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公开(公告)号：CN103217195B
公开(公告)日：2017-10-24
申请号：CN201310027481.0
申请日：2013-01-24
Applicant: 株式会社堀场STEC
IPC: G01F1/48
CPC classification number: F16L55/027 , G01F1/34
Abstract: 本发明提供流体阻力部件，制造简单、实现了紧凑化、且有助于性能的均匀化和提高精度等。流体阻力部件(100)包括：两个构件(1)、(2)，具有彼此相对的相对面(1a)、(2a)，上游流道的下游端和下游流道的上游端开口于相对面(1a)、(2a)的彼此偏离的位置；以及环形件(3)，以包围下游端开口(41)和上游端开口(42)的方式配置，通过被相对面(1a)、(2a)夹持，在所述下游端开口(41)和上游端开口(42)之间形成流体阻力流道(5)，环形件(3)的材料比各构件(1)、(2)的材料硬，通过以使相对面(1a)、(2a)接近的方式紧固两个构件(1)、(2)，环形件(3)进入相对面(1a)、(2a)。
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公开(公告)号：CN105716225B
公开(公告)日：2020-08-11
申请号：CN201510829711.4
申请日：2015-11-25
Applicant: 株式会社堀场STEC
Abstract: 本发明提供流体加热器、加热块和汽化系统，容易小型化且能以低价格制造，此外能得到稳定的加热性能。流体加热器(23)通过预热加热器(232)加热流体，具备加热块(231)，其形成有内部流道(231R)，所述内部流道(231R)具有导入所述流体的导入口(231a)和导出所述流体的导出口(231b)，并且在所述加热块(231)中形成有沿规定的轴向延伸的加热器插入部(231H)，所述内部流道(231R)具有在所述规定的轴向上延伸的多个主流道部(231R1)以及连接所述多个主流道部(231R1)的一个或多个连接流道部(231R2)。
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公开(公告)号：CN103217195A
公开(公告)日：2013-07-24
申请号：CN201310027481.0
申请日：2013-01-24
Applicant: 株式会社堀场STEC
IPC: G01F1/48
CPC classification number: F16L55/027 , G01F1/34
Abstract: 本发明提供流体阻力部件，制造简单、实现了紧凑化、且有助于性能的均匀化和提高精度等。流体阻力部件(100)包括：两个构件(1)、(2)，具有彼此相对的相对面(1a)、(2a)，上游流道的下游端和下游流道的上游端开口于相对面(1a)、(2a)的彼此偏离的位置；以及环形件(3)，以包围下游端开口(41)和上游端开口(42)的方式配置，通过被相对面(1a)、(2a)夹持，在所述下游端开口(41)和上游端开口(42)之间形成流体阻力流道(5)，环形件(3)的材料比各构件(1)、(2)的材料硬，通过以使相对面(1a)、(2a)接近的方式紧固两个构件(1)、(2)，环形件(3)进入相对面(1a)、(2a)。
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公开(公告)号：CN116069070A
公开(公告)日：2023-05-05
申请号：CN202211332639.0
申请日：2022-10-28
Applicant: 株式会社堀场STEC
IPC: G05D7/06
Abstract: 本发明提供汽化装置及其控制方法、存储介质、流体控制装置，汽化装置(100)具备：控制阀(2)，设置在液体材料流动的流道上；汽化部(3)，通过减压或加热使所述液体材料汽化；液体流量传感器(1)，测量流过流道的液体材料的流量；以及阀控制器(41)，通过基于设定流量表示的设定值以及由所述液体流量传感器(1)测量的流量的测量值的PI控制或PID控制，控制所述控制阀(2)，所述汽化装置(100)还具备积分增益切换部(42)，该积分增益切换部(42)在由所述液体流量传感器(1)测量的流量的过渡响应期间，将对所述阀控制器(41)设定的积分增益从基准积分增益切换为与所述基准积分增益不同的修正积分增益。
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公开(公告)号：CN105716224A
公开(公告)日：2016-06-29
申请号：CN201510802057.8
申请日：2015-11-19
Applicant: 株式会社堀场STEC
