公开(公告)号：CN101325240A

公开(公告)日：2008-12-17

申请号：CN200810099857.8

申请日：2008-05-30

Applicant: 独立行政法人产业技术综合研究所 ,  株式会社电装

Inventor： 秋山守人 ,  蒲原敏浩 ,  上野直广 ,  加纳一彦 ,  勅使河原明彦 ,  竹内幸裕 ,  川原伸章

IPC: H01L41/18 ,  H01L41/08 ,  H01L41/22 ,  H03H9/17 ,  H03H9/54

Abstract: 本发明涉及一种压电体薄膜、压电体及其制造方法、使用该压电体薄膜的压电体谐振子、执行器元件以及物理传感器。其中，压电体薄膜包括含有钪的氮化铝薄膜，氮化铝薄膜中的钪的含有率在钪的原子数和铝的原子数的总量设定为100原子％时为0.5～50原子％。由此，本发明的压电体薄膜不会失去氮化铝薄膜所具有的弹性波的传播速度、Q值以及频率温度系数等特性，从而能提高压电响应性。

公开(公告)号：CN101325240B

公开(公告)日：2011-05-25

申请号：CN200810099857.8

申请日：2008-05-30

Applicant: 独立行政法人产业技术综合研究所 ,  株式会社电装

Inventor： 秋山守人 ,  蒲原敏浩 ,  上野直广 ,  加纳一彦 ,  勅使河原明彦 ,  竹内幸裕 ,  川原伸章

IPC: H01L41/18 ,  H01L41/08 ,  H01L41/22 ,  H03H9/17 ,  H03H9/54

Abstract: 本发明涉及一种压电体薄膜、压电体及其制造方法、使用该压电体薄膜的压电体谐振子、执行器元件以及物理传感器。其中，压电体薄膜包括含有钪的氮化铝薄膜，氮化铝薄膜中的钪的含有率在钪的原子数和铝的原子数的总量设定为100原子％时为0.5～50原子％。由此，本发明的压电体薄膜不会失去氮化铝薄膜所具有的弹性波的传播速度、Q值以及频率温度系数等特性，从而能提高压电响应性。

公开(公告)号：CN103513415A

公开(公告)日：2014-01-15

申请号：CN201310240744.6

申请日：2013-06-18

Applicant: 株式会社电装

Inventor： 种村友贵 ,  山下秀一 ,  和户弘幸 ,  竹内幸裕

IPC: G02B26/00 ,  G01N21/45

CPC classification number: G01B9/02 ,  G01B9/02023

Abstract: 一种法布里-珀罗干涉仪，包括输入镜子（50）和布置为隔着间隙（AG）面对所述输入镜子的输出镜子（30）。每一镜子包括一对高折射层（31，32，51，52）和选择性地布置在所述高折射层之间的空隙层（33，53）。布置为跨过所述间隙的输入侧桥部分和输出侧桥部分中的至少之一可作为隔膜移动。每一桥部分包括透射部（S1，S2）和周边部（T1，T2）。每一透射部包括镜子元件（M1，M2），在所述镜子元件（M1，M2）中，所述空隙层由所述一对高折射层夹置。在垂直于所述第一方向的第二方向上，所述输入镜子（50）的所述镜子元件（M2）的宽度大于从所述输出镜子输出的透射光的最大波长的七倍并用作衍射限制镜子。