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公开(公告)号：CN116592784A
公开(公告)日：2023-08-15
申请号：CN202310550364.6
申请日：2023-05-16
Applicant: 西南交通大学
Abstract: 本发明公开的一种两相结构复合材料的脆塑转变深度获取方法，通过金相显微镜拍摄划痕表面形貌显微图，由划痕表面形貌显微图确定划痕中的第一个小凹坑位置以及第一个大凹坑位置，然后测量标尺分别测量两个位置与划痕切入位置的距离，通过白光干涉仪拍摄划痕沟槽得到三维形貌。根据所述测量标尺获得的距离确定脆塑转变区的起点(第一个小凹坑)和终点(第一个大凹坑位置)，取该位置处的划痕横截面轮廓曲线并测量沟槽深度。本发明以显微镜拍摄的显微形貌和白光干涉仪拍摄得到的三维形貌相结合来准确判断材料发生脆塑转变的位置并测量深度，能够避免因两相结构复合材料本身缺陷或表面杂质灰尘带来的干扰，有效的提高测试结果的精度。
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公开(公告)号：CN114184597A
公开(公告)日：2022-03-15
申请号：CN202111523663.8
申请日：2021-12-14
Applicant: 西南交通大学
Abstract: 本发明公开了一种基于划痕诱导选择性刻蚀的微流控SERS芯片制备方法，包括以下步骤：S1、衬底预处理；S2、掩膜制备及图案化；S3、活性基底制备；S4、微流控SERS芯片封装，制备得到微流控SERS芯片；通过刻划结合金属辅助化学刻蚀在半导体衬底上简单快捷地制备出具有嵌套结构的微通道，嵌套结构经沉积金属颗粒即可形成微流道中具有拉曼光谱增强效果的活性基底。总体而言，本发明所述加工方法具有工艺简单、加工效率高、成本低的特点，可规模化生产。本发明所制备的微流控SERS芯片具有较高的表面增强拉曼光谱活性、能实现对纳摩尔浓度生化物质的快速、高效、高灵敏度检测，具有很强的实用价值和广阔的应用前景，值得在业内推广。
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公开(公告)号：CN106672974B
公开(公告)日：2018-11-13
申请号：CN201611160207.0
申请日：2016-12-15
Applicant: 西南交通大学
IPC: C01B33/021 , B82Y40/00
Abstract: 本发明公开了一种制备硅微纳分级结构的新方法，包括以下步骤：S1、将清洗干净的硅片放入处于加热和搅拌状态的氢氧化钾和异丙醇混合溶液中进行刻蚀，获得尺寸和分布均匀的金字塔型硅微结构阵列；S2、在步骤S1获得的金字塔型硅微结构阵列表面集成粘附层/银纳米薄膜；S3、将经过步骤S2处理的样品放入含有卤素离子的盐溶液中进行点蚀反应，获得岛状银颗粒或多孔银膜；S4、将经过步骤S3处理的样品放入氢氟酸和过氧化氢的混合溶液中进行刻蚀，获得新型硅微纳分级结构。该制备方法具有成本低、操作简单、过程可控的优点，适于规模化生产，所得新型硅微纳结构具有很大的有效表面积，具有极强的实用价值，值得在内业推广。
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公开(公告)号：CN106093469A
公开(公告)日：2016-11-09
申请号：CN201610382181.8
申请日：2016-06-01
Applicant: 西南交通大学
IPC: G01P15/093
CPC classification number: G01P15/093
Abstract: 一种基于微悬臂投影的光电式加速度传感器，包括不透明的矩形壳体(9)、封装在矩形壳体(9)底部的芯片和矩形壳体(9)侧壁上部固定的光源(8)；其中，所述的芯片依次由基底(1)、下绝缘材料层(2)、光敏材料层(3)、微悬臂结构层(5)组成；其特征在于：所述的微悬臂结构层(5)的中部和上绝缘材料层(4)的中部为贯通的矩形空腔；空腔内的矩形质量块(7a)通过条状的微悬梁(7b)连接在微悬臂结构层(5)的空腔壁上构成异形微悬臂；且矩形质量块(7a)在微悬梁(7b)方向的长度小于或等于矩形空腔在微悬梁(7b)方向的长度的1/2。其灵敏度高、分辨率高、响应快、可靠性强、寿命长；且结构简单，体积小，成本低，易于批量化生产。
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公开(公告)号：CN103738912B
公开(公告)日：2016-02-03
申请号：CN201310733086.4
申请日：2013-12-27
Applicant: 西南交通大学
IPC: B81C1/00
Abstract: 一种基于摩擦化学诱导刻蚀的单晶硅表面无损伤纳米加工方法，主要应用于单晶硅表面纳米结构的加工。其具体操作方法是：先用湿法氧化的方法在单晶硅表面生长SiOx薄层，然后将生长有SiOx薄层的单晶硅取出清洗并固定在样品台上，然后将二氧化硅球形探针安装在扫描探针显微镜或多点接触微纳米加工设备上，启动设备，控制探针按设定的参数在样品表面进行扫描，再将样品置于KOH溶液与异丙醇的混合溶液中进行刻蚀加工，即可完成。该方法所用SiOx的掩膜制作简易，成本低廉；探针扫描过程中接触压力极低，不会引起单晶硅基底的屈服，加工得到的单晶硅纳米结构服役寿命长；湿法氧化所获得的SiOx薄层掩膜作用良好，可以提高加工深度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101973507A
