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公开(公告)号：CN116069070A
公开(公告)日：2023-05-05
申请号：CN202211332639.0
申请日：2022-10-28
Applicant: 株式会社堀场STEC
IPC: G05D7/06
Abstract: 本发明提供汽化装置及其控制方法、存储介质、流体控制装置，汽化装置(100)具备：控制阀(2)，设置在液体材料流动的流道上；汽化部(3)，通过减压或加热使所述液体材料汽化；液体流量传感器(1)，测量流过流道的液体材料的流量；以及阀控制器(41)，通过基于设定流量表示的设定值以及由所述液体流量传感器(1)测量的流量的测量值的PI控制或PID控制，控制所述控制阀(2)，所述汽化装置(100)还具备积分增益切换部(42)，该积分增益切换部(42)在由所述液体流量传感器(1)测量的流量的过渡响应期间，将对所述阀控制器(41)设定的积分增益从基准积分增益切换为与所述基准积分增益不同的修正积分增益。
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