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公开(公告)号：CN109437085A
公开(公告)日：2019-03-08
申请号：CN201811249602.5
申请日：2018-10-25
Applicant: 西南交通大学
Abstract: 本发明公开了一种无损伤摩擦诱导纳米加工方法，包括以下步骤：S1、对单晶硅样品表面进行清洗以去除表面杂质；S2、通过机械刻划加工设备利用探针在单晶硅样品表面按设定的加工参数进行扫描加工；S3、配置刻蚀溶液，并将盛有刻蚀溶液的容器放置于磁力搅拌器中水浴加热并保持恒温，调制转子转速并保持恒定；S4、将经步骤S2处理后的单晶硅样品冲洗之后，浸入到步骤S3的容器中进行刻蚀，刻蚀时间为10～30min，取出并再次分别对单晶硅样品表面进行清洗即可。该方法通过在化学刻蚀中施加外场的方法来保持刻蚀溶液的高速流动，从而及时有效地带走单晶硅表面生成的反应产物，保证单晶硅表面微/纳结构的质量，同时加快了化学刻蚀的效率且不会对纳米结构造成任何损伤。
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公开(公告)号：CN109292731A
公开(公告)日：2019-02-01
申请号：CN201811054774.7
申请日：2018-09-11
Applicant: 西南交通大学
IPC: B81C1/00
Abstract: 本发明公开了一种基于电化学摩擦诱导的微纳加工方法，包括以下步骤：S1、衬底预处理：将半导体衬底表面清洗干净后烘干，获得样品A；S2、摩擦诱导加工：采用硬度大于半导体衬底的加工针尖在样品A表面进行摩擦诱导加工，获得表面具有设定形状图案的样品B；S3、制备微/纳结构：将样品B放入刻蚀溶液中，对其进行电化学刻蚀，即可获得具有高深宽比的微纳结构。总体而言，该制备方法具有成本低、过程可控、操作简单、加工效率高和可定位定点加工的优点，适合规模化生产，此方法得到的微纳结构能够用于微能源器件和微传感器件等，具有很强的实用价值和广阔的应用前景，值得在业内推广。
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公开(公告)号：CN106744671A
公开(公告)日：2017-05-31
申请号：CN201611077168.8
申请日：2016-11-30
Applicant: 西南交通大学
CPC classification number: B82B3/0014 , B82Y40/00 , C30B33/10
Abstract: 本发明公开了一种基于紫外臭氧的单晶硅表面纳米加工方法，该方法不但可以简单快速的在单晶硅样品形成一层致密且均匀的硅氧化物(SiOX)薄层，而且可以获得具有大量羟基(‑OH)的超亲水表面。结合扫描探针设备上的SiO2探针和摩擦化学的原理，可以在不引起单晶硅基底产生损伤的情况下，在单晶硅表面加工出各种纳米结构。
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公开(公告)号：CN106093469B
公开(公告)日：2019-01-15
申请号：CN201610382181.8
申请日：2016-06-01
Applicant: 西南交通大学
IPC: G01P15/093
Abstract: 一种基于微悬臂投影的光电式加速度传感器，包括不透明的矩形壳体(9)、封装在矩形壳体(9)底部的芯片和矩形壳体(9)侧壁上部固定的光源(8)；其中，所述的芯片依次由基底(1)、下绝缘材料层(2)、光敏材料层(3)、微悬臂结构层(5)组成；其特征在于：所述的微悬臂结构层(5)的中部和上绝缘材料层(4)的中部为贯通的矩形空腔；空腔内的矩形质量块(7a)通过条状的微悬梁(7b)连接在微悬臂结构层(5)的空腔壁上构成异形微悬臂；且矩形质量块(7a)在微悬梁(7b)方向的长度小于或等于矩形空腔在微悬梁(7b)方向的长度的1/2。其灵敏度高、分辨率高、响应快、可靠性强、寿命长；且结构简单，体积小，成本低，易于批量化生产。
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公开(公告)号：CN106744653A
公开(公告)日：2017-05-31
申请号：CN201611006293.X
申请日：2016-11-07
Applicant: 西南交通大学
IPC: B81C1/00
CPC classification number: B81C1/0038 , B81C1/00 , B81C1/00428 , B81C2201/01 , B81C2201/0198
Abstract: 本发明公开了一种具有内孔的碳基微纳分级结构阵列及其制备方法，该结构的表面和内部分别具有纳米形貌和纳米孔道。该结构的制备方法包括以下步骤：S1、在硅基片上使用负性光刻胶进行光刻，获得光刻胶微结构阵列；S2、采用氧等离子体对光刻胶微结构阵列进行刻蚀，获得光刻胶微纳分级结构阵列；S3、在光刻胶微纳分级结构阵列的表面集成纳米薄膜；S4、在保护气体环境下，将表面集成有纳米薄膜的微纳分级结构进行热解，得到碳基微纳分级结构阵列。上述制备方法操作简单，过程可控性强，适于规模化制备；该结构兼具微结构的稳定性和纳结构有效表面积大的特点，还具有碳骨架良好的生物兼容性和导电性。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105973952A
