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公开(公告)号：CN113358271A
公开(公告)日：2021-09-07
申请号：CN202110193213.0
申请日：2021-02-20
Applicant: 株式会社堀场STEC
IPC: G01L21/00
Abstract: 在将传感器部调温为高温的真空计中，为了即使不从外部对该真空计吹风，也能够充分地冷却电路基板，具备：介由连接端口(P)与测量空间连通，并且输出与该测量空间的压力相应的输出信号的传感器部(S)；设置于传感器部(S)的周围而对该传感器部(S)进行加热的加热器(H)；相对于传感器部(S)配置于与连接端口(P)相反的一侧的电路基板(B)；收纳传感器部(S)以及加热器(H)的第一内壳(C1)；收纳电路基板(B)的第二内壳(C2)；包围第一内壳(C1)以及第二内壳(C2)，并且在与这些第一内壳(C1)以及第二内壳(C2)之间形成外气进行流通的流路(L)的外壳(C3)。
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公开(公告)号：CN109974929A
公开(公告)日：2019-07-05
申请号：CN201811425237.9
申请日：2018-11-27
Applicant: 株式会社堀场STEC
Abstract: 本发明提供一种真空计，即使感测机构暴露在导入了各种材料气体的气氛的情况下，也能够防止物质向所述感测机构堆积，能够实现长寿命化。所述真空计包括：感测机构，与测量空间内的气氛接触，输出与所述测量空间内的压力对应的输出信号；以及加热器，对所述感测机构进行温度调节，所述加热器的设定温度可变。
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公开(公告)号：CN103217195A
公开(公告)日：2013-07-24
申请号：CN201310027481.0
申请日：2013-01-24
Applicant: 株式会社堀场STEC
IPC: G01F1/48
CPC classification number: F16L55/027 , G01F1/34
Abstract: 本发明提供流体阻力部件，制造简单、实现了紧凑化、且有助于性能的均匀化和提高精度等。流体阻力部件(100)包括：两个构件(1)、(2)，具有彼此相对的相对面(1a)、(2a)，上游流道的下游端和下游流道的上游端开口于相对面(1a)、(2a)的彼此偏离的位置；以及环形件(3)，以包围下游端开口(41)和上游端开口(42)的方式配置，通过被相对面(1a)、(2a)夹持，在所述下游端开口(41)和上游端开口(42)之间形成流体阻力流道(5)，环形件(3)的材料比各构件(1)、(2)的材料硬，通过以使相对面(1a)、(2a)接近的方式紧固两个构件(1)、(2)，环形件(3)进入相对面(1a)、(2a)。
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公开(公告)号：CN102313623B
公开(公告)日：2015-09-30
申请号：CN201110134840.3
申请日：2011-05-23
Applicant: 株式会社堀场STEC
IPC: G01L9/12
CPC classification number: G01L9/0072 , G01L19/04 , G01L19/0627
Abstract: 一种静电容型压力传感器，防止隔膜因由传感器主体的热膨胀率以及固定用构件的热膨胀率产生的热应力而发生变形。静电容型压力传感器包括固定着固定电极(21)的传感器主体(2)、与传感器主体(2)之间形成密闭空间的隔膜构造体(3)、以及以将隔膜构造体(3)的受压部予以包围的方式被接合且将流体引导至受压部的固定用构件(4)。隔膜构造体(3)包括平板状的隔膜主体(31)、设置在隔膜主体(31)的周缘部两侧的热膨胀率已知的第一环状构件(32)以及第二环状构件(33)。
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公开(公告)号：CN102313623A
公开(公告)日：2012-01-11
申请号：CN201110134840.3
申请日：2011-05-23
Applicant: 株式会社堀场STEC
IPC: G01L9/12
CPC classification number: G01L9/0072 , G01L19/04 , G01L19/0627
Abstract: 一种静电容型压力传感器，防止隔膜因由传感器主体的热膨胀率以及固定用构件的热膨胀率产生的热应力而发生变形。静电容型压力传感器包括固定着固定电极(21)的传感器主体(2)、与传感器主体(2)之间形成密闭空间的隔膜构造体(3)、以及以将隔膜构造体(3)的受压部予以包围的方式被接合且将流体引导至受压部的固定用构件(4)。隔膜构造体(3)包括平板状的隔膜主体(31)、设置在隔膜主体(31)的周缘部两侧的热膨胀率已知的第一环状构件(32)以及第二环状构件(33)。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108692854B
