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公开(公告)号：CN116293029A
公开(公告)日：2023-06-23
申请号：CN202211439500.6
申请日：2022-11-17
Applicant: 株式会社堀场STEC
Abstract: 本发明提供流体控制装置、汽化系统和压电致动器，防止发生压电元件的裂纹并且降低对控制基板的热影响，所述流体控制装置具备：流体控制阀(3)，由压电致动器(32)驱动；流体传感器(4)，测量流体的压力或流量；控制基板(5)，根据由流体传感器(4)测量的测量值，控制流体控制阀(3)；以及放电用电阻(7)，设置在与控制基板(5)不同的部件。
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公开(公告)号：CN109716481A
公开(公告)日：2019-05-03
申请号：CN201780057514.2
申请日：2017-09-22
Applicant: 株式会社堀场制作所 , 株式会社堀场STEC
CPC classification number: H01J49/049 , G01N27/62 , G01N31/12 , H01J49/0027 , H01J49/04 , H01J49/0495 , H01J49/4205
Abstract: 本发明在组合加热炉和在真空气氛下对元素进行定量分析的质谱仪的元素分析装置中，对试样气体所含的Ar元素进行高精度的定量分析。所述元素分析装置包括：加热炉(10)，边导入载气边加热放入有试样的石墨坩埚(11)，使所述试样汽化而生成试样气体；四极质谱仪(40)，在真空气氛下对从所述加热炉导出且包含载气和试样气体的混合气体中的所述试样气体所含的Ar元素进行定量分析；第一调压器(111)，控制导入所述加热炉(10)的载气的压力；以及第二调压器(126)，控制从所述加热炉(10)导出的混合气体的压力。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112166321A
公开(公告)日：2021-01-01
申请号：CN201980035002.5
申请日：2019-05-21
Applicant: 株式会社堀场制作所 , 株式会社堀场STEC
Abstract: 本发明提供一种元素分析装置以及元素分析方法，能够以高精度对试样气体所含的H元素进行定量分析。元素分析装置具备：加热炉，一边导入载气一边对放入有试样的坩埚进行加热，使该试样的至少一部分气化而生成包含H元素的试样气体，将该试样气体作为与该载气的混合气体而导出；以及质谱仪，对从所述加热炉导出的所述混合气体中的所述试样气体所含的至少一个元素进行定量分析，所述质谱仪将在所述混合气体中作为H2O成分而包含的H元素作为所述试样气体所含的H元素进行定量分析。
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公开(公告)号：CN112992648A
公开(公告)日：2021-06-18
申请号：CN202011344731.X
申请日：2020-11-26
Applicant: 株式会社堀场STEC , 株式会社堀场制作所
Abstract: 本发明提供四极杆质量分析装置及方法以及程序记录介质。四极杆质量分析装置具备：离子源(1)，使样品离子化；过滤部(3)，具备四极杆(31)并使在离子源(1)产生的离子质量分离；检测器(5)，检测通过了过滤部(3)的离子；过滤电压控制器(62)，控制施加于四极杆(31)的由高频电压和直流电压构成的过滤电压，在阻断模式与入射模式之间进行切换，阻断模式使入射到过滤部(3)的离子不入射到检测器，入射模式使入射到过滤部(3)的离子入射到检测器；基线计算部(63)，基于阻断模式中的检测器的输出来计算基线；以及分析部(65)，基于入射模式中的检测器的输出和基线计算部(63)计算出的基线来输出样品的分析结果。
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公开(公告)号：CN112992648B
公开(公告)日：2025-04-04
申请号：CN202011344731.X
申请日：2020-11-26
Applicant: 株式会社堀场STEC , 株式会社堀场制作所
Abstract: 本发明提供四极杆质量分析装置及方法以及程序记录介质。四极杆质量分析装置具备：离子源(1)，使样品离子化；过滤部(3)，具备四极杆(31)并使在离子源(1)产生的离子质量分离；检测器(5)，检测通过了过滤部(3)的离子；过滤电压控制器(62)，控制施加于四极杆(31)的由高频电压和直流电压构成的过滤电压，在阻断模式与入射模式之间进行切换，阻断模式使入射到过滤部(3)的离子不入射到检测器，入射模式使入射到过滤部(3)的离子入射到检测器；基线计算部(63)，基于阻断模式中的检测器的输出来计算基线；以及分析部(65)，基于入射模式中的检测器的输出和基线计算部(63)计算出的基线来输出样品的分析结果。
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公开(公告)号：CN115808491A
公开(公告)日：2023-03-17
申请号：CN202211039377.9
申请日：2022-08-29
Applicant: 株式会社堀场STEC
IPC: G01N30/84
Abstract: 本发明提供气相色谱仪用处理装置及其热对策方法。本发明在气相色谱仪用处理装置中减少来自催化剂部的热量向阀部的传递，气相色谱仪用处理装置(100)将由气相色谱仪(10)的柱(11)分离后的气体成分氧化或氧化还原，其包括：催化剂部(2)，具有氧化催化剂和还原催化剂；阀部(3)，在将气体成分向氧化催化剂引导的氧化路径(L1)、以及将气体成分向氧化催化剂和还原催化剂引导的氧化还原路径(L2)之间切换；以及分隔部(6)，设置在催化剂部(2)与阀部(3)之间，将催化剂部(2)与阀部(3)之间分隔。
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公开(公告)号：CN109716481B
公开(公告)日：2022-07-26
申请号：CN201780057514.2
申请日：2017-09-22
Applicant: 株式会社堀场制作所 , 株式会社堀场STEC
Abstract: 本发明在组合加热炉和在真空气氛下对元素进行定量分析的质谱仪的元素分析装置中，对试样气体所含的Ar元素进行高精度的定量分析。所述元素分析装置包括：加热炉(10)，边导入载气边加热放入有试样的石墨坩埚(11)，使所述试样汽化而生成试样气体；四极质谱仪(40)，在真空气氛下对从所述加热炉导出且包含载气和试样气体的混合气体中的所述试样气体所含的Ar元素进行定量分析；第一调压器(111)，控制导入所述加热炉(10)的载气的压力；以及第二调压器(126)，控制从所述加热炉(10)导出的混合气体的压力。
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