表面连续地设置至另一主表面；以及接合部20，其将在主表面方向上层叠的多个导热部10的邻接的界面彼此接合，该导热片100整体上呈片状，其中，导热部10包含空隙部，接合部20由包含具有柔软性的树脂材料的材料构成并且局部地形成有空隙层，且树脂材料的一部分局部地渗入至导热部10的空隙部。根据上述构成，借助导热部10的空隙部及接合部20的空隙层而提高导热片100的柔软性、可挠性，并且通过使树脂材料渗入至导热部10的空隙部的一部分，能够一边在导热部10彼此之间形成空隙层，一边确保使这些导热部10彼此接合的强度。
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公开(公告)号：CN113815719A
公开(公告)日：2021-12-21
申请号：CN202111148929.5
申请日：2017-06-01
Applicant: 株式会社昭和
Inventor： 栗原紘章
Abstract: 本发明提供故障检测装置和电动助力转向装置。故障检测装置具备：故障诊断部，其检测扭矩检测装置(200)的故障，该扭矩检测装置(200)通过多个扭矩传感器来检测施加在小齿轮轴上的扭矩；和目标电流计算部(20)，在故障诊断部检测出扭矩检测装置(200)的故障的情况下，该目标电流计算部(20)控制电动马达(110)的驱动，使得输出连续扭矩，该连续扭矩是在多个扭矩传感器(203)中的至少一个正常的情况下能由扭矩传感器(203)检测的、连续产生的扭矩。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113324709A
公开(公告)日：2021-08-31
申请号：CN202110225279.3
申请日：2021-03-01
Applicant: 株式会社昭和真空
IPC: G01M3/26
Abstract: 本申请提供一种不管电子部件有没有泄漏，都能够计算电子部件的泄漏量的小型且容易组装到现有装置、设计自由度高的泄漏检查方法和泄漏检查装置。在泄漏检查方法中，在比石英振子的内部压力低的压力下第1规定时间配置石英振子，获取石英振子的第1阻抗的变化ΔZd，在比石英振子的内部压力高的压力下第2规定时间配置石英振子，获取石英振子的第2阻抗的变化ΔZu，根据第1阻抗的变化ΔZd和第2阻抗的变化ΔZu求出石英振子的内部压力，计算泄漏量。
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公开(公告)号：CN112135767A
公开(公告)日：2020-12-25
申请号：CN201980033641.8
申请日：2019-05-30
Applicant: 株式会社昭和
Abstract: 线控转向式转向装置(10)具有第1部件(80)、第2部件(90)以及止挡件(61a)。第1部件(80)具有第1突出部(82)，该第1突出部(82)与输入轴(21)一起进行旋转，并且从输入轴(21)沿径向突出。第2部件(90)具有突出到第1突出部(82)的轨道上的第2突出部(92)，该第2部件(90)在第1突出部(82)与第2突出部(92)抵接的状态下能够与第1部件(80)一起进行旋转。止挡件(61a、61a)设置在第2突出部(92)的轨道中的仅在第2部件(90)通过第1部件(80)而旋转时才能够抵接的位置。
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公开(公告)号：CN112041216A
公开(公告)日：2020-12-04
申请号：CN201880092223.1
申请日：2018-05-17
Applicant: 株式会社昭和
IPC: B62D5/04
Abstract: 电动助力转向装置具有：电动马达(21)；齿条轴(3)，其在轴向上移动；转换单元(30)，其将电动马达(21)的旋转驱动力转换为齿条轴(3)的移动；第1壳体(110)，其覆盖齿条轴(3)的外周面的一部分，具有固定于车辆的第1腿部(111)；第2壳体(120)，其覆盖齿条轴(3)的外周面的一部分，具有覆盖转换单元(30)的第4连结部(128)，并且具有固定于车辆的第2腿部(121)；以及中间壳体(130)，其配置于第1壳体(110)与第2壳体(120)之间，覆盖齿条轴(3)的外周面的一部分，具有对电动马达(21)进行支承的马达支承部(132)。
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公开(公告)号：CN110869638A
公开(公告)日：2020-03-06
申请号：CN201780092554.0
申请日：2017-09-01
Applicant: 株式会社昭和
Abstract: 本发明提供能够产生取决于活塞的位置的阻尼力的液压缓冲器。液压缓冲器(1)具备：活塞杆(20)，其配置有第一活塞(21)、阀门(22)及第二活塞(23)；以及形成间隙流路(11a)的锁油部(11)。第一活塞具有将车体侧与车轴侧连通的流路(21a)，并且能够在活塞杆的轴向移位，当活塞杆向车体侧移动时，第一活塞与阀门抵接，利用通过上述流路的工作油使阀门挠曲，从而产生阻尼力。
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