-
公开(公告)号：CN105229810B
公开(公告)日：2018-08-17
申请号：CN201480026406.5
申请日：2014-05-22
IPC: H01L41/316 , C23C14/06 , H01L41/187
CPC classification number: H01L41/18 , C23C14/0052 , C23C14/06 , C23C14/0641 , C23C14/18 , C23C14/185 , C23C14/34 , C23C14/3464 , C23C14/46 , H01L41/187 , H01L41/316
Abstract: 一种压电体薄膜(1)，其是通过溅射得到的并且由钪铝氮化物制成的。其碳原子含有率为2.5原子％以下。在压电体薄膜(1)的制造时，在至少含有氮气的气氛下，从碳原子含有率为5原子％以下的钪铝合金靶材(10)向基板上(21)同时溅射钪和铝。另外，也可以对合金靶材的相对面倾斜地照射离子束(31)来进行溅射。另外，也可以从Sc靶材和Al靶材向基板上同时溅射铝和钪。由此，能够提供可发挥优良的压电特性的压电体薄膜及其制造方法。
-
公开(公告)号：CN102474234A
公开(公告)日：2012-05-23
申请号：CN201080028605.1
申请日：2010-06-30
Applicant: 独立行政法人产业技术综合研究所 , 株式会社电装
CPC classification number: H03H3/02 , C23C14/0036 , C23C14/0617 , C23C14/0641 , H01L41/316 , Y10T428/24355
Abstract: 本发明的具备含钪的氮化铝薄膜的压电体薄膜的制造方法包含在至少含有氮气的环境下用钪和铝进行溅射的溅射工序。在本发明的制造方法的溅射工序中，在基板温度为5℃～450℃的范围下，以使钪含有率处于0.5原子％～50原子％的范围内的形式，进行溅射。
-
公开(公告)号：CN101325240B
公开(公告)日：2011-05-25
申请号：CN200810099857.8
申请日：2008-05-30
Applicant: 独立行政法人产业技术综合研究所 , 株式会社电装
Abstract: 本发明涉及一种压电体薄膜、压电体及其制造方法、使用该压电体薄膜的压电体谐振子、执行器元件以及物理传感器。其中，压电体薄膜包括含有钪的氮化铝薄膜，氮化铝薄膜中的钪的含有率在钪的原子数和铝的原子数的总量设定为100原子％时为0.5～50原子％。由此，本发明的压电体薄膜不会失去氮化铝薄膜所具有的弹性波的传播速度、Q值以及频率温度系数等特性，从而能提高压电响应性。
-
公开(公告)号：CN117999476A
公开(公告)日：2024-05-07
申请号：CN202280061670.7
申请日：2022-08-30
Applicant: 株式会社电装
IPC: G01N27/414
Abstract: 离子传感器(1)具备：离子检测元件(3)；基准电极(5)，提供电位的基准点；以及溶液(7)，在上述离子检测元件的传感检测区域(29)中离子浓度能够变化。上述离子检测元件的上述传感检测区域配置在上述溶液中。在被检测物质的检测方法中，使用离子传感器。将与具有使上述离子传感器能够检测的离子的量发生变化的功能的标识体结合的上述被检测物质导入上述溶液，使用上述离子传感器来检测上述离子的量的变化。
-
公开(公告)号：CN112993143B
公开(公告)日：2024-04-02
申请号：CN202011456057.4
申请日：2020-12-10
Applicant: 株式会社电装 , 学校法人东京理科大学
IPC: H10N30/853 , H10N30/20 , H10N30/87
Abstract: 本发明公开了一种驻极体(1)，其包括基板(10)和在所述基板的表面上方形成的驻极体层(2)。该驻极体层是含有两种或更多种不同金属元素的复合金属化合物，并且通过对主要由带隙能量为4eV或更高的无机介电材料构成的薄膜进行极化处理而得到。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN115176409A
公开(公告)日：2022-10-11
申请号：CN202180017395.4
申请日：2021-02-24
Applicant: 株式会社电装 , 学校法人东京理科大学
