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公开(公告)号：CN105716224A
公开(公告)日：2016-06-29
申请号：CN201510802057.8
申请日：2015-11-19
Applicant: 株式会社堀场STEC
Abstract: 本发明提供气化用容器、气化器和气化装置，在维持紧凑性的同时，能稳定且大流量地输出材料气体。气化用容器(11)具有气化室(11a)，使导入所述气化室(11a)的液体材料气化并将生成的材料气体导出，所述气化用容器包括分隔壁(6)，所述分隔壁(6)将所述气化室(11a)的下方空间分隔成最初导入液体材料的第一下方空间(11e)和导入从所述第一下方空间(11e)溢出的液体材料的第二下方空间(11f)。
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公开(公告)号：CN116293029A
公开(公告)日：2023-06-23
申请号：CN202211439500.6
申请日：2022-11-17
Applicant: 株式会社堀场STEC
Abstract: 本发明提供流体控制装置、汽化系统和压电致动器，防止发生压电元件的裂纹并且降低对控制基板的热影响，所述流体控制装置具备：流体控制阀(3)，由压电致动器(32)驱动；流体传感器(4)，测量流体的压力或流量；控制基板(5)，根据由流体传感器(4)测量的测量值，控制流体控制阀(3)；以及放电用电阻(7)，设置在与控制基板(5)不同的部件。
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公开(公告)号：CN115279941A
公开(公告)日：2022-11-01
申请号：CN202180020221.3
申请日：2021-02-03
Applicant: 株式会社堀场STEC
Inventor： 田口明広
IPC: C23C16/448 , H01L21/205
Abstract: 一种气化系统，其包括：气化装置，将液体材料气化，并具有导入所述液体材料的导入端口和导出所述液体材料气化而成的气化气体的导出端口；第一固定螺丝，将所述导入端口和所述导出端口的至少一方拧紧固定于基座；配管部件，与所述被固定的端口连通，供所述气化气体或者所述液体材料流通；以及第二固定螺丝，将所述配管部件隔着密封部件拧紧固定于所述被固定的端口。
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公开(公告)号：CN105716225B
公开(公告)日：2020-08-11
申请号：CN201510829711.4
申请日：2015-11-25
Applicant: 株式会社堀场STEC
Abstract: 本发明提供流体加热器、加热块和汽化系统，容易小型化且能以低价格制造，此外能得到稳定的加热性能。流体加热器(23)通过预热加热器(232)加热流体，具备加热块(231)，其形成有内部流道(231R)，所述内部流道(231R)具有导入所述流体的导入口(231a)和导出所述流体的导出口(231b)，并且在所述加热块(231)中形成有沿规定的轴向延伸的加热器插入部(231H)，所述内部流道(231R)具有在所述规定的轴向上延伸的多个主流道部(231R1)以及连接所述多个主流道部(231R1)的一个或多个连接流道部(231R2)。
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公开(公告)号：CN110337326A
公开(公告)日：2019-10-15
申请号：CN201880011617.X
申请日：2018-03-16
Applicant: 株式会社堀场STEC
IPC: B01J7/00
Abstract: 本发明提供气化装置和气化系统。为了能够高精度地检测容器内的液体材料的液面，气化装置包括收容液体材料(X)的容器(10)、加热容器(10)内的液体材料(X)的加热器(30)、以及检测容器(10)内的液体材料的液面的液面传感器(20)，从上方观察容器(10)内时，容器(10)内形成有液体材料(X)气化的气化区域(S1)以及与气化区域(S1)不同的液面稳定区域(S2)，液面传感器(20)检测液面稳定区域(S2)中的液体材料(X)的液面。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109750275A
公开(公告)日：2019-05-14
申请号：CN201811240824.0
申请日：2018-10-23
Applicant: 株式会社堀场STEC
IPC: C23C16/448 , H01L21/67
Abstract: 本发明提供气化系统和存储有气化系统用程序的存储介质，不使用压力传感器就能适当控制液体材料的供给。气化系统(100)包括：气化器(21)，使液体材料气化；供给量控制设备(22)，控制向气化器(21)供给的液体材料的供给量；流量调整阀(32)，调整气化器(21)生成的气化气体的流量；流量传感器，测定气化气体的流量；阀控制部(43)，向流量调整阀(32)输出驱动信号来控制阀开度，以使由流量传感器测定的测定流量成为预先设定的设定流量。还包括：驱动信号值取得部(44)，取得作为驱动信号所表示的值的驱动信号值；供给控制部(45)，基于驱动信号值向供给量控制设备(22)输出控制信号，控制液体材料的供给。
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公开(公告)号：CN118687824A
公开(公告)日：2024-09-24
申请号：CN202410290496.4
申请日：2024-03-14
Applicant: 株式会社堀场STEC
Abstract: 本发明提供压电元件诊断装置、压电元件诊断方法、存储介质、流体控制装置和气化系统。本发明能够在适当的时机更换或维护压电元件，压电元件诊断装置(10)诊断组装于装置的压电元件(321)，包括：驱动信息取得部(4d)，取得压电元件(321)的驱动信息；以及寿命算出部(4e)，基于驱动信息算出压电元件的消耗寿命或剩余寿命。
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公开(公告)号：CN115808491A
公开(公告)日：2023-03-17
申请号：CN202211039377.9
申请日：2022-08-29
Applicant: 株式会社堀场STEC
IPC: G01N30/84
Abstract: 本发明提供气相色谱仪用处理装置及其热对策方法。本发明在气相色谱仪用处理装置中减少来自催化剂部的热量向阀部的传递，气相色谱仪用处理装置(100)将由气相色谱仪(10)的柱(11)分离后的气体成分氧化或氧化还原，其包括：催化剂部(2)，具有氧化催化剂和还原催化剂；阀部(3)，在将气体成分向氧化催化剂引导的氧化路径(L1)、以及将气体成分向氧化催化剂和还原催化剂引导的氧化还原路径(L2)之间切换；以及分隔部(6)，设置在催化剂部(2)与阀部(3)之间，将催化剂部(2)与阀部(3)之间分隔。
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公开(公告)号：CN105716225A
公开(公告)日：2016-06-29
申请号：CN201510829711.4
申请日：2015-11-25
Applicant: 株式会社堀场STEC
Abstract: 本发明提供流体加热器、加热块和流体加热系统，容易小型化且能以低价格制造，此外能得到稳定的加热性能。流体加热器(23)通过预热加热器(232)加热流体，具备加热块(231)，其形成有内部流道(231R)，所述内部流道(231R)具有导入所述流体的导入口(231a)和导出所述流体的导出口(231b)，并且在所述加热块(231)中形成有沿规定的轴向延伸的加热器插入部(231H)，所述内部流道(231R)具有在所述规定的轴向上延伸的多个主流道部(231R1)以及连接所述多个主流道部(231R1)的一个或多个连接流道部(231R2)。
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