具有热稳定硅化物栅极功函数金属的CMOS架构

    公开(公告)号:CN115911047A

    公开(公告)日:2023-04-04

    申请号:CN202211007184.5

    申请日:2022-08-22

    Abstract: 一种具有晶体管架构的集成电路,包括第一半导体主体和第二半导体主体。第一半导体主体和第二半导体主体相对于彼此垂直(例如,堆叠配置)或水平(叉板式配置)布置,并且通过绝缘体材料彼此分离,并且每个半导体主体都可以配置用于平面或非平面晶体管拓扑。第一栅极结构在第一半导体主体上,并且包括第一栅极电极和第一高k栅极电介质。第二栅极结构在第二半导体主体上,并且包括第二栅极电极和第二高k栅极电介质。在示例中,第一栅极电极包括包含硅和一种或多种金属的化合物的层;第二栅极结构可以包括或不包括硅化物功函数层。在一个示例中,第一栅极电极为n型,并且第二栅极电极为p型。

    半导体器件的背面触点
    4.
    发明公开

    公开(公告)号:CN111696957A

    公开(公告)日:2020-09-22

    申请号:CN202010143694.X

    申请日:2020-03-04

    Abstract: 背面触点结构包括蚀刻选择性材料以促进背面触点的形成。集成电路结构包括正面触点区域,在正面触点区域下方的器件区域以及在器件区域下方的背面触点区域。器件区域包括晶体管。背面触点区域包括在晶体管的源极区域或漏极区域下方的第一电介质材料,在横向上与第一电介质材料相邻且在晶体管的栅极结构下方的第二电介质材料。非导电间隔体位于第一电介质材料和第二电介质材料之间。第一电介质材料和第二电介质材料相对于彼此和间隔体是可选择性蚀刻的。背面触点区域可以包括互连特征部,该互连特征部例如穿过第一电介质材料并接触源极/漏极区域的底面,和/或穿过第二电介质材料并接触栅极结构。

    自对准局部互连
    5.
    发明公开

    公开(公告)号:CN111564428A

    公开(公告)日:2020-08-21

    申请号:CN202010031587.8

    申请日:2020-01-13

    Abstract: 在一些实施例中,通过使用倾斜蚀刻以去除材料从而暴露相邻导体的一部分来形成半导体器件结构。然后,在形成接触部或其它导电结构(例如,和互连)期间,在去除材料时形成的空间可以被一种或多种导电材料填充。以此方式,接触部形成还填充了空间以形成倾斜的局部互连部分,该局部互连部分连接相邻的结构(例如,源极/漏极接触部到相邻的源极/漏极接触部,源极/漏极接触部到相邻的栅极接触部,源极/漏极接触部到也连接到栅极/源极/漏极接触部的相邻器件级导体)。在其它实施例中,在本文中被称为“拼合过孔”的互连结构从导电结构的横向相邻的外围表面建立电连接,所述导电结构并不彼此同轴、同心地对准。

    用于电连接堆叠式晶体管的源极/漏极区域的互连技术

    公开(公告)号:CN110660777A

    公开(公告)日:2020-01-07

    申请号:CN201910457257.2

    申请日:2019-05-29

    Abstract: 堆叠式晶体管结构在上晶体管和下晶体管的源极/漏极区域之间具有导电互连。在一些实施例中,互连至少部分地由沉积在上晶体管的源极/漏极区域中的高掺杂外延材料提供。在这种情况下,从上晶体管的沟道区域的半导体材料的暴露部分或与上晶体管的沟道区域相邻的半导体材料的暴露部分施加外延材料,并且该外延材料向下延伸到凹陷部中,该凹陷部暴露下晶体管的源极/漏极接触部结构。外延源极/漏极材料直接接触下晶体管的源极/漏极接触部结构,以提供互连。在其他实施例中,仍然从沟道区域的暴露半导体材料或邻近沟道区域的暴露半导体材料施加外延材料且该外延材料向下延伸到凹陷部中,但无需接触下接触部结构。相反,含金属的接触部结构穿过上源极/漏极区域的外延材料并接触下晶体管的源极/漏极接触部结构。

    堆叠晶体管架构中的垂直二极管
    10.
    发明公开

    公开(公告)号:CN111386606A

    公开(公告)日:2020-07-07

    申请号:CN201880063167.9

    申请日:2018-01-18

    Abstract: 一种集成电路结构包括:在长度方向上水平延伸且包括底部部分和底部部分上方的顶部部分的第一半导体鳍状物;与第一半导体鳍状物的底部部分相关联的底部晶体管;位于底部晶体管上方且与第一半导体鳍状物的顶部部分相关联的顶部晶体管;以及第一垂直二极管。所述第一垂直二极管包括:至少与第一半导体鳍状物的底部部分相关联的底部区域,所述底部区域包括n型掺杂剂和p型掺杂剂中的一种;至少与第一半导体鳍状物的顶部部分相关联的顶部区域,所述顶部区域包括n型掺杂剂和p型掺杂剂中的另一种;电连接到底部区域的底部端子;以及电连接到第一半导体鳍状物的顶部部分处的顶部区域的顶部端子。

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