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公开(公告)号：CN109974929A
公开(公告)日：2019-07-05
申请号：CN201811425237.9
申请日：2018-11-27
Applicant: 株式会社堀场STEC
Abstract: 本发明提供一种真空计，即使感测机构暴露在导入了各种材料气体的气氛的情况下，也能够防止物质向所述感测机构堆积，能够实现长寿命化。所述真空计包括：感测机构，与测量空间内的气氛接触，输出与所述测量空间内的压力对应的输出信号；以及加热器，对所述感测机构进行温度调节，所述加热器的设定温度可变。
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