公开(公告)号：CN109974929A

公开(公告)日：2019-07-05

申请号：CN201811425237.9

申请日：2018-11-27

Applicant: 株式会社堀场STEC

Inventor： 岸田创太郎 ,  山下圭裕 ,  中井淳也

IPC: G01L21/00 ,  G01L19/06

Abstract: 本发明提供一种真空计，即使感测机构暴露在导入了各种材料气体的气氛的情况下，也能够防止物质向所述感测机构堆积，能够实现长寿命化。所述真空计包括：感测机构，与测量空间内的气氛接触，输出与所述测量空间内的压力对应的输出信号；以及加热器，对所述感测机构进行温度调节，所述加热器的设定温度可变。

公开(公告)号：CN113358271A

公开(公告)日：2021-09-07

申请号：CN202110193213.0

申请日：2021-02-20

Applicant: 株式会社堀场STEC

Inventor： 中井淳也 ,  岸田创太郎

IPC: G01L21/00

Abstract: 在将传感器部调温为高温的真空计中，为了即使不从外部对该真空计吹风，也能够充分地冷却电路基板，具备：介由连接端口(P)与测量空间连通，并且输出与该测量空间的压力相应的输出信号的传感器部(S)；设置于传感器部(S)的周围而对该传感器部(S)进行加热的加热器(H)；相对于传感器部(S)配置于与连接端口(P)相反的一侧的电路基板(B)；收纳传感器部(S)以及加热器(H)的第一内壳(C1)；收纳电路基板(B)的第二内壳(C2)；包围第一内壳(C1)以及第二内壳(C2)，并且在与这些第一内壳(C1)以及第二内壳(C2)之间形成外气进行流通的流路(L)的外壳(C3)。

公开(公告)号：CN108692854B

公开(公告)日：2021-06-25

申请号：CN201810213732.7

申请日：2018-03-15

Applicant: 株式会社堀场STEC

Inventor： 岸田创太郎 ,  中井淳也 ,  畑板刚久 ,  桒原朗

IPC: H01L29/84 ,  G01L9/00

Abstract: 本发明提供压力传感器，能够抑制设在流体管道上的流体导入管的急剧温度变化所导致的隔膜的弯曲。所述压力传感器包括：隔膜，具有承受被测量流体的压力的受压面；电极体，具有以形成间隙的方式与所述受压面的背面相对的电极面；壳体，以包围所述受压面并形成测量室的方式支承所述隔膜；入口管，与所述壳体连接，将所述被测量流体导向所述测量室；以及热缓冲构件，设置在所述入口管上，具有规定的热容。

公开(公告)号：CN108692854A

公开(公告)日：2018-10-23

申请号：CN201810213732.7

申请日：2018-03-15

Applicant: 株式会社堀场STEC

Inventor： 岸田创太郎 ,  中井淳也 ,  畑板刚久 ,  桒原朗

IPC: G01L9/00

CPC classification number: G01L9/0072 ,  G01L19/0627 ,  G01L19/147

Abstract: 本发明提供压力传感器，能够抑制设在流体管道上的流体导入管的急剧温度变化所导致的隔膜的弯曲。所述压力传感器包括：隔膜，具有承受被测量流体的压力的受压面；电极体，具有以形成间隙的方式与所述受压面的背面相对的电极面；壳体，以包围所述受压面并形成测量室的方式支承所述隔膜；入口管，与所述壳体连接，将所述被测量流体导向所述测量室；以及热缓冲构件，设置在所述入口管上，具有规定的热容。