公开(公告)日：2011-02-16
申请号：CN201010222382.4
申请日：2010-07-09
Applicant: 西南交通大学
IPC: B81C1/00
Abstract: 一种基于摩擦诱导的单晶石英表面选择性刻蚀方法，其方法是：将尖端为球冠状的探针安装在原子力显微镜上，将单晶石英固定在样品台上，启动原子力显微镜，给探针施加定载荷F或者变载荷F′，F的值或F′的变化范围为石英表面发生屈服的临界载荷Fy的0.03-0.14倍，并使探针沿着设定的轨迹和循环次数在单晶石英表面进行扫描；扫描后，用浓度为15-25％的KOH溶液腐蚀2.5小时以上，即可。该方法在极低载荷下扫描结合后续腐蚀即可有效地进行纳米加工，不需要掩膜和多次腐蚀，可加工多级纳米结构。该方法不会对加工区域以外的结构和表面产生损伤和污染，是一种简单、精确、清洁的纳米级石英加工方法。
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公开(公告)号：CN114611317A
公开(公告)日：2022-06-10
申请号：CN202210294499.6
申请日：2022-03-24
Applicant: 西南交通大学
IPC: G06F30/20 , B24B13/00 , G06F119/02
Abstract: 本发明公开了基于树状拓扑结构的多方向随机抛光路径生成方法，生成步骤为：根据待抛光工件几何及工艺参数，生成完全覆盖工件表面的离散均布点阵，并将工件区域内的点作为有效点进行标记；根据有效点阵生成主干，并同样逻辑生成连接枝干，重复枝干生成，最终形成具有树状拓扑结构的多方向随机引导曲线；然后针对树状引导曲线，进行处理得到具有多方向的树状随机抛光路径；对树状随机抛光路径重新插补采样并做光顺处理等，最终生成可用于加工的随机抛光路径。本发明可根据中频误差抑制对抛光路径方向随机性和均匀性的需求，得到随机树状引导曲线，再对路径点进行提取，得到分布均匀、多方向且连续的树状随机路径，形成一种高效可行的路径生成方法。
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公开(公告)号：CN109399558A
公开(公告)日：2019-03-01
申请号：CN201811343464.7
申请日：2018-11-13
Applicant: 西南交通大学
IPC: B81C1/00
Abstract: 本发明公开了一种基于光化学辅助选择性刻蚀的砷化镓表面纳米加工方法，包括以下步骤：S1、采用机械刻划或压痕设备在洁净的砷化镓表面进行划痕或压痕加工；S2、采用混合刻蚀剂对砷化镓表面进行紫外光化学辅助刻蚀，刻蚀完成后对砷化镓表面进行清洗，获得高质量的砷化镓表面纳米结构。该加工方法能够实现砷化镓表面任意二维结构的加工，无需模板，操作简单，成本低；进一步的，本方法的加工过程在常温常压下进行，不产生污染气体，并且加工后的刻蚀剂易处理；此外，本方法能够快速在砷化镓表面加工出高质量的图案和光学结构，与传统刻蚀相比，加工速度快、质量高。
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公开(公告)号：CN109179314A
公开(公告)日：2019-01-11
申请号：CN201811244735.3
申请日：2018-10-24
Applicant: 西南交通大学
IPC: B81C1/00
Abstract: 本发明公开了一种基于氢氟酸/硝酸混合溶液的摩擦诱导纳米加工方法，包括以下步骤：S1、在大于单晶硅屈服极限的接触压力下利用金刚石探针在单晶硅样品表面进行刻划，对刻划后的单晶硅样品进行清洗以去除表面的磨屑和杂质；S2、将清洗后的单晶硅样品浸入到体积比为1：5～1：100范围内的氢氟酸/硝酸混合溶液中进行刻蚀，刻蚀时间为1～60s，刻蚀完成后取出单晶硅样品，并对其表面再次进行清洗，获得所需单晶硅表面纳米结构。本发明通过巧妙地将摩擦诱导纳米加工工艺整合到基于HF/HNO3溶液的刻蚀体系中，成功地将HF/HNO3这种传统的各向同性刻蚀剂在单晶硅表面进行各向异性刻蚀加工，该项技术方案突破了多年来HF/HNO3在微电子领域一直无法直接刻蚀出纳米结构限制。
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公开(公告)号：CN103529245B
公开(公告)日：2016-08-24
申请号：CN201310486043.0
申请日：2013-10-16
Applicant: 西南交通大学
IPC: G01Q60/38
Abstract: 一种可应用于酸碱环境中的原子力显微镜液下针尖支架，其探针固定盘上表面的槽为矩形槽，探针固定线为耐腐蚀和透明片均为耐腐蚀材料制成；探针固定盘下表面安装有横跨凸台的弹性的探针固定线，其具体结构是：探针固定线的前端插入探针固定盘的前通孔，前通孔的外端插入的销钉与探针固定线的端部紧配合；探针固定线的后端依次穿入探针固定盘后通孔的内端、弹簧和活动销的内腔，活动销的内腔外端插入的销钉与探针固定线的端部紧配合。使用该支架可使原子力显微镜在酸碱环境下对样品进行纳米尺度的形貌检测和相关加工实验；且探针固定线可拆卸更换，显微镜的使用维护成本低；透明片在使用过程中不会发生偏移，保证显微观察、分析和加工的结果正确。
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