Abstract: 本发明提供气化用容器、气化器和气化装置，在维持紧凑性的同时，能稳定且大流量地输出材料气体。气化用容器(11)具有气化室(11a)，使导入所述气化室(11a)的液体材料气化并将生成的材料气体导出，所述气化用容器包括分隔壁(6)，所述分隔壁(6)将所述气化室(11a)的下方空间分隔成最初导入液体材料的第一下方空间(11e)和导入从所述第一下方空间(11e)溢出的液体材料的第二下方空间(11f)。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN115888138A
公开(公告)日：2023-04-04
申请号：CN202211121794.8
申请日：2022-09-15
Applicant: 株式会社堀场STEC
IPC: B01B1/00
Abstract: 本发明提供一种液体材料气化装置，不设置用于加热液体材料供给管的供给管用加热机构就能够加热液体材料供给管，所述液体材料气化装置具备：气液混合部(2)，将液体材料与气体混合，生成气液混合体；液体材料供给管(4)，向气液混合部(2)供给液体材料；气化部(3)，加热气液混合体，将液体材料气化；以及壳体(7)，收容气液混合部(2)、气化部(3)以及液体材料供给管(4)，在壳体(7)的内部形成有将来自气化部(3)的热对流向液体材料供给管(4)引导的流道(R)。
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公开(公告)号：CN105714271B
公开(公告)日：2020-07-31
申请号：CN201510794900.2
申请日：2015-11-18
Applicant: 株式会社堀场STEC
IPC: C23C16/448
Abstract: 本发明提供一种小型化的汽化系统，不必在汽化器的内部形成用于安装流量控制设备的流道，并取消了汽化系统中的配管。所述汽化系统包括：使液体材料汽化的汽化器(21)；控制向所述汽化器(21)的液体材料供给量的供给量控制设备(22)；以及歧管块(B)，其内部形成有流道，并且具有安装所述汽化器(21)和所述供给量控制设备(22)的设备安装面(B1x)，所述汽化器(21)和所述供给量控制设备(22)通过安装到所述设备安装面(B1x)上、借助所述流道R1～R4彼此连接。
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公开(公告)号：CN119998035A
公开(公告)日：2025-05-13
申请号：CN202380070761.1
申请日：2023-08-30
Applicant: 株式会社堀场STEC
IPC: B01J4/00 , H01L21/205 , H01L21/31
Abstract: 本发明提供流体供给机构(100)，反复进行流体向腔室(CH)的供给与停止，所述流体供给机构(100)包括：流体供给通道(L1)，与腔室(100)连通；容器(T)，设置于流体供给通道(L1)并被导入流体；以及下游侧阀(Vd)，设置于流体供给通道中的容器(T)的下游侧，容器(T)通过变形而改变内部容积。
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公开(公告)号：CN105716225A
公开(公告)日：2016-06-29
申请号：CN201510829711.4
申请日：2015-11-25
Applicant: 株式会社堀场STEC
Abstract: 本发明提供流体加热器、加热块和流体加热系统，容易小型化且能以低价格制造，此外能得到稳定的加热性能。流体加热器(23)通过预热加热器(232)加热流体，具备加热块(231)，其形成有内部流道(231R)，所述内部流道(231R)具有导入所述流体的导入口(231a)和导出所述流体的导出口(231b)，并且在所述加热块(231)中形成有沿规定的轴向延伸的加热器插入部(231H)，所述内部流道(231R)具有在所述规定的轴向上延伸的多个主流道部(231R1)以及连接所述多个主流道部(231R1)的一个或多个连接流道部(231R2)。
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公开(公告)号：CN105714271A
公开(公告)日：2016-06-29
申请号：CN201510794900.2
申请日：2015-11-18
Applicant: 株式会社堀场STEC
IPC: C23C16/448
Abstract: 本发明提供一种小型化的汽化系统，不必在汽化器的内部形成用于安装流量控制设备的流道，并取消了汽化系统中的配管。所述汽化系统包括：使液体材料汽化的汽化器(21)；控制向所述汽化器(21)的液体材料供给量的供给量控制设备(22)；以及歧管块(B)，其内部形成有流道，并且具有安装所述汽化器(21)和所述供给量控制设备(22)的设备安装面(B1x)，所述汽化器(21)和所述供给量控制设备(22)通过安装到所述设备安装面(B1x)上、借助所述流道R1～R4彼此连接。
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