公开(公告)日：2021-06-25
申请号：CN201810213732.7
申请日：2018-03-15
Applicant: 株式会社堀场STEC
Abstract: 本发明提供压力传感器，能够抑制设在流体管道上的流体导入管的急剧温度变化所导致的隔膜的弯曲。所述压力传感器包括：隔膜，具有承受被测量流体的压力的受压面；电极体，具有以形成间隙的方式与所述受压面的背面相对的电极面；壳体，以包围所述受压面并形成测量室的方式支承所述隔膜；入口管，与所述壳体连接，将所述被测量流体导向所述测量室；以及热缓冲构件，设置在所述入口管上，具有规定的热容。
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公开(公告)号：CN108692854A
公开(公告)日：2018-10-23
申请号：CN201810213732.7
申请日：2018-03-15
Applicant: 株式会社堀场STEC
IPC: G01L9/00
CPC classification number: G01L9/0072 , G01L19/0627 , G01L19/147
Abstract: 本发明提供压力传感器，能够抑制设在流体管道上的流体导入管的急剧温度变化所导致的隔膜的弯曲。所述压力传感器包括：隔膜，具有承受被测量流体的压力的受压面；电极体，具有以形成间隙的方式与所述受压面的背面相对的电极面；壳体，以包围所述受压面并形成测量室的方式支承所述隔膜；入口管，与所述壳体连接，将所述被测量流体导向所述测量室；以及热缓冲构件，设置在所述入口管上，具有规定的热容。
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公开(公告)号：CN103217195B
公开(公告)日：2017-10-24
申请号：CN201310027481.0
申请日：2013-01-24
Applicant: 株式会社堀场STEC
IPC: G01F1/48
CPC classification number: F16L55/027 , G01F1/34
Abstract: 本发明提供流体阻力部件，制造简单、实现了紧凑化、且有助于性能的均匀化和提高精度等。流体阻力部件(100)包括：两个构件(1)、(2)，具有彼此相对的相对面(1a)、(2a)，上游流道的下游端和下游流道的上游端开口于相对面(1a)、(2a)的彼此偏离的位置；以及环形件(3)，以包围下游端开口(41)和上游端开口(42)的方式配置，通过被相对面(1a)、(2a)夹持，在所述下游端开口(41)和上游端开口(42)之间形成流体阻力流道(5)，环形件(3)的材料比各构件(1)、(2)的材料硬，通过以使相对面(1a)、(2a)接近的方式紧固两个构件(1)、(2)，环形件(3)进入相对面(1a)、(2a)。
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公开(公告)号：CN119688149A
公开(公告)日：2025-03-25
申请号：CN202411303993.X
申请日：2024-09-19
Applicant: 株式会社堀场STEC
Abstract: 本发明提供一种静电容型压力传感器，其在简化挡板的结构的同时防止向隔膜的堆积，所述静电容型压力传感器具备外壳（7），其包围隔膜（2）的受压面（2a）而形成测量室（S），并且形成有向测量室（S）导入气体的气体导入口（7a）；以及挡板部件（8），其设置于测量室（S），挡板部件（8）具有：对置面部（81），其与气体导入口（7a）对置；以及围绕面部（82），其设置于比对置面部（81）更靠近气体导入口（7a）侧的位置，并且包围气体导入口（7a）的周围，围绕面部（82）具有流通部（83），该流通部（83）使从气体导入口（7a）导入的气体从所述气体导入口侧的端部流通到隔膜（2）侧。
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公开(公告)号：CN116465848A
公开(公告)日：2023-07-21
申请号：CN202310071740.3
申请日：2023-01-17
Applicant: 株式会社堀场STEC
IPC: G01N21/3504 , G01N21/01 , G01L9/12
Abstract: 本发明提供一种气体分析装置，其具备：气室，其被导入气体；温度调节块，其对气室进行温度调节；以及压力传感器，其测定气室内部的压力，压力传感器内置于温度调节块和/或气室。
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