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公开(公告)号：CN112166321A
公开(公告)日：2021-01-01
申请号：CN201980035002.5
申请日：2019-05-21
Applicant: 株式会社堀场制作所 , 株式会社堀场STEC
Abstract: 本发明提供一种元素分析装置以及元素分析方法，能够以高精度对试样气体所含的H元素进行定量分析。元素分析装置具备：加热炉，一边导入载气一边对放入有试样的坩埚进行加热，使该试样的至少一部分气化而生成包含H元素的试样气体，将该试样气体作为与该载气的混合气体而导出；以及质谱仪，对从所述加热炉导出的所述混合气体中的所述试样气体所含的至少一个元素进行定量分析，所述质谱仪将在所述混合气体中作为H2O成分而包含的H元素作为所述试样气体所含的H元素进行定量分析。
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