公开(公告)日：2016-09-28
申请号：CN201610392191.X
申请日：2016-06-01
Applicant: 西南交通大学
Abstract: 一种基于微悬臂投影的光电式气敏传感器，包括不透明的矩形壳体(9)、封装在矩形壳体(9)底部的芯片和矩形壳体(9)侧壁上部固定的光源(8)；其中，所述的芯片依次由基底(1)、下绝缘材料层(2)、光敏材料层(3)、微悬臂结构层(5)组成；其特征在于：所述的微悬臂结构层(5)的中部和上绝缘材料层(4)的中部为贯通的矩形空腔；矩形空腔内的矩形质量块(7a)通过条状的微悬梁(7b)连接在微悬臂结构层(5)靠近光源(8)一侧的空腔壁上，构成异形微悬臂；且矩形质量块(7a)的表面沉积了一层气敏材料层(7c)。该种光电式气敏传感器灵敏度高、分辨率好、响应快、成本低、且使用寿命长。
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公开(公告)号：CN110492778B
公开(公告)日：2020-12-04
申请号：CN201910822529.4
申请日：2019-09-02
Applicant: 西南交通大学
IPC: H02N1/04
Abstract: 本发明公开了一种转动式摩擦发电机，包括固定部分、旋转部分和负载，固定部分设有第一基板，旋转部分设有第二基板，第一基板与第二基板相对放置，其中第一基板上设有第一绝缘层和第二绝缘层，第一绝缘层上设有第一电极，第二绝缘层上设有第二电极，第一电极与第二电极无接触；第二基板上设有第三绝缘层和摩擦起电层，第三绝缘层与摩擦起电层相贴，绝缘层另一侧放置在第二啮合体，使得第一基板上的啮合形状与第二基板上的啮合形状相互啮合；当旋转部分相对固定部分旋转时，第一电极与摩擦起电层相互摩擦产生摩擦电荷，在第一电极与第二电极通过导线和负载连通的情况下，当摩擦起电层旋转到第二电极相应位置的过程中使电荷移动从而产生电流。
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公开(公告)号：CN111331765A
公开(公告)日：2020-06-26
申请号：CN202010151190.2
申请日：2020-03-06
Applicant: 西南交通大学
Abstract: 本发明公开了一种新型多功能预应力柔性气动机器人及其加工方法，包括以下步骤：S1、柔性弹性体的制备，利用橡胶弹性体溶液制备片状结构并固化；S2、预应力弹性体的制备，拉伸柔性弹性体并固化；S3、将柔性弹性体和预应力弹性体搭建组合，并连接为内部空心的单元体结构；S4、多功能预应力柔性气动机器人的制备，将多个单元体结构进行连接组合成预应力柔性气动机器人。通过向单元体结构内注入气体以膨胀体积，抵消机器人中存储的弹性能量，释放气压后实现快速形状恢复，使得机器人具备爬行、夹持、抓取等功能。该机器人具有制备成本低、制备简单和模块化加工的优点，能够显著提高其大变形运动后的致动效率，具有很强的实用价值和广阔的应用前景。
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公开(公告)号：CN109179314A
公开(公告)日：2019-01-11
申请号：CN201811244735.3
申请日：2018-10-24
Applicant: 西南交通大学
IPC: B81C1/00
Abstract: 本发明公开了一种基于氢氟酸/硝酸混合溶液的摩擦诱导纳米加工方法，包括以下步骤：S1、在大于单晶硅屈服极限的接触压力下利用金刚石探针在单晶硅样品表面进行刻划，对刻划后的单晶硅样品进行清洗以去除表面的磨屑和杂质；S2、将清洗后的单晶硅样品浸入到体积比为1：5～1：100范围内的氢氟酸/硝酸混合溶液中进行刻蚀，刻蚀时间为1～60s，刻蚀完成后取出单晶硅样品，并对其表面再次进行清洗，获得所需单晶硅表面纳米结构。本发明通过巧妙地将摩擦诱导纳米加工工艺整合到基于HF/HNO3溶液的刻蚀体系中，成功地将HF/HNO3这种传统的各向同性刻蚀剂在单晶硅表面进行各向异性刻蚀加工，该项技术方案突破了多年来HF/HNO3在微电子领域一直无法直接刻蚀出纳米结构限制。
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公开(公告)号：CN111331765B
公开(公告)日：2021-02-26
申请号：CN202010151190.2
申请日：2020-03-06
Applicant: 西南交通大学
Abstract: 本发明公开了一种新型多功能预应力柔性气动机器人及其加工方法，包括以下步骤：S1、柔性弹性体的制备，利用橡胶弹性体溶液制备片状结构并固化；S2、预应力弹性体的制备，拉伸柔性弹性体并固化；S3、将柔性弹性体和预应力弹性体搭建组合，并连接为内部空心的单元体结构；S4、多功能预应力柔性气动机器人的制备，将多个单元体结构进行连接组合成预应力柔性气动机器人。通过向单元体结构内注入气体以膨胀体积，抵消机器人中存储的弹性能量，释放气压后实现快速形状恢复，使得机器人具备爬行、夹持、抓取等功能。该机器人具有制备成本低、制备简单和模块化加工的优点，能够显著提高其大变形运动后的致动效率，具有很强的实用价值和广阔的应用前景。
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