IPC: H02N1/00 , C04B35/50 , H01G7/02 , H01L41/113 , H01L41/187
Abstract: 发电设备(1)具备：驻极体(2)，其具有第一带电面(21)及第二带电面(22)；第一发电部(10A)，其包含形成于第一、第二带电面(21)的第一、第二电极(31、32)，在第一带电面(21)上，第一电极以使成为集电面(20)的一部分露出的状态配置；第二发电部(10B)，其包含第三电极(33)和第二电极，该第三电极(33)与第一带电面(21)隔开间隔而对置，并且能够平行移动；以及蓄电部(41)及输出部(42)中的至少一者。驻极体(2)是包含带隙能量为4eV以上的无机电介质的驻极体材料通过极化处理进行驻极体化而成的驻极体。
-
公开(公告)号：CN115176408A
公开(公告)日：2022-10-11
申请号：CN202180017298.5
申请日：2021-02-24
Applicant: 株式会社电装 , 学校法人东京理科大学
Abstract: 发电设备(1)具备：发电部(10)，其具有具备第一带电面(21)及第二带电面(22)的驻极体(2)、形成于第一带电面(21)的第一电极(31)、以及形成于第二带电面(22)的第二电极(32)；和与发电部(10)电连接的蓄电部(41)及输出部(42)中的至少一者。驻极体(2)是包含带隙能量为4eV以上的无机电介质的驻极体材料通过极化处理进行驻极体化而成的驻极体，第一电极(31)及第二电极(32)中的至少一者在对应的第一带电面(21)及第二带电面(22)中的至少一者上以使成为集电面(20)的一部分露出的状态配置。
-
公开(公告)号：CN117836476A
公开(公告)日：2024-04-05
申请号：CN202280056819.2
申请日：2022-08-22
Applicant: 株式会社电装 , 国立大学法人东海国立大学机构
Abstract: 一种含有金属氧化物作为主成分的导电膜，金属氧化物具有与用下述的式(I)表示的化合物相同的成分，且具有在X射线衍射图谱中，在与用下述的式(I)表示的化合物的X射线衍射图谱中出现衍射峰的衍射角度相同的衍射角度处出现衍射峰的晶体结构。(AO)2B6O11(I)，式(I)中的A是可取得+1价或+2价的金属元素，式(I)中的B是可取得+4价或+5价的过渡金属元素，式(I)中的O是氧元素，式(I)中的B的平均价数低于B的最大氧化数。
-
公开(公告)号：CN115219443A
公开(公告)日：2022-10-21
申请号：CN202210401717.1
申请日：2022-04-18
Applicant: 株式会社电装
IPC: G01N21/31 , G01N21/64 , G01N21/76 , G01N21/78 , G01N21/82 , G01N25/20 , G01N27/327 , G01N27/333 , G01N27/414 , G01N27/60 , G01N33/532 , G01N33/543 , G01N33/566 , G01N33/68 , C12Q1/6851
Abstract: 缀合物(7)包括结合物质(9)和标记物(11)，所述结合物质具有与靶物质(1)结合的活性，并且所述标记物引起可检测现象。所述结合物质的分子量小于免疫球蛋白的分子量。
-
公开(公告)号：CN111742421A
公开(公告)日：2020-10-02
申请号：CN201980014068.6
申请日：2019-02-04
Applicant: 株式会社电装
IPC: H01L41/187 , C23C14/06 , C30B29/38 , H01L41/319 , H03H3/02 , H03H9/17
Abstract: 本发明提供一种压电膜(1)，其含有AlN晶体和添加至AlN晶体中的第1元素及第2元素。第1元素为离子半径大于Al的元素。第2元素为离子半径小于Al的元素。另外，一种压电膜层叠体及其制造方法，所述压电膜层叠体可具有基底层和由ScAlN形成的压电膜。基底层具有6次对称或3次对称的结晶晶格。另外，一种压电膜及其制造方法，所述压电膜由具有六方晶与立方晶的层叠型的晶体结构的ScAlN形成。在立方晶中添加了3价以外的元素。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
20
records
(took 0.027 seconds)
