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公开(公告)号：CN118856072A
公开(公告)日：2024-10-29
申请号：CN202410489686.9
申请日：2024-04-23
Applicant: 株式会社堀场STEC
Inventor： 花田和郎 , 田口明広 , 田山健太
IPC: F16K31/00 , F16K37/00 , F16K27/00
Abstract: 本发明提供流体控制阀、流体控制装置和材料供给系统。流体控制阀包括：外壳(321)；以及压电致动器(322)，收容于外壳(321)，并且保持在外壳(321)的一端侧而向外壳(321)的另一端侧伸长，在外壳(321)形成有通气孔(H1)。
