公开(公告)号：CN108692854B

公开(公告)日：2021-06-25

申请号：CN201810213732.7

申请日：2018-03-15

Applicant: 株式会社堀场STEC

Inventor： 岸田创太郎 ,  中井淳也 ,  畑板刚久 ,  桒原朗

IPC: H01L29/84 ,  G01L9/00

Abstract: 本发明提供压力传感器，能够抑制设在流体管道上的流体导入管的急剧温度变化所导致的隔膜的弯曲。所述压力传感器包括：隔膜，具有承受被测量流体的压力的受压面；电极体，具有以形成间隙的方式与所述受压面的背面相对的电极面；壳体，以包围所述受压面并形成测量室的方式支承所述隔膜；入口管，与所述壳体连接，将所述被测量流体导向所述测量室；以及热缓冲构件，设置在所述入口管上，具有规定的热容。

公开(公告)号：CN108692854A

公开(公告)日：2018-10-23

申请号：CN201810213732.7

申请日：2018-03-15

Applicant: 株式会社堀场STEC

Inventor： 岸田创太郎 ,  中井淳也 ,  畑板刚久 ,  桒原朗

IPC: G01L9/00

CPC classification number: G01L9/0072 ,  G01L19/0627 ,  G01L19/147

Abstract: 本发明提供压力传感器，能够抑制设在流体管道上的流体导入管的急剧温度变化所导致的隔膜的弯曲。所述压力传感器包括：隔膜，具有承受被测量流体的压力的受压面；电极体，具有以形成间隙的方式与所述受压面的背面相对的电极面；壳体，以包围所述受压面并形成测量室的方式支承所述隔膜；入口管，与所述壳体连接，将所述被测量流体导向所述测量室；以及热缓冲构件，设置在所述入口管上，具有规定的热容。

公开(公告)号：CN102549393B

公开(公告)日：2013-09-11

申请号：CN201080045528.0

申请日：2010-09-17

Applicant: 株式会社堀场STEC

Inventor： 林繁之 ,  桒原朗

IPC: G01F1/36 ,  G01F1/00 ,  G01L19/00

CPC classification number: G01F1/36 ,  G01F1/88 ,  G05D7/0635 ,  Y10T137/7759

Abstract: 本发明提供流量测量机构、质量流量控制器以及压力传感器。所述流量测量机构包括：主体单元，具有被测量的对象流体流动的内部流路；以及压力传感器，安装在所述主体单元上，对内部流路的压力进行检测，所述流量测量机构能够基于所述压力传感器检测到的流体压力算出所述流体的流量，所述主体单元具有长边方向，并且将部件安装面设定为与所述长边方向平行的面，以感压面与所述部件安装面大致垂直且与所述长边方向大致平行的方式，将所述压力传感器安装在所述部件安装面上。由此不会导致压力测量的灵敏度降低，并且与以往相比较，可以显著地减小宽度方向尺寸。

公开(公告)号：CN119688149A

公开(公告)日：2025-03-25

申请号：CN202411303993.X

申请日：2024-09-19

Applicant: 株式会社堀场STEC

Inventor： 桒原朗 ,  岸田创太郎

IPC: G01L7/10 ,  G01L9/12

Abstract: 本发明提供一种静电容型压力传感器，其在简化挡板的结构的同时防止向隔膜的堆积，所述静电容型压力传感器具备外壳（7），其包围隔膜（2）的受压面（2a）而形成测量室（S），并且形成有向测量室（S）导入气体的气体导入口（7a）；以及挡板部件（8），其设置于测量室（S），挡板部件（8）具有：对置面部（81），其与气体导入口（7a）对置；以及围绕面部（82），其设置于比对置面部（81）更靠近气体导入口（7a）侧的位置，并且包围气体导入口（7a）的周围，围绕面部（82）具有流通部（83），该流通部（83）使从气体导入口（7a）导入的气体从所述气体导入口侧的端部流通到隔膜（2）侧。

公开(公告)号：CN116465848A

公开(公告)日：2023-07-21

申请号：CN202310071740.3

申请日：2023-01-17

Applicant: 株式会社堀场STEC

Inventor： 高桥基延 ,  岸田创太郎 ,  桒原朗 ,  赤松武 ,  坂口有平 ,  南雅和

IPC: G01N21/3504 ,  G01N21/01 ,  G01L9/12

Abstract: 本发明提供一种气体分析装置，其具备：气室，其被导入气体；温度调节块，其对气室进行温度调节；以及压力传感器，其测定气室内部的压力，压力传感器内置于温度调节块和/或气室。

公开(公告)号：CN102549393A

公开(公告)日：2012-07-04

申请号：CN201080045528.0

申请日：2010-09-17

Applicant: 株式会社堀场STEC

Inventor： 林繁之 ,  桒原朗

IPC: G01F1/36 ,  G01F1/00 ,  G01L19/00

CPC classification number: G01F1/36 ,  G01F1/88 ,  G05D7/0635 ,  Y10T137/7759

Abstract: 本发明提供流量测量机构、质量流量控制器以及压力传感器。所述流量测量机构包括：主体单元，具有被测量的对象流体流动的内部流路；以及压力传感器，安装在所述主体单元上，对内部流路的压力进行检测，所述流量测量机构能够基于所述压力传感器检测到的流体压力算出所述流体的流量，所述主体单元具有长边方向，并且将部件安装面设定为与所述长边方向平行的面，以感压面与所述部件安装面大致垂直且与所述长边方向大致平行的方式，将所述压力传感器安装在所述部件安装面上。由此不会导致压力测量的灵敏度降低，并且与以往相比较，可以显著地减小宽度方向尺寸。