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公开(公告)号：CN105716225B
公开(公告)日：2020-08-11
申请号：CN201510829711.4
申请日：2015-11-25
Applicant: 株式会社堀场STEC
Abstract: 本发明提供流体加热器、加热块和汽化系统，容易小型化且能以低价格制造，此外能得到稳定的加热性能。流体加热器(23)通过预热加热器(232)加热流体，具备加热块(231)，其形成有内部流道(231R)，所述内部流道(231R)具有导入所述流体的导入口(231a)和导出所述流体的导出口(231b)，并且在所述加热块(231)中形成有沿规定的轴向延伸的加热器插入部(231H)，所述内部流道(231R)具有在所述规定的轴向上延伸的多个主流道部(231R1)以及连接所述多个主流道部(231R1)的一个或多个连接流道部(231R2)。
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公开(公告)号：CN105714271B
公开(公告)日：2020-07-31
申请号：CN201510794900.2
申请日：2015-11-18
Applicant: 株式会社堀场STEC
IPC: C23C16/448
Abstract: 本发明提供一种小型化的汽化系统，不必在汽化器的内部形成用于安装流量控制设备的流道，并取消了汽化系统中的配管。所述汽化系统包括：使液体材料汽化的汽化器(21)；控制向所述汽化器(21)的液体材料供给量的供给量控制设备(22)；以及歧管块(B)，其内部形成有流道，并且具有安装所述汽化器(21)和所述供给量控制设备(22)的设备安装面(B1x)，所述汽化器(21)和所述供给量控制设备(22)通过安装到所述设备安装面(B1x)上、借助所述流道R1～R4彼此连接。
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公开(公告)号：CN105716225A
公开(公告)日：2016-06-29
申请号：CN201510829711.4
申请日：2015-11-25
Applicant: 株式会社堀场STEC
Abstract: 本发明提供流体加热器、加热块和流体加热系统，容易小型化且能以低价格制造，此外能得到稳定的加热性能。流体加热器(23)通过预热加热器(232)加热流体，具备加热块(231)，其形成有内部流道(231R)，所述内部流道(231R)具有导入所述流体的导入口(231a)和导出所述流体的导出口(231b)，并且在所述加热块(231)中形成有沿规定的轴向延伸的加热器插入部(231H)，所述内部流道(231R)具有在所述规定的轴向上延伸的多个主流道部(231R1)以及连接所述多个主流道部(231R1)的一个或多个连接流道部(231R2)。
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公开(公告)号：CN105714271A
公开(公告)日：2016-06-29
申请号：CN201510794900.2
申请日：2015-11-18
Applicant: 株式会社堀场STEC
IPC: C23C16/448
Abstract: 本发明提供一种小型化的汽化系统，不必在汽化器的内部形成用于安装流量控制设备的流道，并取消了汽化系统中的配管。所述汽化系统包括：使液体材料汽化的汽化器(21)；控制向所述汽化器(21)的液体材料供给量的供给量控制设备(22)；以及歧管块(B)，其内部形成有流道，并且具有安装所述汽化器(21)和所述供给量控制设备(22)的设备安装面(B1x)，所述汽化器(21)和所述供给量控制设备(22)通过安装到所述设备安装面(B1x)上、借助所述流道R1～R4彼此连接。
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