表面波装置及其制造方法

    公开(公告)号:CN101868917B

    公开(公告)日:2014-02-19

    申请号:CN200880116839.4

    申请日:2008-12-08

    IPC分类号: H03H9/10 H03H9/05

    摘要: 提供不易产生切割刀片磨损且不易使切割速度降低地从母板的层叠体以高精度高效率获得的表面波装置。这种通过切割方式切断压电晶片(10)来获得的表面波装置,包括通过切割压电晶片(10)而获得的压电基板(10A),在压电基板(10A)上表面形成的IDT电极(1~3)以及垫整电极(4~7),支撑层(11)具有IDT电极(1~3)所面对的开口,支撑层(11)的外周边缘(11b)被配置在比压电基板(10A)的上表面的外周边缘更靠近内侧的位置,进一步,覆盖层(14)在支撑层(11)上由绝缘材料制成,用来封闭所述支撑层(11)的开口部,在俯视时,覆盖层(14)的外周边缘与压电基板(10A)的外周边缘重合。

    表面声波装置
    4.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101965683B

    公开(公告)日:2014-01-29

    申请号:CN200980108285.8

    申请日:2009-01-23

    IPC分类号: H03H9/25 H03H9/145

    CPC分类号: H03H9/059 H03H9/1092

    摘要: 本发明提供一种难以产生立体布线部中的布线的断线,可靠性优良的表面声波装置。表面声波装置(1),在压电基板(2)上形成多个表面声波元件(F1~F4、R1、R2),在压电基板(2)上按照包围包含IDT电极(11~13)等电极的振动部的方式形成支持构件(4),按照覆盖支持构件(4)的开口部的方式层叠盖构件,形成振动电极所面对的中空空间,并且,在压电基板(2)上形成隔着绝缘层(53)层叠有第一布线(51)及第二布线(52)的立体布线部(B),在立体布线部(B)中,按照包围立体布线部的方式设置支持构件(4),由此在由压电基板(2)、支持构件(4)、和盖构件包围的空间内配置立体布线部(B)。

    弹性波装置
    7.
    发明公开

    公开(公告)号:CN108352822A

    公开(公告)日:2018-07-31

    申请号:CN201680062237.X

    申请日:2016-10-04

    IPC分类号: H03H9/25 H01L21/60 H03H9/72

    CPC分类号: H03H9/25 H03H9/72

    摘要: 提供一种即便是在施加了热量的情况下也不易产生平面面积相对较大的弹性波元件的金属凸块的剥离的弹性波装置。一种弹性波装置(1),俯视情况下的平面面积较大的第1弹性波元件(11)和俯视情况下的平面面积较小的第2弹性波元件(12)分别隔着第1金属凸块(16a~16f)及第2金属凸块(26a~26f)而被安装在封装基板(2)上,密封树脂层(5)被设置成覆盖第1弹性波元件(11)及第2弹性波元件(12),第1金属凸块(16a~16f)比第2金属凸块(26a~26f)大。

    弹性波装置
    10.
    发明授权

    公开(公告)号:CN108352822B

    公开(公告)日:2021-12-07

    申请号:CN201680062237.X

    申请日:2016-10-04

    IPC分类号: H03H9/25 H01L21/60 H03H9/72

    摘要: 提供一种即便是在施加了热量的情况下也不易产生平面面积相对较大的弹性波元件的金属凸块的剥离的弹性波装置。一种弹性波装置(1),俯视情况下的平面面积较大的第1弹性波元件(11)和俯视情况下的平面面积较小的第2弹性波元件(12)分别隔着第1金属凸块(16a~16f)及第2金属凸块(26a~26f)而被安装在封装基板(2)上,密封树脂层(5)被设置成覆盖第1弹性波元件(11)及第2弹性波元件(12),第1金属凸块(16a~16f)比第2金属凸块(26a~26f)大。