公开(公告)号：CN103760383B

公开(公告)日：2016-07-06

申请号：CN201410009253.5

申请日：2014-01-09

Applicant: 西南交通大学

Inventor： 钱林茂 ,  杨亚军 ,  陈诚 ,  陈磊 ,  何洪途 ,  王晓东

IPC: G01Q30/12

Abstract: 一种用于原子力显微镜的气氛控制系统，其特征在于：气体瓶一（1a）和气体瓶二（1b）分别通过流量计一（3a）、流量计二（3b）与混合气管（4）的进气口相连，混合气管（4）的出气口通过进气腔（6）与原子力显微镜上的气氛腔（7）的进气口相连。该系统能为原子力显微镜提供不同气体、各种比例组成的可控混合气氛，从而使原子力显微镜能进行各种比例的不同气体组成的混合气氛下微机电系统的磨损失效、防护机理的模拟试验与研究，从而为相应混合气氛工作中的微机电系统的设计、制造与维护提供更准确、可靠的试验依据，以降低微机电系统的磨损，提高微机电系统的使用寿命。

公开(公告)号：CN103760383A

公开(公告)日：2014-04-30

申请号：CN201410009253.5

申请日：2014-01-09

Applicant: 西南交通大学

Inventor： 钱林茂 ,  杨亚军 ,  陈诚 ,  陈磊 ,  何洪途 ,  王晓东

IPC: G01Q30/12

Abstract: 一种用于原子力显微镜的气氛控制系统，其特征在于：气体瓶一（1a）和气体瓶二（1b）分别通过流量计一（3a）、流量计二（3b）与混合气管（4）的进气口相连，混合气管（4）的出气口通过进气腔（6）与原子力显微镜上的气氛腔（7）的进气口相连。该系统能为原子力显微镜提供不同气体、各种比例组成的可控混合气氛，从而使原子力显微镜能进行各种比例的不同气体组成的混合气氛下微机电系统的磨损失效、防护机理的模拟试验与研究，从而为相应混合气氛工作中的微机电系统的设计、制造与维护提供更准确、可靠的试验依据，以降低微机电系统的磨损，提高微机电系统的使用寿命。

公开(公告)号：CN103529245A

公开(公告)日：2014-01-22

申请号：CN201310486043.0

申请日：2013-10-16

Applicant: 西南交通大学

Inventor： 钱林茂 ,  王晓东 ,  王冕 ,  陈磊 ,  余丙军 ,  何洪途

IPC: G01Q60/38

Abstract: 一种可应用于酸碱环境中的原子力显微镜液下针尖支架，其探针固定盘上表面的槽为矩形槽，探针固定线为耐腐蚀和透明片均为耐腐蚀材料制成；探针固定盘下表面安装有横跨凸台的弹性的探针固定线，其具体结构是：探针固定线的前端插入探针固定盘的前通孔，前通孔的外端插入的销钉与探针固定线的端部紧配合；探针固定线的后端依次穿入探针固定盘后通孔的内端、弹簧和活动销的内腔，活动销的内腔外端插入的销钉与探针固定线的端部紧配合。使用该支架可使原子力显微镜在酸碱环境下对样品进行纳米尺度的形貌检测和相关加工实验；且探针固定线可拆卸更换，显微镜的使用维护成本低；透明片在使用过程中不会发生偏移，保证显微观察、分析和加工的结果正确。

公开(公告)号：CN103529245B

公开(公告)日：2016-08-24

申请号：CN201310486043.0

申请日：2013-10-16

Applicant: 西南交通大学

Inventor： 钱林茂 ,  王晓东 ,  王冕 ,  陈磊 ,  余丙军 ,  何洪途

IPC: G01Q60/38

Abstract: 一种可应用于酸碱环境中的原子力显微镜液下针尖支架，其探针固定盘上表面的槽为矩形槽，探针固定线为耐腐蚀和透明片均为耐腐蚀材料制成；探针固定盘下表面安装有横跨凸台的弹性的探针固定线，其具体结构是：探针固定线的前端插入探针固定盘的前通孔，前通孔的外端插入的销钉与探针固定线的端部紧配合；探针固定线的后端依次穿入探针固定盘后通孔的内端、弹簧和活动销的内腔，活动销的内腔外端插入的销钉与探针固定线的端部紧配合。使用该支架可使原子力显微镜在酸碱环境下对样品进行纳米尺度的形貌检测和相关加工实验；且探针固定线可拆卸更换，显微镜的使用维护成本低；透明片在使用过程中不会发生偏移，保证显微观察、分析和加工的结果正确。

公开(公告)号：CN203688581U

公开(公告)日：2014-07-02

申请号：CN201420011858.3

申请日：2014-01-09

Applicant: 西南交通大学

Inventor： 钱林茂 ,  杨亚军 ,  陈诚 ,  陈磊 ,  何洪途 ,  王晓东

IPC: G01Q30/12

Abstract: 一种用于原子力显微镜的气氛控制装置，其特征在于：气体瓶一（1a）和气体瓶二（1b）分别通过流量计一（3a）、流量计二（3b）与混合气管（4）的进气口相连，混合气管（4）的出气口通过进气腔（6）与原子力显微镜上的气氛腔（7）的进气口相连。该装置能为原子力显微镜提供不同气体、各种比例组成的可控混合气氛，从而使原子力显微镜能进行各种比例的不同气体组成的混合气氛下微机电系统的磨损失效、防护机理的模拟试验与研究，从而为相应混合气氛工作中的微机电系统的设计、制造与维护提供更准确、可靠的试验依据，以降低微机电系统的磨损，提高微机电系统的使用寿命。

公开(公告)号：CN203519647U

公开(公告)日：2014-04-02

申请号：CN201320639994.2

申请日：2013-10-16

Applicant: 西南交通大学

Inventor： 钱林茂 ,  王晓东 ,  王冕 ,  陈磊 ,  余丙军 ,  何洪途

IPC: G01Q60/38

Abstract: 一种可应用于酸碱环境中的原子力显微镜液下针尖支架，其探针固定盘上表面的槽为矩形槽，探针固定线为耐腐蚀和透明片均为耐腐蚀材料制成；探针固定盘下表面安装有横跨凸台的弹性的探针固定线，其具体结构是：探针固定线的前端插入探针固定盘的前通孔，前通孔的外端插入的销钉与探针固定线的端部紧配合；探针固定线的后端依次穿入探针固定盘后通孔的内端、弹簧和活动销的内腔，活动销的内腔外端插入的销钉与探针固定线的端部紧配合。使用该支架可使原子力显微镜在酸碱环境下对样品进行纳米尺度的形貌检测和相关加工实验；且探针固定线可拆卸更换，显微镜的使用维护成本低；透明片在使用过程中不会发生偏移，保证显微观察、分析和加工的结果正确。