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发明公开
流体控制装置、汽化系统及压电致动器审中-实审

公开(公告)号：CN116293029A

公开(公告)日：2023-06-23

申请号：CN202211439500.6

申请日：2022-11-17

Applicant: 株式会社堀场STEC

Inventor： 井上崇行 , 池泽纪研 , 田口明広 , 池山俊広 , 一之宫刚 , 中村彰宏

IPC: F16K31/02 , F16K37/00 , F16K49/00 , F16K7/12

Abstract: 本发明提供流体控制装置、汽化系统和压电致动器，防止发生压电元件的裂纹并且降低对控制基板的热影响，所述流体控制装置具备：流体控制阀(3)，由压电致动器(32)驱动；流体传感器(4)，测量流体的压力或流量；控制基板(5)，根据由流体传感器(4)测量的测量值，控制流体控制阀(3)；以及放电用电阻(7)，设置在与控制基板(5)不同的部件。

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