公开(公告)号：CN102474234B

公开(公告)日：2015-06-17

申请号：CN201080028605.1

申请日：2010-06-30

Applicant: 独立行政法人产业技术综合研究所 ,  株式会社电装

Inventor： 秋山守人 ,  加纳一彦 ,  敕使河原明彦

IPC: H03H3/02 ,  C23C14/06 ,  H03H9/17

CPC classification number: H03H3/02 ,  C23C14/0036 ,  C23C14/0617 ,  C23C14/0641 ,  H01L41/316 ,  Y10T428/24355

Abstract: 本发明的具备含钪的氮化铝薄膜的压电体薄膜的制造方法包含在至少含有氮气的环境下用钪和铝进行溅射的溅射工序。在本发明的制造方法的溅射工序中，在基板温度为5℃～450℃的范围下，以使钪含有率处于0.5原子％～50原子％的范围内的形式，进行溅射。

公开(公告)号：CN102474234A

公开(公告)日：2012-05-23

申请号：CN201080028605.1

申请日：2010-06-30

Applicant: 独立行政法人产业技术综合研究所 ,  株式会社电装

Inventor： 秋山守人 ,  加纳一彦 ,  敕使河原明彦

IPC: H03H3/02 ,  C23C14/06 ,  H03H9/17

CPC classification number: H03H3/02 ,  C23C14/0036 ,  C23C14/0617 ,  C23C14/0641 ,  H01L41/316 ,  Y10T428/24355

Abstract: 本发明的具备含钪的氮化铝薄膜的压电体薄膜的制造方法包含在至少含有氮气的环境下用钪和铝进行溅射的溅射工序。在本发明的制造方法的溅射工序中，在基板温度为5℃～450℃的范围下，以使钪含有率处于0.5原子％～50原子％的范围内的形式，进行溅射。

公开(公告)号：CN114207854A

公开(公告)日：2022-03-18

申请号：CN202080055479.2

申请日：2020-07-28

Applicant: 日清纺微电子有限公司 ,  株式会社电装

Inventor： 口地博行 ,  桝本尚己 ,  山田英雄 ,  敕使河原明彦 ,  水谷厚司

IPC: H01L41/053 ,  H01L41/08 ,  H01L41/113

Abstract: 压电元件(10)具备：压电元件部(12)，具有压电膜(14)和在厚度方向(Z)上夹持压电膜(14)的电极(16)；支承部(18)，支承压电元件部(12)的周缘部(E1)；以及伸缩膜(22)。伸缩膜(22)设置于压电元件部(12)的周缘部(E1)的内侧的振动区域(E2)。此外，伸缩膜(22)的伸缩性比压电元件部(12)的伸缩性高。