公开(公告)号：CN116293029A

公开(公告)日：2023-06-23

申请号：CN202211439500.6

申请日：2022-11-17

Applicant: 株式会社堀场STEC

Inventor： 井上崇行 ,  池泽纪研 ,  田口明広 ,  池山俊広 ,  一之宫刚 ,  中村彰宏

IPC: F16K31/02 ,  F16K37/00 ,  F16K49/00 ,  F16K7/12

Abstract: 本发明提供流体控制装置、汽化系统和压电致动器，防止发生压电元件的裂纹并且降低对控制基板的热影响，所述流体控制装置具备：流体控制阀(3)，由压电致动器(32)驱动；流体传感器(4)，测量流体的压力或流量；控制基板(5)，根据由流体传感器(4)测量的测量值，控制流体控制阀(3)；以及放电用电阻(7)，设置在与控制基板(5)不同的部件。

公开(公告)号：CN115101438A

公开(公告)日：2022-09-23

申请号：CN202210209573.X

申请日：2022-03-03

Applicant: 株式会社堀场STEC

Inventor： 田口明広 ,  辻健助 ,  水山勇气 ,  中村彰宏 ,  松田慎

IPC: H01L21/67 ,  B01D1/00 ,  B01D1/30

Abstract: 本发明提供材料供给系统、存储介质和材料供给方法，在液体材料的汽化推进而容器内接近真空气氛的情况下，也能防止液面传感器的温度急速上升。材料供给系统(100)具备收容液体材料的容器(211)和设置在容器(211)内的液面传感器(213)，液面传感器(213)是在被供给预定的正常能量而发热的状态下检测液面的自热式的液面传感器，且所述材料供给系统(100)包括：监视部(44)，监视根据液面传感器(213)的输出信号得到的检测值；以及能量控制部(45)，在由监视部(44)监视的检测值达到预定的上限值的情况下，将向液面传感器(213)供给的能量控制成比正常能量低的低能量。